1. Agnosko antaŭ purigado
1) Kiam laPECVD-grafita boatoSe la silicia skatolo/portilo estas uzata pli ol 100 ĝis 150 fojojn, la funkciigisto bezonas ĝustatempe kontroli la staton de la tegaĵo. Se estas nenormala tegaĵo, ĝi bezonas esti purigita kaj konfirmita. La normala tegaĵkoloro de la silicia silicia plato en la grafita plato/portilo estas blua. Se la plato havas ne-bluan, plurajn kolorojn, aŭ la kolordiferenco inter la platoj estas granda, temas pri nenormala tegaĵo, kaj la kaŭzo de la anomalio bezonas esti ĝustatempe konfirmita.
2) Post kiam la prilabora personaro analizas la tegaĵan staton de laPECVD-grafita boato/portanto, ili determinos ĉu la grafita boato bezonas esti purigita kaj ĉu la kartpinto bezonas esti anstataŭigita, kaj la grafita boato/portanto, kiun oni bezonas purigi, estos transdonita al la ekipaĵpersonaro por purigado.
3) Post lagrafita boato/portilo estas difektita, la produktadpersonaro elprenos ĉiujn siliciajn obleojn en la grafita boato kaj uzos CDA (kunpremitan aeron) por ordigi la fragmentojn en lagrafita boatoPost la kompletigo, la ekipaĵpersonaro levos ĝin en la acidan tankon, kiu estis preparita kun certa proporcio de HF-solvaĵo por purigado.
2. Purigado de grafita boato
Estas rekomendinde uzi solvaĵon de 15-25%-a hidrofluora acido dum tri purigadoj, ĉiu dum 4-5 horoj, kaj periode bobeligi nitrogenon dum la trempado kaj purigado, aldonante ĉirkaŭ duonhoron da purigado; noto: ne estas rekomendinde uzi aeron rekte kiel gasfonton por bobelado. Post la piklado, lavu per pura akvo dum ĉirkaŭ 10 horoj, kaj konfirmu, ke la boato estas plene purigita. Post la purigado, bonvolu kontroli la surfacon de la boato, la pinton de la grafita kartono kaj la junton de la boatfolio, kaj aliajn partojn por vidi, ĉu estas iuj restaĵoj de silicia nitrido. Poste sekigu laŭ la postuloj.
3. Purigadaj antaŭzorgoj
A) Ĉar HF-acido estas tre koroda substanco kaj havas certan volatilecon, ĝi estas danĝera por funkciigistoj. Tial, funkciigistoj ĉe la purigposteno devas preni sekurecajn antaŭzorgojn kaj esti gvidataj de dediĉita persono.
B) Estas rekomendinde malmunti la boaton kaj purigi nur la grafitan parton dum la purigado, por ke ĉiu kontakta parto povu esti pli detale purigita. Nuntempe, multaj hejmaj fabrikantoj uzas ĝeneralan purigadon, kio estas oportuna, sed ĉar HF-acido estas koroda al ceramikaj partoj, ĝenerala purigado mallongigos la servodaŭron de la koncernaj partoj.
Afiŝtempo: 23-a de decembro 2024