Kepiye carane ngresiki prau grafit PECVD？| Energi VET

1. Pangenalan sadurunge ngresiki

1) NalikaPrau grafit PECVDYen wafer/carrier digunakake luwih saka 100 nganti 150 kali, operator kudu mriksa kondisi lapisan kanthi tepat wektu. Yen ana lapisan sing ora normal, kudu diresiki lan dikonfirmasi. Werna lapisan normal wafer silikon ing prau/carrier grafit yaiku biru. Yen wafer duwe warna sing ora biru, pirang-pirang, utawa bedane warna antarane wafer gedhe, iku minangka lapisan sing ora normal, lan panyebab kelainan kasebut kudu dikonfirmasi kanthi tepat wektu.
2) Sawise proses kasebut, personel nganalisa kahanan lapisanPrau grafit PECVD/operator, dheweke bakal nemtokake apa prau grafit kudu diresiki lan apa titik kertu kudu diganti, lan prau/operator grafit sing kudu diresiki bakal diserahake menyang personel peralatan kanggo diresiki.

 

3) Sawiséprau grafit/pembawa rusak, personel produksi bakal njupuk kabeh wafer silikon ing prau grafit lan nggunakake CDA (udara terkompresi) kanggo milah fragmen ingprau grafitSawisé rampung, petugas peralatan bakal ngangkat menyang tangki asam sing wis disiyapake nganggo larutan HF kanthi proporsi tartamtu kanggo diresiki.

 

2. Ngresiki prau grafit

Disaranake nggunakake larutan asam fluorida 15-25% kanggo telung babak pembersihan, saben babak suwene 4-5 jam, lan kanthi periodik mbucal nitrogen sajrone proses perendaman lan pembersihan, tambahake udakara setengah jam pembersihan; cathetan: ora disaranake nggunakake udara langsung minangka sumber gas kanggo mbucal. Sawise diasinake, bilas nganggo banyu murni udakara 10 jam, lan priksa manawa prau wis diresiki kanthi tliti. Sawise diresiki, priksa permukaan prau, titik kertu grafit lan sambungan lembaran prau, lan bagean liyane kanggo ndeleng apa ana residu silikon nitrida. Banjur garingake miturut syarat.

3. Pancegahan reresik

A) Amarga asam HF minangka zat korosif sing dhuwur lan nduweni volatilitas tartamtu, mula mbebayani kanggo operator. Mulane, operator ing pos pembersihan kudu njupuk pancegahan keamanan lan dikelola dening wong sing khusus.

B) Disaranake kanggo mbongkar prau lan mung ngresiki bagean grafit nalika ngresiki, supaya saben bagean sing kontak bisa diresiki kanthi luwih tliti. Saiki, akeh produsen domestik nggunakake pembersihan sakabèhé, sing trep, nanging amarga asam HF korosif kanggo bagean keramik, pembersihan sakabèhé bakal nyepetake umur layanan bagean sing cocog.