1. পরিষ্কার করার আগে স্বীকৃতি
১) যখনPECVD গ্রাফাইট নৌকা/ক্যারিয়ার ১০০ থেকে ১৫০ বারের বেশি ব্যবহার করা হলে, অপারেটরকে সময়মতো আবরণের অবস্থা পরীক্ষা করতে হবে। যদি অস্বাভাবিক আবরণ থাকে, তাহলে তা পরিষ্কার করে নিশ্চিত করতে হবে। গ্রাফাইট নৌকা/ক্যারিয়ারে সিলিকন ওয়েফারের স্বাভাবিক আবরণের রঙ নীল। যদি ওয়েফারে নীল রঙ না থাকে, একাধিক রঙ থাকে, অথবা ওয়েফারের মধ্যে রঙের পার্থক্য বেশি হয়, তাহলে এটি একটি অস্বাভাবিক আবরণ এবং অস্বাভাবিকতার কারণ সময়মতো নিশ্চিত করতে হবে।
২) প্রক্রিয়া শেষে কর্মীরা আবরণের অবস্থা বিশ্লেষণ করেPECVD গ্রাফাইট নৌকা/ক্যারিয়ার, তারা নির্ধারণ করবে যে গ্রাফাইট নৌকাটি পরিষ্কার করা দরকার কিনা এবং কার্ড পয়েন্টটি প্রতিস্থাপন করা দরকার কিনা, এবং যে গ্রাফাইট নৌকা/ক্যারিয়ারটি পরিষ্কার করা দরকার তা পরিষ্কারের জন্য সরঞ্জাম কর্মীদের কাছে হস্তান্তর করা হবে।
৩) পরেগ্রাফাইট নৌকা/ক্যারিয়ার ক্ষতিগ্রস্ত হলে, উৎপাদন কর্মীরা গ্রাফাইট নৌকার সমস্ত সিলিকন ওয়েফার বের করে ফেলবেন এবং CDA (সংকুচিত বায়ু) ব্যবহার করে টুকরোগুলো বাছাই করবেনগ্রাফাইট নৌকাসমাপ্তির পর, সরঞ্জাম কর্মীরা এটিকে অ্যাসিড ট্যাঙ্কে তুলবেন যা পরিষ্কারের জন্য নির্দিষ্ট অনুপাতের HF দ্রবণ দিয়ে প্রস্তুত করা হয়েছে।
2. গ্রাফাইট নৌকা পরিষ্কার করা
তিন দফা পরিষ্কারের জন্য ১৫-২৫% হাইড্রোফ্লোরিক অ্যাসিড দ্রবণ ব্যবহার করার পরামর্শ দেওয়া হয়, প্রতিটি ৪-৫ ঘন্টা ধরে, এবং ভেজানো এবং পরিষ্কার করার প্রক্রিয়ার সময় পর্যায়ক্রমে নাইট্রোজেন বুদবুদ করে, প্রায় আধা ঘন্টা পরিষ্কার করার জন্য যোগ করা হয়; দ্রষ্টব্য: বুদবুদের জন্য সরাসরি গ্যাসের উৎস হিসাবে বাতাস ব্যবহার করার পরামর্শ দেওয়া হয় না। আচারের পরে, প্রায় ১০ ঘন্টা ধরে বিশুদ্ধ জল দিয়ে ধুয়ে ফেলুন এবং নিশ্চিত করুন যে নৌকাটি পুঙ্খানুপুঙ্খভাবে পরিষ্কার করা হয়েছে। পরিষ্কার করার পরে, অনুগ্রহ করে নৌকার পৃষ্ঠ, গ্রাফাইট কার্ড পয়েন্ট এবং নৌকার শিটের জয়েন্ট এবং অন্যান্য অংশগুলি পরীক্ষা করে দেখুন যে কোনও সিলিকন নাইট্রাইডের অবশিষ্টাংশ আছে কিনা। তারপর প্রয়োজনীয়তা অনুসারে শুকিয়ে নিন।
৩. পরিষ্কারের সতর্কতা
ক) যেহেতু এইচএফ অ্যাসিড একটি অত্যন্ত ক্ষয়কারী পদার্থ এবং এর একটি নির্দিষ্ট অস্থিরতা রয়েছে, তাই এটি অপারেটরদের জন্য বিপজ্জনক। অতএব, পরিষ্কারের পোস্টে অপারেটরদের অবশ্যই নিরাপত্তা সতর্কতা অবলম্বন করতে হবে এবং একজন নিবেদিতপ্রাণ ব্যক্তির দ্বারা পরিচালিত হতে হবে।
খ) পরিষ্কারের সময় নৌকাটি খুলে ফেলা এবং শুধুমাত্র গ্রাফাইট অংশ পরিষ্কার করার পরামর্শ দেওয়া হয়, যাতে প্রতিটি যোগাযোগ অংশ আরও পুঙ্খানুপুঙ্খভাবে পরিষ্কার করা যায়। বর্তমানে, অনেক দেশীয় নির্মাতারা সামগ্রিক পরিষ্কার ব্যবহার করেন, যা সুবিধাজনক, কিন্তু যেহেতু HF অ্যাসিড সিরামিক অংশগুলির জন্য ক্ষয়কারী, তাই সামগ্রিক পরিষ্কারের ফলে সংশ্লিষ্ট অংশগুলির পরিষেবা জীবন কমবে।
পোস্টের সময়: ডিসেম্বর-২৩-২০২৪