1. ከማጽዳት በፊት እውቅና መስጠት
1) መቼየPECVD ግራፋይት ጀልባ/ተሸካሚው ከ100 እስከ 150 ጊዜ በላይ ጥቅም ላይ ከዋለ፣ ኦፕሬተሩ የሽፋኑን ሁኔታ በጊዜ ማረጋገጥ አለበት። ያልተለመደ ሽፋን ካለ ማጽዳትና ማረጋገጥ አለበት። በግራፋይት ጀልባ/ተሸካሚው ውስጥ ያለው የሲሊኮን ዋፈር የተለመደው የሽፋን ቀለም ሰማያዊ ነው። ዋፈሩ ሰማያዊ ያልሆነ፣ ብዙ ቀለሞች ያሉት ከሆነ ወይም በዋፎቹ መካከል ያለው የቀለም ልዩነት ትልቅ ከሆነ፣ ያልተለመደ ሽፋን ነው፣ እና የልዩነቱ መንስኤ በጊዜ መረጋገጥ አለበት።
2) ከሂደቱ በኋላ ሰራተኞቹ የሽፋኑን ሁኔታ ይተነትናሉየPECVD ግራፋይት ጀልባ/ተሸካሚ፣ የግራፋይት ጀልባ ማጽዳት ያስፈልገው እንደሆነ እና የካርድ ነጥቡ መተካት ያስፈልገው እንደሆነ ይወስናሉ፣ እና ማጽዳት የሚያስፈልገው የግራፋይት ጀልባ/ተሸካሚ ለጽዳት ለመሳሪያዎቹ ሰራተኞች ይተላለፋል።
3) በኋላየግራፋይት ጀልባ/ተሸካሚው ከተበላሸ፣ የምርት ሰራተኞቹ በግራፋይት ጀልባ ውስጥ ያሉትን ሁሉንም የሲሊኮን ዋፈሮች አውጥተው በሲዲኤ (የተጨመቀ አየር) ውስጥ ያሉትን ቁርጥራጮች ለመደርደር ይጠቀማሉ።የግራፋይት ጀልባ. ከተጠናቀቀ በኋላ የመሳሪያው ሰራተኞች ለማፅዳት በተወሰነ የ HF መፍትሄ በተዘጋጀው የአሲድ ማጠራቀሚያ ውስጥ ያነሳሉ።
2. የግራፋይት ጀልባ ጽዳት
ለሶስት ዙር ጽዳት፣ እያንዳንዳቸው ለ4-5 ሰዓታት፣ እና በየጊዜው ናይትሮጅን በማጥለቅለቅ እና በማጽዳት ሂደት ውስጥ እንዲፈስ ይመከራል፣ ለግማሽ ሰዓት ያህል ጽዳት ይጨምሩ፤ ልብ ይበሉ፡ አየርን በቀጥታ እንደ ጋዝ ምንጭ መጠቀም አይመከርም። ከተቀዳ በኋላ፣ ለ10 ሰዓታት ያህል በንጹህ ውሃ ያጠቡ እና ጀልባው በደንብ መጸዳቱን ያረጋግጡ። ካጸዱ በኋላ፣ የጀልባውን ወለል፣ የግራፋይት ካርድ ነጥብ እና የጀልባ ወረቀት መገጣጠሚያ እና ሌሎች ክፍሎችን ያረጋግጡ እና የሲሊኮን ናይትሬድ ቅሪት ካለ ያረጋግጡ። ከዚያም እንደ መስፈርቶቹ ያድርቁ።
3. የጽዳት ጥንቃቄዎች
ሀ) HF አሲድ በጣም የሚያበላሽ ንጥረ ነገር ስለሆነ እና የተወሰነ ተለዋዋጭነት ስላለው ለኦፕሬተሮች አደገኛ ነው። ስለዚህ፣ በጽዳት ቦታው ያሉ ኦፕሬተሮች የደህንነት ጥንቃቄዎችን መውሰድ እና ቁርጠኛ በሆነ ሰው መመራት አለባቸው።
ለ) የጀልባውን መበታተን እና የግራፋይት ክፍሉን በማጽዳት ጊዜ ብቻ ማጽዳት ይመከራል፣ ስለዚህ እያንዳንዱ የመገናኛ ክፍል በበለጠ በደንብ እንዲጸዳ። በአሁኑ ጊዜ ብዙ የሀገር ውስጥ አምራቾች አጠቃላይ ጽዳት ይጠቀማሉ፣ ይህም ምቹ ነው፣ ነገር ግን HF አሲድ ለሴራሚክ ክፍሎች ዝገት ስለሚፈጥር፣ አጠቃላይ ጽዳት ተጓዳኝ ክፍሎችን የአገልግሎት ዘመን ያሳጥረዋል።
የፖስታ ሰዓት፡- ታህሳስ 23-2024