Kako očistiti grafitni čoln PECVD? | VET Energy

1. Potrditev pred čiščenjem

1) KoGrafitni čoln PECVDČe se nosilec/plošča uporablja več kot 100 do 150-krat, mora upravljavec pravočasno preveriti stanje prevleke. Če pride do nenormalne prevleke, jo je treba očistiti in potrditi. Normalna barva prevleke silicijeve rezine v grafitnem čolnu/nosilecu je modra. Če rezina ni modre barve, ima več barv ali je razlika v barvi med rezinami velika, gre za nenormalno prevleko in vzrok nepravilnosti je treba pravočasno potrditi.
2) Potem ko procesno osebje analizira stanje premazaGrafitni čoln PECVD/nosilec, bodo ugotovili, ali je treba grafitni čoln očistiti in ali je treba zamenjati konico kartice, grafitni čoln/nosilec, ki ga je treba očistiti, pa bodo predali osebju za opremo v čiščenje.

 

3) Pografitni čolnČe je nosilec poškodovan, bo proizvodno osebje odstranilo vse silicijeve rezine iz grafitnega čolna in s pomočjo stisnjenega zraka (CDA) razvrstilo fragmente vgrafitni čolnPo končanem delu bo osebje opreme dvignilo opremo v rezervoar s kislino, ki je bil pripravljen z določenim deležem raztopine HF za čiščenje.

 

2. Čiščenje grafitnega čolna

Priporočljivo je, da tri kroge čiščenja, vsak po 4-5 ur, uporabite 15-25 % raztopino fluorovodikove kisline in med namakanjem in čiščenjem občasno vpihujete dušik, čemur dodate približno pol ure čiščenja; opomba: uporaba zraka kot vira plina za vpihovanje ni priporočljiva. Po dekapiranju čoln sperite s čisto vodo približno 10 ur in se prepričajte, da je bil temeljito očiščen. Po čiščenju preverite površino čolna, konico grafitnega kartona in spoj pločevine čolna ter druge dele, da vidite, ali so na njem ostanki silicijevega nitrida. Nato posušite v skladu z zahtevami.

3. Previdnostni ukrepi pri čiščenju

A) Ker je HF kislina zelo korozivna snov in ima določeno hlapnost, je nevarna za upravljavce. Zato morajo upravljavci na čistilnem mestu upoštevati varnostne ukrepe in jih nadzorovati za to za to določena oseba.

B) Priporočljivo je, da čoln razstavite in med čiščenjem očistite samo grafitni del, da se lahko vsak kontaktni del temeljiteje očisti. Trenutno mnogi domači proizvajalci uporabljajo celovito čiščenje, kar je priročno, vendar ker je HF kislina korozivna za keramične dele, bo celovito čiščenje skrajšalo življenjsko dobo ustreznih delov.