Πώς να καθαρίσετε το σκάφος από γραφίτη PECVD; | VET Energy

1. Επιβεβαίωση πριν από τον καθαρισμό

1) Όταν τοΣκάφος γραφίτη PECVDΕάν ο φορέας/φορέας χρησιμοποιηθεί περισσότερες από 100 έως 150 φορές, ο χειριστής πρέπει να ελέγξει την κατάσταση της επίστρωσης εγκαίρως. Εάν υπάρχει ανώμαλη επίστρωση, πρέπει να καθαριστεί και να επιβεβαιωθεί. Το κανονικό χρώμα επίστρωσης της πλακέτας πυριτίου στο σκάφος/φορέα γραφίτη είναι μπλε. Εάν η πλακέτα δεν είναι μπλε, έχει πολλαπλά χρώματα ή η διαφορά χρώματος μεταξύ των πλακιδίων είναι μεγάλη, πρόκειται για ανώμαλη επίστρωση και η αιτία της ανωμαλίας πρέπει να επιβεβαιωθεί εγκαίρως.
2) Αφού το προσωπικό της διαδικασίας αναλύσει την κατάσταση της επίστρωσηςΣκάφος γραφίτη PECVD/μεταφορέας, θα καθορίσουν εάν το σκάφος γραφίτη χρειάζεται καθαρισμό και εάν το σημείο κάρτας χρειάζεται αντικατάσταση, και το σκάφος/μεταφορέας γραφίτη που χρειάζεται καθαρισμό θα παραδοθεί στο προσωπικό του εξοπλισμού για καθαρισμό.

 

3) Μετά τοβάρκα από γραφίτη/φορέας έχει υποστεί ζημιά, το προσωπικό παραγωγής θα αφαιρέσει όλα τα πλακίδια πυριτίου στο σκάφος γραφίτη και θα χρησιμοποιήσει CDA (πεπιεσμένο αέρα) για να ταξινομήσει τα θραύσματα στοβάρκα από γραφίτηΜετά την ολοκλήρωση, το προσωπικό του εξοπλισμού θα τον ανυψώσει στη δεξαμενή οξέος που έχει προετοιμαστεί με μια ορισμένη αναλογία διαλύματος HF για καθαρισμό.

 

2. Καθαρισμός σκάφους από γραφίτη

Συνιστάται η χρήση διαλύματος υδροφθορικού οξέος 15-25% για τρεις γύρους καθαρισμού, ο καθένας για 4-5 ώρες, και η περιοδική διοχέτευση αζώτου με φυσαλίδες κατά τη διάρκεια της διαδικασίας μούλιασμα και καθαρισμού, προσθέτοντας περίπου μισή ώρα καθαρισμού. Σημείωση: δεν συνιστάται η απευθείας χρήση αέρα ως πηγή αερίου για τη διοχέτευση φυσαλίδων. Μετά το ξύσιμο, ξεπλύνετε με καθαρό νερό για περίπου 10 ώρες και βεβαιωθείτε ότι το σκάφος έχει καθαριστεί καλά. Μετά τον καθαρισμό, ελέγξτε την επιφάνεια του σκάφους, το σημείο της κάρτας γραφίτη και την ένωση του φύλλου του σκάφους, καθώς και άλλα μέρη για να δείτε εάν υπάρχουν υπολείμματα νιτριδίου του πυριτίου. Στη συνέχεια, στεγνώστε σύμφωνα με τις απαιτήσεις.

3. Προφυλάξεις καθαρισμού

Α) Δεδομένου ότι το οξύ HF είναι μια εξαιρετικά διαβρωτική ουσία και έχει μια ορισμένη πτητικότητα, είναι επικίνδυνο για τους χειριστές. Συνεπώς, οι χειριστές στο σημείο καθαρισμού πρέπει να λαμβάνουν προφυλάξεις ασφαλείας και να διοικούνται από ένα εξειδικευμένο άτομο.

Β) Συνιστάται η αποσυναρμολόγηση του σκάφους και ο καθαρισμός μόνο του γραφιτού μέρους κατά τον καθαρισμό, έτσι ώστε κάθε μέρος επαφής να μπορεί να καθαριστεί πιο σχολαστικά. Προς το παρόν, πολλοί εγχώριοι κατασκευαστές χρησιμοποιούν γενικό καθαρισμό, κάτι που είναι βολικό, αλλά επειδή το οξύ HF είναι διαβρωτικό για τα κεραμικά μέρη, ο γενικός καθαρισμός θα μειώσει τη διάρκεια ζωής των αντίστοιχων εξαρτημάτων.