Wie reinigt man ein PECVD-Graphitschiffchen? | VET Energy

1. Bestätigung vor der Reinigung

1) Wenn diePECVD-GraphitbootWird der Graphitträger mehr als 100 bis 150 Mal verwendet, muss der Bediener den Beschichtungszustand rechtzeitig überprüfen. Bei einer anormalen Beschichtung muss diese gereinigt und bestätigt werden. Die normale Beschichtungsfarbe des Siliziumwafers im Graphitträger ist blau. Ist der Wafer nicht blau, weist er mehrere Farben auf oder weist er einen großen Farbunterschied zwischen den Wafern auf, handelt es sich um eine anormale Beschichtung. Die Ursache der Anomalie muss rechtzeitig bestätigt werden.
2) Nachdem das Prozesspersonal den Beschichtungszustand desPECVD-Graphitboot/Träger, sie bestimmen, ob das Graphitschiffchen gereinigt werden muss und ob die Kartenspitze ausgetauscht werden muss, und das zu reinigende Graphitschiffchen/der zu reinigende Graphitträger wird dem Gerätepersonal zur Reinigung übergeben.

 

3) Nach demGraphitboot/Träger beschädigt ist, nimmt das Produktionspersonal alle Silizium-Wafer im Graphitboot heraus und verwendet CDA (Druckluft), um die Fragmente imGraphitboot. Nach der Fertigstellung hebt das Gerätepersonal es in den Säuretank, der mit einem bestimmten Anteil HF-Lösung zur Reinigung vorbereitet wurde.

 

2. Reinigung von Graphitschiffchen

Es wird empfohlen, drei Reinigungsdurchgänge mit einer 15–25%igen Flusssäurelösung zu verwenden (jeweils 4–5 Stunden). Während des Einweichens und Reinigens regelmäßig Stickstoff einblasen, was die Reinigungszeit um etwa eine halbe Stunde verlängert. Hinweis: Es wird nicht empfohlen, Luft direkt als Gasquelle zum Einblasen zu verwenden. Nach dem Beizen etwa 10 Stunden mit klarem Wasser spülen und sicherstellen, dass das Boot gründlich gereinigt ist. Nach der Reinigung die Bootsoberfläche, die Graphitkartenspitze, die Bootsblechverbindung und andere Teile auf Siliziumnitridrückstände prüfen. Anschließend vorschriftsmäßig trocknen.

3. Vorsichtsmaßnahmen bei der Reinigung

A) Da HF-Säure eine hochätzende Substanz mit einer gewissen Flüchtigkeit ist, stellt sie eine Gefahr für das Personal dar. Daher müssen die Mitarbeiter an der Reinigungsstation Sicherheitsvorkehrungen treffen und von einer dafür zuständigen Person beaufsichtigt werden.

B) Es wird empfohlen, das Boot zu zerlegen und während der Reinigung nur den Graphitteil zu reinigen, damit jedes Kontaktteil gründlicher gereinigt werden kann. Derzeit verwenden viele inländische Hersteller eine Gesamtreinigung, was praktisch ist. Da jedoch HF-Säure Keramikteile angreift, verkürzt eine Gesamtreinigung die Lebensdauer der entsprechenden Teile.