Come pulire una barca in grafite PECVD? | VET Energy

1. Conferma prima della pulizia

1) Quando ilBarca in grafite PECVDIl supporto viene utilizzato da 100 a 150 volte, pertanto l'operatore deve controllare tempestivamente le condizioni del rivestimento. In caso di rivestimento anomalo, è necessario pulirlo e verificarne lo stato. Il colore normale del rivestimento del wafer di silicio nel supporto di grafite è blu. Se il wafer presenta una colorazione diversa dal blu, colori multipli o una grande differenza di colore tra i wafer, si tratta di un rivestimento anomalo e la causa dell'anomalia deve essere verificata tempestivamente.
2) Dopo che il personale del processo analizza le condizioni del rivestimento delBarca in grafite PECVD/carrier, determineranno se la barchetta di grafite deve essere pulita e se la punta della carta deve essere sostituita, e la barchetta/carrier di grafite che necessita di pulizia verrà consegnata al personale addetto alle attrezzature per la pulizia.

 

3) Dopo ilbarca in grafite/il supporto è danneggiato, il personale di produzione estrarrà tutti i wafer di silicio nella barchetta di grafite e userà CDA (aria compressa) per separare i frammenti nelbarca in grafiteUna volta completata la procedura, il personale addetto all'attrezzatura la solleverà e la immergerà nella vasca contenente una soluzione di acido fluoridrico (HF) preparata in proporzione specifica per la pulizia.

 

2. Pulizia della barca in grafite

Si consiglia di utilizzare una soluzione di acido fluoridrico al 15-25% per tre cicli di pulizia, ciascuno della durata di 4-5 ore, e di insufflare periodicamente azoto durante il processo di immersione e pulizia, aggiungendo circa mezz'ora alla pulizia; nota: si sconsiglia di utilizzare direttamente l'aria come fonte di gas per l'insufflazione. Dopo il decapaggio, risciacquare con acqua pura per circa 10 ore e verificare che l'imbarcazione sia stata pulita a fondo. Dopo la pulizia, controllare la superficie dell'imbarcazione, la punta della carta grafite e la giunzione delle lamiere, nonché altre parti, per verificare la presenza di eventuali residui di nitruro di silicio. Quindi asciugare secondo le istruzioni.

3. Precauzioni per la pulizia

A) Poiché l'acido fluoridrico è una sostanza altamente corrosiva e presenta una certa volatilità, è pericoloso per gli operatori. Pertanto, gli operatori presso la postazione di pulizia devono adottare precauzioni di sicurezza ed essere supervisionati da una persona incaricata.

B) Si raccomanda di smontare l'imbarcazione e pulire solo la parte in grafite durante la pulizia, in modo che ogni punto di contatto possa essere pulito più a fondo. Attualmente, molti produttori nazionali utilizzano la pulizia completa, che è comoda, ma poiché l'acido fluoridrico è corrosivo per le parti in ceramica, la pulizia completa ridurrà la durata utile delle parti corrispondenti.