1. การรับทราบก่อนการทำความสะอาด
1) เมื่อเรือกราไฟต์ PECVD/carrier ถูกใช้มากกว่า 100 ถึง 150 ครั้ง ผู้ปฏิบัติงานจำเป็นต้องตรวจสอบสภาพการเคลือบในเวลาที่เหมาะสม หากมีการเคลือบที่ผิดปกติ จำเป็นต้องทำความสะอาดและยืนยัน สีเคลือบปกติของเวเฟอร์ซิลิกอนในเรือ/ตัวพากราไฟต์คือสีน้ำเงิน หากเวเฟอร์มีสีที่ไม่ใช่สีน้ำเงิน มีหลายสี หรือความแตกต่างของสีระหว่างเวเฟอร์มีมาก แสดงว่าเคลือบผิดปกติ และต้องยืนยันสาเหตุของความผิดปกติในเวลาที่เหมาะสม
2) หลังจากกระบวนการเสร็จสิ้น เจ้าหน้าที่จะวิเคราะห์สภาพการเคลือบของเรือกราไฟต์ PECVD/ผู้ขนส่ง เขาจะพิจารณาว่าจำเป็นต้องทำความสะอาดเรือกราไฟต์หรือไม่ และจำเป็นต้องเปลี่ยนจุดการ์ดหรือไม่ และเรือ/ผู้ขนส่งกราไฟต์ที่ต้องทำความสะอาดจะถูกส่งมอบให้บุคลากรด้านอุปกรณ์ดำเนินการทำความสะอาด
3) หลังจากที่เรือกราไฟท์/หากตัวพาได้รับความเสียหาย บุคลากรฝ่ายผลิตจะนำเวเฟอร์ซิลิกอนทั้งหมดในเรือกราไฟต์ออก และใช้ CDA (อากาศอัด) เพื่อคัดแยกชิ้นส่วนในเรือกราไฟท์. หลังจากเสร็จสิ้นเจ้าหน้าที่อุปกรณ์จะยกเข้าไปในถังกรดที่เตรียมไว้ด้วยสารละลาย HF ในสัดส่วนที่กำหนดเพื่อการทำความสะอาด
2. การทำความสะอาดเรือกราไฟท์
ขอแนะนำให้ใช้สารละลายกรดไฮโดรฟลูออริก 15-25% สำหรับการทำความสะอาด 3 รอบ รอบละ 4-5 ชั่วโมง และเติมไนโตรเจนเป็นระยะระหว่างขั้นตอนการแช่และทำความสะอาด โดยเติมการทำความสะอาดประมาณครึ่งชั่วโมง หมายเหตุ: ไม่แนะนำให้ใช้อากาศโดยตรงเป็นแหล่งก๊าซสำหรับเติมฟอง หลังจากดองแล้ว ให้ล้างด้วยน้ำบริสุทธิ์ประมาณ 10 ชั่วโมง และยืนยันว่าได้ทำความสะอาดเรืออย่างทั่วถึงแล้ว หลังจากทำความสะอาดแล้ว โปรดตรวจสอบพื้นผิวของเรือ จุดของการ์ดกราไฟต์และรอยต่อของแผ่นเรือ และส่วนอื่นๆ เพื่อดูว่ามีสารตกค้างของซิลิกอนไนไตรด์หรือไม่ จากนั้นจึงทำให้แห้งตามข้อกำหนด
3.ข้อควรระวังในการทำความสะอาด
ก) เนื่องจากกรด HF เป็นสารกัดกร่อนอย่างรุนแรงและมีการระเหยในระดับหนึ่ง จึงเป็นอันตรายต่อผู้ปฏิบัติงาน ดังนั้น ผู้ปฏิบัติงานที่จุดทำความสะอาดจะต้องใช้มาตรการด้านความปลอดภัยและต้องได้รับการจัดการโดยบุคลากรเฉพาะทาง
B) ขอแนะนำให้ถอดประกอบเรือและทำความสะอาดเฉพาะส่วนกราไฟต์ระหว่างการทำความสะอาด เพื่อให้สามารถทำความสะอาดส่วนที่สัมผัสแต่ละส่วนได้อย่างทั่วถึงมากขึ้น ปัจจุบัน ผู้ผลิตในประเทศหลายรายใช้การทำความสะอาดโดยรวมซึ่งสะดวก แต่เนื่องจากกรด HF กัดกร่อนส่วนเซรามิก การทำความสะอาดโดยรวมจะทำให้ชิ้นส่วนที่เกี่ยวข้องมีอายุการใช้งานสั้นลง
เวลาโพสต์: 23-12-2024