Чӣ тавр қаиқи графити PECVD-ро тоза кардан мумкин аст？| VET Energy

1. Тасдиқ пеш аз тозакунӣ

1) Вақте киҚаиқи графити PECVDАгар /интиқолдиҳанда зиёда аз 100 то 150 маротиба истифода шавад, оператор бояд ҳолати рӯйпӯшро сари вақт тафтиш кунад. Агар рӯйпӯши ғайримуқаррарӣ мавҷуд бошад, онро тоза ва тасдиқ кардан лозим аст. Ранги муқаррарии рӯйпӯши пластинаи силикон дар қаиқи /интиқолдиҳандаи графитӣ кабуд аст. Агар пластина кабуд набошад, рангҳои гуногун дошта бошад ё фарқияти ранг байни пластинаҳо калон бошад, ин рӯйпӯши ғайримуқаррарӣ аст ва сабаби нобаробарӣ бояд сари вақт тасдиқ карда шавад.
2) Пас аз раванд, кормандони раванд ҳолати пӯшишро таҳлил мекунандҚаиқи графити PECVD/интиқолдиҳанда, онҳо муайян мекунанд, ки оё қаиқи графитӣ бояд тоза карда шавад ва оё нуқтаи кортӣ бояд иваз карда шавад ва қаиқи графитӣ/интиқолдиҳандае, ки бояд тоза карда шавад, барои тозакунӣ ба кормандони таҷҳизот супорида мешавад.

 

3) Баъд азқаиқи графитӣ/интиқолдиҳанда вайрон шавад, кормандони истеҳсолӣ ҳамаи пластинаҳои кремнийро аз қаиқи графитӣ берун мекунанд ва барои ҷудо кардани пораҳо дар CDA (ҳавои фишурда) истифода мебаранд.қаиқи графитӣПас аз анҷоми кор, кормандони таҷҳизот онро ба зарфи кислота, ки бо миқдори муайяни маҳлули HF барои тозакунӣ омода шудааст, мебардоранд.

 

2. Тозакунии киштии графитӣ

Тавсия дода мешавад, ки барои се даври тозакунӣ, ҳар кадоме барои 4-5 соат, маҳлули 15-25% кислотаи гидрофторӣ истифода шавад ва ҳангоми тар кардан ва тоза кардан аз нитрогени даврӣ ҳубобӣ карда шавад ва тақрибан ним соат тозакунӣ илова карда шавад; қайд: истифодаи мустақими ҳаво ҳамчун манбаи газ барои ҳубобӣ тавсия дода намешавад. Пас аз бодиринг, тақрибан 10 соат бо оби тоза бишӯед ва тасдиқ кунед, ки қаиқ пурра тоза карда шудааст. Пас аз тозакунӣ, лутфан сатҳи қаиқ, нуқтаи корти графитӣ ва пайванди варақаи қаиқ ва дигар қисмҳоро тафтиш кунед, то бубинед, ки оё боқимондаи нитриди кремний вуҷуд дорад. Сипас мувофиқи талабот хушк кунед.

3. Эҳтиёткорӣ ҳангоми тозакунӣ

A) Азбаски кислотаи HF моддаи хеле зангзананда аст ва дорои ноустувории муайян аст, он барои операторон хатарнок аст. Аз ин рӯ, операторони нуқтаи тозакунӣ бояд чораҳои бехатариро андешанд ва аз ҷониби шахси махсус идора карда шаванд.

B) Тавсия дода мешавад, ки қаиқро ҷудо кунед ва танҳо ҳангоми тозакунӣ қисми графитиро тоза кунед, то ки ҳар як қисми тамосро бодиққаттар тоза кардан мумкин бошад. Дар айни замон, бисёре аз истеҳсолкунандагони ватанӣ аз тозакунии умумӣ истифода мебаранд, ки ин қулай аст, аммо азбаски кислотаи HF ба қисмҳои сафолӣ занг мезанад, тозакунии умумӣ мӯҳлати хидмати қисмҳои мувофиқро кӯтоҳ мекунад.