1. Հաստատում մաքրումից առաջ
1) ԵրբPECVD գրաֆիտային նավակԵթե կրիչը օգտագործվում է 100-150 անգամից ավելի, օպերատորը պետք է ժամանակին ստուգի ծածկույթի վիճակը։ Եթե կա աննորմալ ծածկույթ, այն պետք է մաքրվի և հաստատվի։ Գրաֆիտային նավակի/կրիչի սիլիկոնային վաֆլիի նորմալ ծածկույթի գույնը կապույտ է։ Եթե վաֆլիի գույնը կապույտ չէ, բազմակի գույներ ունի, կամ վաֆլիների միջև գունային տարբերությունը մեծ է, դա աննորմալ ծածկույթ է, և աննորմալության պատճառը պետք է ժամանակին հաստատվի։
2) Գործընթացից հետո անձնակազմը վերլուծում է ծածկույթի վիճակըPECVD գրաֆիտային նավակ/փոխադրող, նրանք կորոշեն, թե արդյոք գրաֆիտային նավակը մաքրման կարիք ունի, և արդյոք քարտի կետը փոխարինման կարիք ունի, և մաքրման կարիք ունեցող գրաֆիտային նավակը/փոխադրողը կհանձնվի սարքավորումների անձնակազմին՝ մաքրման համար։
3) Հետոգրաֆիտային նավակ/կրիչը վնասված է, արտադրական անձնակազմը կհեռացնի գրաֆիտային նավակի բոլոր սիլիկոնային թիթեղները և կօգտագործի CDA (սեղմված օդ)՝ բեկորները տեսակավորելու համար։գրաֆիտային նավակԱվարտից հետո սարքավորումների անձնակազմը այն կբարձրացնի թթվային բաք, որը մաքրման համար պատրաստվել է HF լուծույթի որոշակի համամասնությամբ:
2. Գրաֆիտային նավակի մաքրում
Խորհուրդ է տրվում օգտագործել 15-25% ֆտորաջրածնային թթվի լուծույթ երեք փուլ մաքրման համար, յուրաքանչյուրը 4-5 ժամ տևողությամբ, և պարբերաբար ազոտ լցնել թրջման և մաքրման ընթացքում՝ ավելացնելով մոտ կես ժամ մաքրման համար։ Նշում. խորհուրդ չի տրվում անմիջապես օդը որպես գազի աղբյուր օգտագործել փրփրացնելու համար։ Մարինացնելուց հետո մոտ 10 ժամ լվացեք մաքուր ջրով և համոզվեք, որ նավակը մանրակրկիտ մաքրվել է։ Մաքրելուց հետո ստուգեք նավակի մակերեսը, գրաֆիտային քարտի ծայրը և նավակի թերթի միացումը, ինչպես նաև այլ մասերը՝ տեսնելու համար, թե արդյոք կան սիլիցիումի նիտրիդի մնացորդներ։ Այնուհետև չորացրեք պահանջներին համապատասխան։
3. Մաքրման նախազգուշական միջոցներ
Ա) Քանի որ HF թթուն ուժեղ կոռոզիոն նյութ է և ունի որոշակի ցնդողականություն, այն վտանգավոր է օպերատորների համար: Հետևաբար, մաքրման կետում օպերատորները պետք է ձեռնարկեն անվտանգության միջոցառումներ և կառավարվեն հատուկ անձի կողմից:
Բ) Խորհուրդ է տրվում նավակը քանդել և մաքրման ընթացքում մաքրել միայն գրաֆիտային մասը, որպեսզի յուրաքանչյուր շփման մասը կարողանա ավելի մանրակրկիտ մաքրվել: Ներկայումս շատ տեղական արտադրողներ օգտագործում են ընդհանուր մաքրում, ինչը հարմար է, բայց քանի որ HF թթուն քայքայիչ է կերամիկական մասերի համար, ընդհանուր մաքրումը կկրճատի համապատասխան մասերի ծառայության ժամկետը:
Հրապարակման ժամանակը. Դեկտեմբերի 23-2024