Kā tīrīt PECVD grafīta laivu? | VET Energy

1. Apstiprinājums pirms tīrīšanas

1) KadPECVD grafīta laivaJa pārklājums/nesējs tiek izmantots vairāk nekā 100 līdz 150 reizes, operatoram savlaicīgi jāpārbauda pārklājuma stāvoklis. Ja pārklājums ir anomāls, tas ir jātīra un jāapstiprina. Grafīta laivā/nesējā esošā silīcija vafeļa normālā pārklājuma krāsa ir zila. Ja vafelei nav zila krāsa, tā ir vairākās krāsās vai krāsu atšķirība starp vafelēm ir liela, tas ir anomāls pārklājums, un anomālijas cēlonis ir savlaicīgi jāapstiprina.
2) Pēc tam, kad procesa personāls ir analizējis pārklājuma stāvokliPECVD grafīta laiva/nesējs, viņi noteiks, vai grafīta laiva ir jātīra un vai ir jānomaina kartes punkts, un grafīta laiva/nesējs, kas jātīra, tiks nodots aprīkojuma personālam tīrīšanai.

 

3) Pēc tam, kadgrafīta laiva/nesējs ir bojāts, ražošanas personāls izņems visas silīcija plāksnes no grafīta laivas un izmantos saspiestu gaisu (CDA), lai atdalītu fragmentus.grafīta laivaPēc pabeigšanas iekārtas personāls to iecels skābes tvertnē, kas tīrīšanai ir sagatavota ar noteiktu HF šķīduma proporciju.

 

2. Grafīta laivas tīrīšana

Ieteicams trīs tīrīšanas kārtas veikt ar 15–25 % fluorūdeņražskābes šķīdumu, katru 4–5 stundas, mērcēšanas un tīrīšanas procesa laikā periodiski burbuļojot ar slāpekli, pievienojot apmēram pusstundu tīrīšanas; piezīme: nav ieteicams burbuļošanai tieši izmantot gaisu. Pēc kodināšanas laivu apmēram 10 stundas skalot ar tīru ūdeni un pārliecināties, ka tā ir rūpīgi iztīrīta. Pēc tīrīšanas, lūdzu, pārbaudiet laivas virsmu, grafīta kartes punktu un laivas loksnes savienojumu, kā arī citas daļas, lai pārliecinātos, vai nav palikuši silīcija nitrīda atlikumi. Pēc tam nosusiniet atbilstoši prasībām.

3. Tīrīšanas piesardzības pasākumi

A) Tā kā HF skābe ir ļoti kodīga viela ar zināmu gaistošību, tā ir bīstama operatoriem. Tāpēc operatoriem tīrīšanas posteņos ir jāievēro drošības pasākumi, un viņus vada īpaši norīkota persona.

B) Tīrīšanas laikā ieteicams izjaukt laivu un tīrīt tikai grafīta daļu, lai katru kontakta daļu varētu rūpīgāk iztīrīt. Pašlaik daudzi vietējie ražotāji izmanto vispārēju tīrīšanu, kas ir ērti, taču, tā kā HF skābe ir kodīga keramikas detaļām, vispārēja tīrīšana saīsinās atbilstošo detaļu kalpošanas laiku.