Come pulire la barca in grafite PECVD? | VET Energy

1. Riconoscimento prima della pulizia

1) Quando ilBarca in grafite PECVDSe il supporto/carrier viene utilizzato più di 100-150 volte, l'operatore deve verificare tempestivamente le condizioni del rivestimento. In caso di rivestimento anomalo, è necessario pulirlo e verificarne la funzionalità. Il colore normale del rivestimento del wafer di silicio nel supporto/barca in grafite è blu. Se il wafer presenta colori diversi dal blu, più colori o una differenza di colore significativa tra i wafer, si tratta di un rivestimento anomalo e la causa dell'anomalia deve essere verificata tempestivamente.
2) Dopo il processo il personale analizza le condizioni del rivestimento delBarca in grafite PECVD/carrier, determineranno se la barchetta in grafite deve essere pulita e se la punta della carta deve essere sostituita, e la barchetta/carrier in grafite che deve essere pulita verrà consegnata al personale addetto all'attrezzatura per la pulizia.

 

3) Dopo ilbarca di grafite/carrier è danneggiato, il personale di produzione rimuoverà tutti i wafer di silicio nella barca di grafite e utilizzerà CDA (aria compressa) per separare i frammenti nelbarca di grafiteDopo il completamento, il personale addetto all'attrezzatura la solleverà nel serbatoio dell'acido preparato con una certa proporzione di soluzione HF per la pulizia.

 

2. Pulizia della barca in grafite

Si consiglia di utilizzare una soluzione di acido fluoridrico al 15-25% per tre cicli di pulizia, ciascuno della durata di 4-5 ore, e di gorgogliare periodicamente azoto durante il processo di ammollo e pulizia, aggiungendo circa mezz'ora di pulizia; nota: si sconsiglia di utilizzare aria direttamente come fonte di gas per il gorgogliamento. Dopo il decapaggio, risciacquare con acqua pura per circa 10 ore e verificare che l'imbarcazione sia stata accuratamente pulita. Dopo la pulizia, controllare la superficie dell'imbarcazione, la punta del cartoncino di grafite, il giunto della scotta e altre parti per verificare la presenza di residui di nitruro di silicio. Quindi asciugare secondo le istruzioni.

3. Precauzioni per la pulizia

A) Poiché l'acido fluoridrico è una sostanza altamente corrosiva e presenta una certa volatilità, è pericoloso per gli operatori. Pertanto, gli operatori presso la postazione di pulizia devono adottare misure di sicurezza ed essere gestiti da una persona dedicata.

B) Si consiglia di smontare l'imbarcazione e pulire solo la parte in grafite durante la pulizia, in modo da poter pulire a fondo ogni parte a contatto. Attualmente, molti produttori nazionali utilizzano una pulizia completa, che è comoda, ma poiché l'acido fluoridrico è corrosivo per le parti in ceramica, la pulizia completa ne ridurrà la durata utile.