Pehea e hoʻomaʻemaʻe ai i ka waʻa graphite PECVD？| VET Energy

1. Ka ʻae ʻana ma mua o ka hoʻomaʻemaʻe ʻana

1) I ka wāWaʻa graphite PECVDInā hoʻohana ʻia ka mea lawe ma mua o 100 a 150 mau manawa, pono ka mea hoʻohana e nānā i ke kūlana o ka uhi ʻana i ka manawa kūpono. Inā he uhi ʻē aʻe, pono e hoʻomaʻemaʻe ʻia a hōʻoia ʻia. ʻO ke kala uhi maʻamau o ka wafer silicon i loko o ka waʻa/mea lawe graphite he polū. Inā he polū ʻole ka wafer, he nui nā kala, a i ʻole he nui ka ʻokoʻa kala ma waena o nā wafers, he uhi ʻē aʻe ia, a pono e hōʻoia i ke kumu o ka ʻē aʻe i ka manawa kūpono.
2) Ma hope o ke kaʻina hana, nānā nā limahana i ke kūlana o ka uhi ʻana o kaWaʻa graphite PECVD/mea lawe, na lākou e hoʻoholo inā pono e hoʻomaʻemaʻe ʻia ka waʻa graphite a inā pono e hoʻololi ʻia ke kiko kāleka, a ʻo ka waʻa graphite/mea lawe e pono ai ke hoʻomaʻemaʻe ʻia e hāʻawi ʻia i nā limahana lako no ka hoʻomaʻemaʻe ʻana.

 

3) Ma hope o kawaʻa graphite/inā ua hōʻino ʻia ka mea lawe, e lawe ka poʻe hana i nā wafers silicon āpau i loko o ka waʻa graphite a hoʻohana i ka CDA (ea i hoʻopaʻa ʻia) e hoʻokaʻawale i nā ʻāpana i loko o kawaʻa graphiteMa hope o ka pau ʻana, e hāpai nā limahana lako iā ia i loko o ka pahu waikawa i hoʻomākaukau ʻia me kahi hapa o ka hopena HF no ka hoʻomaʻemaʻe ʻana.

 

2. Ka hoʻomaʻemaʻe ʻana o ka waʻa graphite

Manaʻo ʻia e hoʻohana i kahi hopena waikawa hydrofluoric 15-25% no ʻekolu mau puni o ka hoʻomaʻemaʻe ʻana, no 4-5 mau hola kēlā me kēia, a hoʻoulu pinepine i ka naikokene i ka wā o ka hoʻomoʻa ʻana a me ka hoʻomaʻemaʻe ʻana, e hoʻohui ana i kahi hapalua hola o ka hoʻomaʻemaʻe ʻana; hoʻomaopopo: ʻaʻole i ʻōlelo ʻia e hoʻohana pololei i ka ea ma ke ʻano he kumu kinoea no ka hoʻoulu ʻana. Ma hope o ka pickling, holoi me ka wai maʻemaʻe no kahi o 10 mau hola, a e hōʻoia ua hoʻomaʻemaʻe pono ʻia ka waʻa. Ma hope o ka hoʻomaʻemaʻe ʻana, e ʻoluʻolu e nānā i ka ʻili o ka waʻa, ke kiko kāleka graphite a me ka hui pepa waʻa, a me nā ʻāpana ʻē aʻe e ʻike inā he koena silicon nitride. A laila e hoʻomaloʻo e like me nā koi.

3. Nā hana palekana no ka hoʻomaʻemaʻe

A) ʻOiai he mea ʻino loa ka waikawa HF a he ʻano palupalu kona, he mea weliweli ia i nā mea hoʻohana. No laila, pono nā mea hoʻohana ma ke kahua hoʻomaʻemaʻe e mālama i nā hana palekana a e mālama ʻia e kahi kanaka i hoʻolaʻa ʻia.

B) Manaʻo ʻia e wehe i ka waʻa a hoʻomaʻemaʻe wale i ka ʻāpana graphite i ka wā e hoʻomaʻemaʻe ai, i hiki ke hoʻomaʻemaʻe pono ʻia kēlā me kēia ʻāpana pili. I kēia manawa, hoʻohana ka nui o nā mea hana kūloko i ka hoʻomaʻemaʻe holoʻokoʻa, he mea kūpono ia, akā no ka mea he ʻino ka waikawa HF i nā ʻāpana seramika, e hoʻopōkole ka hoʻomaʻemaʻe holoʻokoʻa i ke ola lawelawe o nā ʻāpana pili.