Sidee loo nadiifiyaa doonida PECVD graphite？| Tamarta VET

1. Qirashada ka hor nadiifinta

1) MarkaDoonta garaafka ee PECVD/side-qaadaha waxaa la isticmaalaa in ka badan 100 ilaa 150 jeer, hawlwadeenku wuxuu u baahan yahay inuu hubiyo xaaladda dahaarka waqtigeeda. Haddii uu jiro dahaar aan caadi ahayn, waa in la nadiifiyaa oo la xaqiijiyaa. Midabka dahaarka caadiga ah ee wafer-ka silikoon ee ku jira doon/side-qaadaha garaafka waa buluug. Haddii wafer-ku uu leeyahay midabyo aan buluug ahayn, midabyo badan, ama farqiga midabka ee u dhexeeya wafer-ku uu weyn yahay, waa dahaar aan caadi ahayn, sababta cilladdana waa in la xaqiijiyaa waqtigeeda.
2) Ka dib marka la dhammeeyo hawsha, shaqaaluhu waxay falanqaynayaan xaaladda dahaarka eeDoonta garaafka ee PECVD/side, waxay go'aamin doonaan in doonida garaafitka loo baahan yahay in la nadiifiyo iyo in barta kaarka la beddelayo iyo in kale, doonta garaafitka/side-qaadaha u baahan in la nadiifiyo waxaa loo wareejin doonaa shaqaalaha qalabka si ay u nadiifiyaan.

 

3) Ka dibdoon garaafit ah/side-qaadaha uu waxyeelloobo, shaqaalaha wax soo saarku waxay ka saari doonaan dhammaan buskudka silikoon ee ku jira doonida garaafka waxayna isticmaali doonaan CDA (hawada la cadaadiyay) si ay u kala saaraan jajabyada ku jiradoon garaafit ahMarka la dhammeeyo ka dib, shaqaalaha qalabka ayaa ku qaadi doona taangiga aashitada ee lagu diyaariyey qayb go'an oo ah xalka HF si loo nadiifiyo.

 

2. Nadiifinta doonida graphite

Waxaa lagu talinayaa in la isticmaalo xal 15-25% hydrofluoric acid ah saddex wareeg oo nadiifin ah, midkiiba muddo 4-5 saacadood ah, iyo in si joogto ah loo nuugo nitrogen inta lagu jiro habka qoynta iyo nadiifinta, iyadoo lagu darayo qiyaastii nus saac oo nadiifin ah; ogow: laguma talinayo in si toos ah hawada loogu isticmaalo sidii isha gaaska ee xumbo. Ka dib marka la qoyo, ku raaci biyo saafi ah ilaa 10 saacadood, oo hubi in doonta si fiican loo nadiifiyay. Ka dib markaad nadiifiso, fadlan hubi dusha sare ee doonta, barta kaarka garaafka iyo isku xirka xaashida doonta, iyo qaybaha kale si aad u aragto haddii ay jiraan wax haraaga silicon nitride ah. Ka dibna qalaji sida waafaqsan shuruudaha.

3. Taxaddarrada nadiifinta

A) Maadaama aashitada HF ay tahay walax aad u daxal badan oo leh isbeddel gaar ah, waxay khatar ku tahay hawl wadeennada. Sidaa darteed, hawl wadeennada goobta nadiifinta waa inay qaadaan taxaddarrada badbaadada oo ay maamulaan qof u heellan.

B) Waxaa lagu talinayaa in la kala furfuro doonta oo la nadiifiyo oo keliya qaybta garaafka inta lagu jiro nadiifinta, si qayb kasta oo xiriir ah loo nadiifin karo si fiican. Waqtigan xaadirka ah, soosaarayaal badan oo gudaha ah ayaa isticmaala nadiifinta guud, taas oo ku habboon, laakiin maadaama aashitada HF ay tahay mid miridhku ku jiro qaybaha dhoobada, nadiifinta guud waxay soo gaabin doontaa cimriga adeegga qaybaha u dhigma.