1. Beriya paqijkirinê pejirandin
1) Dema kuQeyika grafîtê ya PECVDGer hilgir ji 100 heta 150 caran zêdetir were bikar anîn, pêdivî ye ku operator rewşa pêçanê di wextê xwe de kontrol bike. Ger pêçek anormal hebe, divê were paqijkirin û piştrast kirin. Rengê pêçanê yê normal ê wafera silîkonê di qeyika grafît/hilgir de şîn e. Ger wafer ne şîn be, gelek rengên wê hebin, an jî cûdahiya rengê di navbera waferan de mezin be, ew pêçek anormal e, û divê sedema anormaliyê di wextê xwe de were piştrast kirin.
2) Piştî ku personelên pêvajoyê rewşa pêçandinê analîz dikinQeyika grafîtê ya PECVD/hilgir, ew ê diyar bikin ka gelo qeyika grafît pêdivî ye ku were paqijkirin û gelo xala kartê pêdivî ye ku were guhertin, û qeyika grafît/hilgirê ku pêdivî ye ku were paqijkirin dê ji bo paqijkirinê radestî personelên alavan were kirin.
3) Piştî kuqeyika grafîtê/hilgir zirar dîtibe, karmendên hilberînê dê hemî waferên silîkonê yên di keştiya grafîtê de derxînin û CDA (hewaya pêçayî) bikar bînin da ku perçeyên di nav de ji hev veqetînin.qeyika grafîtêPiştî temamkirinê, personelên alavan wê hilînin nav tanka asîdê ku bi rêjeyek diyarkirî ya çareseriya HF ji bo paqijkirinê hatiye amadekirin.
2. Paqijkirina qeyika grafîtê
Pêşniyar tê kirin ku ji bo sê dewreyên paqijkirinê, her yek ji bo 4-5 saetan, çareseriyek asîda hîdroflorîk a %15-25 were bikar anîn û di dema şilkirin û paqijkirinê de bi awayekî periyodîk nîtrojen were kelandin, bi qasî nîv saetê paqijkirinê lê zêde bikin; not: nayê pêşniyar kirin ku hewa rasterast wekî çavkaniya gazê ji bo kelandinê were bikar anîn. Piştî tirşkirinê, bi qasî 10 saetan bi ava paqij bişon û piştrast bikin ku qeyik bi tevahî hatiye paqijkirin. Piştî paqijkirinê, ji kerema xwe rûyê qeyikê, xala karta grafîtê û girêdana pelê qeyikê, û perçeyên din kontrol bikin da ku bibînin ka bermahiyên nîtrîda silîkonê hene an na. Dûv re li gorî hewcedariyan hişk bikin.
3. Tedbîrên paqijkirinê
A) Ji ber ku asîda HF madeyek pir korozîf e û xwedî rêjeyek diyarkirî ya neguhêrbar e, ew ji bo operatoran xeternak e. Ji ber vê yekê, operatorên li cihê paqijkirinê divê tedbîrên ewlehiyê bigirin û ji hêla kesekî taybet ve werin birêvebirin.
B) Pêşniyar tê kirin ku qeyik ji hev were veqetandin û di dema paqijkirinê de tenê beşa grafîtê were paqijkirin, da ku her beşa têkiliyê bi awayekî kûrtir were paqijkirin. Niha, gelek hilberînerên navxweyî paqijkirina giştî bikar tînin, ku ev hêsan e, lê ji ber ku asîda HF ji bo beşên seramîk korozîf e, paqijkirina giştî dê temenê karûbarê beşên têkildar kurt bike.
Dema weşandinê: 23ê Kanûna Pêşîn a 2024an