1. รับทราบก่อนทำความสะอาด
1) เมื่อเรือกราไฟต์ PECVDหากใช้แท่นวาง/ถาดกราไฟต์มากกว่า 100 ถึง 150 ครั้ง ผู้ปฏิบัติงานจำเป็นต้องตรวจสอบสภาพการเคลือบอย่างสม่ำเสมอ หากพบว่าการเคลือบผิดปกติ จะต้องทำความสะอาดและตรวจสอบหาสาเหตุ การเคลือบสีปกติของแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนในแท่นวาง/ถาดกราไฟต์จะเป็นสีน้ำเงิน หากเวเฟอร์มีสีอื่นที่ไม่ใช่สีน้ำเงิน มีหลายสี หรือมีความแตกต่างของสีระหว่างเวเฟอร์มาก แสดงว่าการเคลือบผิดปกติ และต้องตรวจสอบหาสาเหตุของความผิดปกติในทันที
2) หลังจากเจ้าหน้าที่กระบวนการทำการวิเคราะห์สภาพการเคลือบผิวแล้วเรือกราไฟต์ PECVD/ตัวยึด พวกเขาจะตรวจสอบว่าเรือกราไฟต์จำเป็นต้องทำความสะอาดหรือไม่ และจุดเชื่อมต่อการ์ดจำเป็นต้องเปลี่ยนหรือไม่ โดยเรือกราไฟต์/ตัวยึดที่ต้องทำความสะอาดจะถูกส่งต่อให้เจ้าหน้าที่ฝ่ายอุปกรณ์ดำเนินการทำความสะอาด
3) หลังจากนั้นเรือกราไฟต์หากตัวลำเลียงเสียหาย พนักงานฝ่ายผลิตจะนำแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนทั้งหมดในถาดกราไฟต์ออกมา และใช้ CDA (ลมเป่าอัด) เพื่อคัดแยกเศษชิ้นส่วนต่างๆ ออกเรือกราไฟต์หลังจากเสร็จสิ้นขั้นตอนแล้ว เจ้าหน้าที่ควบคุมอุปกรณ์จะยกอุปกรณ์นั้นลงไปในถังกรดที่เตรียมไว้ซึ่งมีส่วนผสมของสารละลาย HF ในสัดส่วนที่เหมาะสมสำหรับการทำความสะอาด
2. การทำความสะอาดเรือกราไฟต์
แนะนำให้ใช้สารละลายกรดไฮโดรฟลูออริก 15-25% ในการทำความสะอาด 3 รอบ รอบละ 4-5 ชั่วโมง และทำการเป่าไนโตรเจนเป็นระยะๆ ในระหว่างการแช่และการทำความสะอาด โดยเพิ่มเวลาในการทำความสะอาดประมาณครึ่งชั่วโมง หมายเหตุ: ไม่แนะนำให้ใช้ลมโดยตรงเป็นแหล่งก๊าซสำหรับการเป่า หลังจากแช่และทำความสะอาดแล้ว ให้ล้างด้วยน้ำสะอาดประมาณ 10 ชั่วโมง และตรวจสอบให้แน่ใจว่าเรือสะอาดหมดจดแล้ว หลังจากทำความสะอาดแล้ว โปรดตรวจสอบพื้นผิวของเรือ จุดที่เสียบการ์ดกราไฟต์ และรอยต่อของแผ่นไม้เรือ และส่วนอื่นๆ ว่ามีคราบซิลิกอนไนไตรด์ตกค้างอยู่หรือไม่ จากนั้นจึงทำให้แห้งตามข้อกำหนด
3. ข้อควรระวังในการทำความสะอาด
ก) เนื่องจากกรดไฮโดรฟลูออริกเป็นสารที่มีฤทธิ์กัดกร่อนสูงและระเหยได้ง่าย จึงเป็นอันตรายต่อผู้ปฏิบัติงาน ดังนั้น ผู้ปฏิบัติงาน ณ จุดทำความสะอาดต้องปฏิบัติตามมาตรการความปลอดภัยและมีผู้รับผิดชอบดูแลโดยเฉพาะ
ข) แนะนำให้ถอดชิ้นส่วนเรือออกและทำความสะอาดเฉพาะส่วนที่เป็นกราไฟต์เท่านั้น เพื่อให้สามารถทำความสะอาดชิ้นส่วนที่สัมผัสกันได้อย่างทั่วถึงยิ่งขึ้น ปัจจุบัน ผู้ผลิตในประเทศหลายรายใช้วิธีทำความสะอาดแบบทั้งชิ้น ซึ่งสะดวก แต่เนื่องจากกรดไฮโดรฟลูออริก (HF) มีฤทธิ์กัดกร่อนชิ้นส่วนเซรามิก การทำความสะอาดแบบทั้งชิ้นจะทำให้อายุการใช้งานของชิ้นส่วนที่เกี่ยวข้องสั้นลง
วันที่เผยแพร่: 23 ธันวาคม 2024