Mar a ghlanas tu bàta grafait PECVD？| VET Energy

1. Aithneachadh mus tèid glanadh

1) Nuair a bhios anBàta grafait PECVDMa thèid an giùlan/air a chleachdadh barrachd air 100 gu 150 uair, feumaidh an gnìomhaiche staid a’ chòmhdaich a sgrùdadh ann an deagh àm. Ma tha còmhdach neo-àbhaisteach ann, feumar a ghlanadh agus a dhearbhadh. Is e gorm dath àbhaisteach còmhdach a’ chliath-shìonaig anns a’ bhàta/giùlan grafait. Mura h-eil dath gorm air a’ chliath-shìonaig, ma tha iomadh dath ann, no ma tha an diofar dath eadar na cliath-shìonaichean mòr, is e còmhdach neo-àbhaisteach a th’ ann, agus feumar adhbhar an neo-àbhaisteach a dhearbhadh ann an deagh àm.
2) Às dèidh a’ phròiseis, bidh luchd-obrach a’ dèanamh sgrùdadh air staid còmhdach anBàta grafait PECVD/giùlan, co-dhùinidh iad a bheil feum air am bàta grafait a ghlanadh agus a bheil feum air puing a’ chairt a chur na àite, agus thèid am bàta/giùlan grafait a dh’ fheumas a ghlanadh a thoirt do luchd-obrach an uidheamachd airson a ghlanadh.

 

3) Às dèidh anbàta grafaitma tha milleadh air an giùlan, bheir luchd-obrach an riochdachaidh a-mach na wafers silicon uile anns a’ bhàta grafait agus cleachdaidh iad CDA (èadhar teannaichte) gus na mìrean anns anbàta grafaitÀs dèidh a chrìochnachadh, togaidh luchd-obrach an uidheim e dhan tanca searbhagach a chaidh ullachadh le cuibhreann sònraichte de fhuasgladh HF airson glanadh.

 

2. Glanadh bàta grafait

Thathar a’ moladh fuasgladh searbhag hydrofluoric 15-25% a chleachdadh airson trì cuairtean glanaidh, gach fear airson 4-5 uairean a thìde, agus naitridean a chur a-steach bho àm gu àm rè a’ phròiseis bogadh is glanaidh, a’ cur timcheall air leth uair a thìde de ghlanadh ris; nota: chan eilear a’ moladh èadhar a chleachdadh gu dìreach mar an stòr gas airson builgeanan. Às dèidh picilte, sruthlaich le uisge fìor-ghlan airson timcheall air 10 uairean a thìde, agus dearbhaich gu bheil am bàta air a ghlanadh gu mionaideach. Às dèidh glanadh, thoir sùil air uachdar a’ bhàta, puing a’ chairt grafait agus co-cheangal duilleag a’ bhàta, agus pàirtean eile gus faicinn a bheil fuigheall silicon nitride ann. An uairsin tiormaich a rèir nan riatanasan.

3. Rabhaidhean glanaidh

A) Leis gur stuth creimneach a th’ ann an searbhag HF agus gu bheil luaineachd ann, tha e cunnartach do luchd-obrachaidh. Mar sin, feumaidh luchd-obrachaidh aig an ionad glanaidh ceumannan sàbhailteachd a ghabhail agus feumaidh neach sònraichte an stiùireadh.

B) Thathar a’ moladh am bàta a thoirt às a chèile agus dìreach am pàirt grafait a ghlanadh nuair a bhios e air a ghlanadh, gus am bi gach pàirt conaltraidh air a ghlanadh nas mionaidiche. An-dràsta, bidh mòran de luchd-saothrachaidh dachaigheil a’ cleachdadh glanadh iomlan, rud a tha goireasach, ach leis gu bheil searbhag HF creimneach do phàirtean ceirmeag, giorraichidh glanadh iomlan beatha seirbheis nam pàirtean co-fhreagarrach.