Báwo ni a ṣe lè fọ ọkọ̀ ojú omi PECVD graphite? | VET Energy

1. Ìjẹ́wọ́ ṣáájú kí a tó fọ̀ ọ́ mọ́

1) Nígbà tíỌkọ̀ ojú omi PECVD graphite/a ti lo ohun ti n gbe e kiri ju igba 100 si 150 lọ, oniṣẹ naa nilo lati ṣayẹwo ipo ti a fi bo naa ni akoko. Ti a ba ni ibora ti ko dara, o nilo lati nu ati jẹrisi rẹ. Awọ ibora deede ti wafer silikoni ninu ọkọ oju omi/apo graphite jẹ buluu. Ti wafer ba ni awọn awọ ti ko ni buluu, tabi iyatọ awọ laarin awọn wafers tobi, ibora ti ko dara ni, ati pe o nilo lati jẹrisi ohun ti o fa aiṣedeede naa ni akoko.
2) Lẹ́yìn ilana náà, àwọn òṣìṣẹ́ ṣe àyẹ̀wò ipò ìbòrí tiỌkọ̀ ojú omi PECVD graphite/ẹrù, wọn yóò pinnu bóyá ó yẹ kí a fọ ​​ọkọ̀ ojú omi graphite náà mọ́ àti bóyá ó yẹ kí a pààrọ̀ ibi tí a fẹ́ kó káàdì náà sí, a ó sì fi ọkọ̀ ojú omi graphite/ẹrù tí a fẹ́ kó mọ́ lé àwọn òṣìṣẹ́ ẹ̀rọ náà lọ́wọ́ láti fọ.

 

3) Lẹ́yìn náàọkọ̀ ojú omi graphite/apoti ti o ba bajẹ, awọn oṣiṣẹ iṣelọpọ yoo yọ gbogbo awọn wafer silikoni ninu ọkọ oju omi graphite kuro ki o lo CDA (afẹfẹ ti a fi titẹ sita) lati to awọn ege ti o wa ninu rẹ.ọkọ̀ ojú omi graphiteLẹ́yìn tí a bá parí rẹ̀, àwọn òṣìṣẹ́ ẹ̀rọ náà yóò gbé e sínú ojò àsìdì tí a ti pèsè pẹ̀lú ìwọ̀n kan pàtó ti omi HF fún ìwẹ̀nùmọ́.

 

2. Mimọ ọkọ oju omi graphite

A gbani nímọ̀ràn láti lo omi hydrofluoric acid 15-25% fún ìfọmọ́ mẹ́ta, ọ̀kọ̀ọ̀kan fún wákàtí mẹ́rin sí márùn-ún, àti láti máa fi nitrogen hó nígbàkúgbà nígbà tí a bá ń fi omi wẹ̀ ẹ́ àti nígbà tí a bá ń fọ ẹ́, kí a sì fi ìdajì wákàtí ìfọmọ́ kún un; ẹ kíyèsí: a kò gbà nímọ̀ràn láti lo afẹ́fẹ́ tààrà gẹ́gẹ́ bí orísun gaasi fún fífọ́ èéfín. Lẹ́yìn tí a bá ti fi omi wẹ̀ ẹ́, fi omi mímọ́ wẹ̀ ẹ́ fún wákàtí mẹ́wàá, kí o sì rí i dájú pé a ti fọ ọkọ̀ ojú omi náà dáadáa. Lẹ́yìn tí a bá ti fọ ẹ́, jọ̀wọ́ ṣàyẹ̀wò ojú ọkọ̀ ojú omi náà, ojú pátákó graphite àti ìsopọ̀ pátákó ọkọ̀ ojú omi, àti àwọn ẹ̀yà mìíràn láti mọ̀ bóyá ohun tí ó kù nínú ọkọ̀ ojú omi silicon nitride wà. Lẹ́yìn náà, gbẹ ẹ́ gẹ́gẹ́ bí àwọn ohun tí a béèrè fún.

3. Àwọn ìṣọ́ra ìmọ́tótó

A) Nítorí pé HF acid jẹ́ ohun tó ń pa ara run gan-an, tó sì ní ìyípadà díẹ̀, ó léwu fún àwọn olùṣiṣẹ́. Nítorí náà, àwọn olùṣiṣẹ́ ní ibi ìwẹ̀nùmọ́ gbọ́dọ̀ ṣe àwọn ìṣọ́ra ààbò kí ẹni tó ṣe pàtàkì sì máa ṣàkóso rẹ̀.

B) A gbani nímọ̀ràn láti tú ọkọ̀ ojú omi náà ká kí a sì nu apá graphite náà nìkan nígbà tí a bá ń wẹ̀ ẹ́, kí a lè fọ apá kọ̀ọ̀kan tí a fi kàn án dáadáa. Lọ́wọ́lọ́wọ́, ọ̀pọ̀ àwọn olùṣe ilé ló ń lo ìwẹ̀ gbogbogbò, èyí tí ó rọrùn, ṣùgbọ́n nítorí pé HF acid máa ń ba àwọn ẹ̀yà seramiki jẹ́, ìwẹ̀ gbogbogbò yóò dín àkókò iṣẹ́ àwọn ẹ̀yà tí ó bá a mu kù.