Paano linisin ang bangkang grapayt ng PECVD？| VET Energy

1. Pagkilala bago ang paglilinis

1) Kapag angBangka ng grapayt ng PECVDKung ang /carrier ay ginamit nang higit sa 100 hanggang 150 beses, kailangang suriin ng operator ang kondisyon ng patong sa oras. Kung mayroong abnormal na patong, kailangan itong linisin at kumpirmahin. Ang normal na kulay ng patong ng silicon wafer sa graphite boat/carrier ay asul. Kung ang wafer ay may hindi asul, maraming kulay, o malaki ang pagkakaiba ng kulay sa pagitan ng mga wafer, ito ay isang abnormal na patong, at ang sanhi ng abnormalidad ay kailangang kumpirmahin sa oras.
2) Pagkatapos ng proseso, susuriin ng mga tauhan ang kondisyon ng patong ngBangka ng grapayt ng PECVD/tagapagdala, sila ang magpapasiya kung kailangang linisin ang graphite boat at kung kailangang palitan ang card point, at ang graphite boat/tagapagdala na kailangang linisin ay ibibigay sa mga tauhan ng kagamitan para sa paglilinis.

 

3) Pagkatapos ngbangkang grapayt/kung nasira ang carrier, aalisin ng mga tauhan ng produksyon ang lahat ng silicon wafer sa graphite boat at gagamit ng CDA (compressed air) para ayusin ang mga piraso sabangkang grapaytPagkatapos makumpleto, iaangat ito ng mga tauhan ng kagamitan papunta sa tangke ng asido na inihanda na may takdang proporsyon ng solusyong HF para sa paglilinis.

 

2. Paglilinis ng bangkang grapayt

Inirerekomenda na gumamit ng 15-25% hydrofluoric acid solution para sa tatlong round ng paglilinis, bawat isa ay sa loob ng 4-5 oras, at pana-panahong pagpapakulo ng nitrogen habang binababad at nililinis, at dagdagan ng halos kalahating oras na paglilinis; paalala: hindi inirerekomenda na direktang gamitin ang hangin bilang pinagmumulan ng gas para sa pagpapakulo. Pagkatapos mag-atsara, banlawan ng purong tubig sa loob ng humigit-kumulang 10 oras, at kumpirmahin na ang bangka ay lubusang nalinis. Pagkatapos linisin, pakisuri ang ibabaw ng bangka, ang graphite card point at ang boat sheet joint, at iba pang bahagi upang makita kung mayroong anumang silicon nitride residue. Pagkatapos ay patuyuin ayon sa mga kinakailangan.

3. Mga pag-iingat sa paglilinis

A) Dahil ang HF acid ay isang sangkap na lubhang kinakaing unti-unti at may tiyak na pagkasumpungin, mapanganib ito sa mga operator. Samakatuwid, ang mga operator sa paglilinis ay dapat gumawa ng mga pag-iingat sa kaligtasan at pamahalaan ng isang nakalaang tao.

B) Inirerekomenda na kalasin ang bangka at linisin lamang ang bahaging grapayt habang nililinis, upang ang bawat bahaging nakadikit ay mas malinis nang lubusan. Sa kasalukuyan, maraming lokal na tagagawa ang gumagamit ng pangkalahatang paglilinis, na maginhawa, ngunit dahil ang HF acid ay nakakasira sa mga bahaging seramiko, ang pangkalahatang paglilinis ay magpapaikli sa buhay ng serbisyo ng mga kaukulang bahagi.