Como limpar um barco de grafite PECVD? | VET Energy

1. Confirmação antes da limpeza

1) Quando obarco de grafite PECVDSe o suporte for usado mais de 100 a 150 vezes, o operador precisa verificar a condição do revestimento periodicamente. Se houver algum revestimento anormal, ele precisa ser limpo e confirmado. A cor normal do revestimento da pastilha de silício no suporte de grafite é azul. Se a pastilha apresentar uma cor diferente de azul, várias cores ou uma grande diferença de cor entre as pastilhas, trata-se de um revestimento anormal, e a causa da anormalidade precisa ser identificada imediatamente.
2) Após a análise do processo pela equipe, verifica-se a condição do revestimento.barco de grafite PECVDEles determinarão se o barco de grafite precisa ser limpo e se o ponto de fixação precisa ser substituído, e o barco/transportador de grafite que precisar ser limpo será entregue à equipe de equipamentos para limpeza.

 

3) Depois dobarco de grafiteSe o suporte estiver danificado, a equipe de produção removerá todos os wafers de silício do recipiente de grafite e usará ar comprimido para separar os fragmentos.barco de grafiteApós a conclusão, o pessoal responsável pelo equipamento irá içá-lo para o tanque de ácido previamente preparado com uma determinada proporção de solução de HF para limpeza.

 

2. Limpeza de barco de grafite

Recomenda-se o uso de uma solução de ácido fluorídrico a 15-25% para três ciclos de limpeza, cada um com duração de 4 a 5 horas, e borbulhamento periódico de nitrogênio durante o processo de imersão e limpeza, adicionando cerca de meia hora à limpeza. Observação: não é recomendável usar ar diretamente como fonte de gás para o borbulhamento. Após a decapagem, enxágue com água pura por cerca de 10 horas e certifique-se de que o barco esteja completamente limpo. Após a limpeza, verifique a superfície do barco, os pontos de grafite, as junções das chapas e outras partes para verificar se há algum resíduo de nitreto de silício. Em seguida, seque conforme as instruções.

3. Precauções de limpeza

A) Como o ácido fluorídrico (HF) é uma substância altamente corrosiva e possui certa volatilidade, ele representa um perigo para os operadores. Portanto, os operadores no posto de limpeza devem tomar precauções de segurança e ser supervisionados por uma pessoa dedicada.

B) Recomenda-se desmontar o barco e limpar apenas a parte de grafite durante a limpeza, para que cada ponto de contato possa ser limpo mais completamente. Atualmente, muitos fabricantes nacionais utilizam a limpeza total, o que é conveniente, mas como o ácido fluorídrico é corrosivo para peças de cerâmica, a limpeza total reduzirá a vida útil das peças correspondentes.