Como limpar barcos de grafite PECVD? | Energia VET

1. Reconhecimento antes da limpeza

1) Quando oBarco de grafite PECVD/o portador for usado mais de 100 a 150 vezes, o operador precisa verificar a condição do revestimento a tempo. Se houver um revestimento anormal, ele precisa ser limpo e confirmado. A cor normal do revestimento do wafer de silício no barco/suporte de grafite é azul. Se o wafer apresentar cores diferentes de azul, múltiplas ou se a diferença de cor entre os wafers for grande, trata-se de um revestimento anormal, e a causa da anormalidade precisa ser confirmada a tempo.
2) Após o pessoal do processo analisar a condição do revestimento doBarco de grafite PECVD/transportadora, eles determinarão se o barco de grafite precisa ser limpo e se o ponto do cartão precisa ser substituído, e o barco de grafite/transportadora que precisa ser limpo será entregue ao pessoal do equipamento para limpeza.

 

3) Depois dobarco de grafite/o transportador estiver danificado, o pessoal de produção retirará todos os wafers de silício do barco de grafite e usará CDA (ar comprimido) para separar os fragmentos nobarco de grafite. Após a conclusão, o pessoal do equipamento o colocará no tanque de ácido que foi preparado com uma certa proporção de solução de HF para limpeza.

 

2. Limpeza de barco de grafite

Recomenda-se o uso de uma solução de ácido fluorídrico a 15-25% para três rodadas de limpeza, cada uma com duração de 4 a 5 horas, e borbulhamento periódico de nitrogênio durante o processo de imersão e limpeza, adicionando cerca de meia hora de limpeza; observação: não é recomendado usar ar diretamente como fonte de gás para borbulhamento. Após a decapagem, enxágue com água pura por cerca de 10 horas e confirme se o barco foi completamente limpo. Após a limpeza, verifique a superfície do barco, a ponta da placa de grafite, a junta da chapa do barco e outras peças para verificar se há resíduos de nitreto de silício. Em seguida, seque conforme necessário.

3. Precauções de limpeza

A) Como o ácido HF é uma substância altamente corrosiva e possui certa volatilidade, ele é perigoso para os operadores. Portanto, os operadores do posto de limpeza devem tomar precauções de segurança e ser gerenciados por uma pessoa dedicada.

B) Recomenda-se desmontar o barco e limpar apenas a parte de grafite durante a limpeza, para que cada parte de contato possa ser limpa mais completamente. Atualmente, muitos fabricantes nacionais utilizam a limpeza geral, o que é conveniente, mas como o ácido HF é corrosivo para as peças cerâmicas, a limpeza geral reduzirá a vida útil das peças correspondentes.