1. صفائي کان اڳ اعتراف
1) جڏهنPECVD گريفائيٽ ٻيڙي/ڪيريئر 100 کان 150 ڀيرا کان وڌيڪ استعمال ڪيو ويندو آهي، آپريٽر کي وقت تي ڪوٽنگ جي حالت چيڪ ڪرڻ جي ضرورت آهي. جيڪڏهن ڪا غير معمولي ڪوٽنگ آهي، ته ان کي صاف ڪرڻ ۽ تصديق ڪرڻ جي ضرورت آهي. گريفائيٽ بوٽ /ڪيريئر ۾ سلڪون ويفر جو عام ڪوٽنگ رنگ نيرو آهي. جيڪڏهن ويفر ۾ غير نيرو، ڪيترائي رنگ آهن، يا ويفرز جي وچ ۾ رنگ جو فرق وڏو آهي، ته اهو هڪ غير معمولي ڪوٽنگ آهي، ۽ غير معمولي جي سبب جي وقت ۾ تصديق ڪرڻ جي ضرورت آهي.
2) عمل کان پوءِ اهلڪار ڪوٽنگ جي حالت جو تجزيو ڪن ٿاPECVD گريفائيٽ ٻيڙي/ڪيريئر، اهي طئي ڪندا ته ڇا گريفائيٽ ٻيڙي کي صاف ڪرڻ جي ضرورت آهي ۽ ڇا ڪارڊ پوائنٽ کي تبديل ڪرڻ جي ضرورت آهي، ۽ گريفائيٽ ٻيڙي / ڪيريئر جنهن کي صاف ڪرڻ جي ضرورت آهي ان کي صفائي لاءِ سامان جي اهلڪارن جي حوالي ڪيو ويندو.
3) کان پوءِگريفائيٽ ٻيڙي/ڪيريئر خراب ٿي ويو آهي، پيداواري عملو گريفائيٽ ٻيڙي ۾ سڀني سلڪون ويفرز کي ڪڍي ڇڏيندو ۽ سي ڊي اي (ڪمپريسڊ ايئر) استعمال ڪندي ٽڪرن کي ترتيب ڏيندو.گريفائيٽ ٻيڙي. مڪمل ٿيڻ کان پوءِ، سامان جا عملدار ان کي تيزابي ٽينڪ ۾ کڻندا جيڪو صفائي لاءِ HF محلول جي هڪ خاص تناسب سان تيار ڪيو ويو آهي.
2. گريفائيٽ ٻيڙي جي صفائي
صفائي جي ٽن دورن لاءِ 15-25٪ هائيڊروفلورڪ ايسڊ محلول استعمال ڪرڻ جي سفارش ڪئي وئي آهي، هر هڪ 4-5 ڪلاڪن لاءِ، ۽ وقتي طور تي ٻڏڻ ۽ صفائي جي عمل دوران نائٽروجن کي بلبل ڪندي، تقريباً اڌ ڪلاڪ صفائي شامل ڪندي؛ نوٽ: بلبلنگ لاءِ سڌو سنئون گئس ذريعو طور هوا کي استعمال ڪرڻ جي سفارش نه ڪئي وئي آهي. اچار ڪرڻ کان پوءِ، تقريباً 10 ڪلاڪن تائين خالص پاڻي سان ڌوئي، ۽ تصديق ڪريو ته ٻيڙي کي چڱي طرح صاف ڪيو ويو آهي. صفائي کان پوءِ، مهرباني ڪري ٻيڙي جي مٿاڇري، گريفائيٽ ڪارڊ پوائنٽ ۽ ٻيڙي جي شيٽ جوائنٽ، ۽ ٻين حصن کي چيڪ ڪريو ته ڏسو ته ڇا ڪو سلڪون نائٽرائڊ باقي آهي. پوءِ ضرورتن مطابق سڪايو.
3. صفائي جون احتياطي تدبيرون
الف) جيئن ته ايڇ ايف ايسڊ هڪ انتهائي خراب ڪندڙ مادو آهي ۽ ان ۾ هڪ خاص اتار چڙهاؤ آهي، اهو آپريٽرن لاءِ خطرناڪ آهي. تنهن ڪري، صفائي واري پوسٽ تي آپريٽرن کي حفاظتي احتياط ڪرڻ گهرجن ۽ هڪ وقف شخص پاران منظم ڪيو وڃي.
ب) صفائي دوران ٻيڙي کي الڳ ڪرڻ ۽ صرف گريفائيٽ واري حصي کي صاف ڪرڻ جي صلاح ڏني وئي آهي، ته جيئن هر رابطي واري حصي کي وڌيڪ چڱيءَ طرح صاف ڪري سگهجي. هن وقت، ڪيترائي گهريلو ٺاهيندڙ مجموعي صفائي استعمال ڪندا آهن، جيڪا آسان آهي، پر ڇاڪاڻ ته HF ايسڊ سيرامڪ حصن لاءِ corrosive آهي، مجموعي صفائي لاڳاپيل حصن جي سروس لائف کي مختصر ڪندي.
پوسٽ جو وقت: ڊسمبر-23-2024