ວິທີເຮັດຄວາມສະອາດເຮືອແກຣໄຟ PECVD? | VET Energy

1. ການຮັບຮູ້ກ່ອນການທຳຄວາມສະອາດ

1) ເມື່ອເຮືອແກຣໄຟ PECVD/carrier ຖືກນຳໃຊ້ຫຼາຍກວ່າ 100 ຫາ 150 ເທື່ອ, ຜູ້ປະຕິບັດງານຈຳເປັນຕ້ອງກວດສອບສະພາບຂອງຊັ້ນເຄືອບໃຫ້ທັນເວລາ. ຖ້າມີການເຄືອບທີ່ຜິດປົກກະຕິ, ມັນຈຳເປັນຕ້ອງໄດ້ຮັບການທຳຄວາມສະອາດ ແລະ ຢືນຢັນ. ສີເຄືອບປົກກະຕິຂອງແຜ່ນຊິລິໂຄນໃນເຮືອ/ແຜ່ນກຣາໄຟທ໌ແມ່ນສີຟ້າ. ຖ້າແຜ່ນເວເຟີມີສີທີ່ບໍ່ແມ່ນສີຟ້າ, ຫຼາຍສີ, ຫຼື ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງສີລະຫວ່າງແຜ່ນເວເຟີມີຂະໜາດໃຫຍ່, ມັນແມ່ນການເຄືອບທີ່ຜິດປົກກະຕິ, ແລະ ສາເຫດຂອງຄວາມຜິດປົກກະຕິຕ້ອງໄດ້ຮັບການຢືນຢັນໃຫ້ທັນເວລາ.
2) ຫຼັງຈາກຂະບວນການບຸກຄະລາກອນວິເຄາະສະພາບການເຄືອບຂອງເຮືອແກຣໄຟ PECVD/carrier, ພວກເຂົາຈະກຳນົດວ່າເຮືອ graphite ຈຳເປັນຕ້ອງໄດ້ທຳຄວາມສະອາດຫຼືບໍ່ ແລະ ຈຸດບັດຈຳເປັນຕ້ອງໄດ້ປ່ຽນແທນຫຼືບໍ່, ແລະ ເຮືອ/carrier graphite ທີ່ຕ້ອງການທຳຄວາມສະອາດຈະຖືກມອບໃຫ້ພະນັກງານອຸປະກອນເພື່ອທຳຄວາມສະອາດ.

 

3) ຫຼັງຈາກເຮືອແກຣໄຟ/ຖ້າຕົວຮັບນ້ຳໜັກເສຍຫາຍ, ພະນັກງານຜະລິດຈະເອົາແຜ່ນຊິລິໂຄນທັງໝົດໃນເຮືອແກຣໄຟອອກ ແລະ ໃຊ້ CDA (ອາກາດອັດ) ເພື່ອຄັດແຍກຊິ້ນສ່ວນຕ່າງໆໃນເຮືອແກຣໄຟຫຼັງຈາກສຳເລັດແລ້ວ, ພະນັກງານອຸປະກອນຈະຍົກມັນລົງໃນຖັງກົດທີ່ໄດ້ກະກຽມດ້ວຍສານລະລາຍ HF ໃນອັດຕາສ່ວນທີ່ແນ່ນອນສຳລັບການທຳຄວາມສະອາດ.

 

2. ການເຮັດຄວາມສະອາດເຮືອ graphite

ແນະນຳໃຫ້ໃຊ້ສານລະລາຍກົດໄຮໂດຣຟລູອໍຣິກ 15-25% ສຳລັບການທຳຄວາມສະອາດສາມຮອບ, ແຕ່ລະຮອບເປັນເວລາ 4-5 ຊົ່ວໂມງ, ແລະ ສີດໄນໂຕຣເຈນເປັນໄລຍະໃນລະຫວ່າງຂະບວນການແຊ່ ແລະ ທຳຄວາມສະອາດ, ໂດຍເພີ່ມການທຳຄວາມສະອາດປະມານເຄິ່ງຊົ່ວໂມງ; ໝາຍເຫດ: ບໍ່ແນະນຳໃຫ້ໃຊ້ອາກາດໂດຍກົງເປັນແຫຼ່ງອາຍແກັສສຳລັບການເຮັດຟອງ. ຫຼັງຈາກດອງແລ້ວ, ໃຫ້ລ້າງອອກດ້ວຍນ້ຳບໍລິສຸດປະມານ 10 ຊົ່ວໂມງ, ແລະ ຢືນຢັນວ່າເຮືອໄດ້ຖືກທຳຄວາມສະອາດຢ່າງລະອຽດ. ຫຼັງຈາກທຳຄວາມສະອາດແລ້ວ, ກະລຸນາກວດສອບພື້ນຜິວຂອງເຮືອ, ຈຸດກາຟຣາໄຟ ແລະ ຂໍ້ຕໍ່ແຜ່ນເຮືອ, ແລະ ສ່ວນອື່ນໆເພື່ອເບິ່ງວ່າມີຊິລິໂຄນໄນໄຕຣດຕົກຄ້າງຫຼືບໍ່. ຈາກນັ້ນເຊັດໃຫ້ແຫ້ງຕາມຄວາມຕ້ອງການ.

3. ຂໍ້ຄວນລະວັງໃນການທຳຄວາມສະອາດ

ກ) ເນື່ອງຈາກກົດ HF ເປັນສານທີ່ມີລິດກັດກ່ອນສູງ ແລະ ມີຄວາມລະເຫີຍທີ່ແນ່ນອນ, ມັນຈຶ່ງເປັນອັນຕະລາຍຕໍ່ຜູ້ປະຕິບັດງານ. ດັ່ງນັ້ນ, ຜູ້ປະຕິບັດງານຢູ່ຈຸດເຮັດຄວາມສະອາດຕ້ອງມີມາດຕະການຄວາມປອດໄພ ແລະ ໄດ້ຮັບການຄຸ້ມຄອງໂດຍບຸກຄົນທີ່ມີຄວາມຊ່ຽວຊານ.

ຂ) ແນະນຳໃຫ້ຖອດເຮືອອອກ ແລະ ທຳຄວາມສະອາດພຽງແຕ່ສ່ວນທີ່ເປັນກາຟໄຟທ໌ໃນລະຫວ່າງການທຳຄວາມສະອາດ, ເພື່ອໃຫ້ສາມາດທຳຄວາມສະອາດແຕ່ລະສ່ວນຂອງການຕິດຕໍ່ໄດ້ຢ່າງລະອຽດ. ໃນປະຈຸບັນ, ຜູ້ຜະລິດພາຍໃນປະເທດຫຼາຍຄົນໃຊ້ການທຳຄວາມສະອາດໂດຍລວມ, ເຊິ່ງສະດວກສະບາຍ, ແຕ່ເນື່ອງຈາກກົດ HF ເປັນສານກັດກ່ອນຕໍ່ຊິ້ນສ່ວນເຊລາມິກ, ການທຳຄວາມສະອາດໂດຍລວມຈະເຮັດໃຫ້ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງຊິ້ນສ່ວນທີ່ສອດຄ້ອງກັນສັ້ນລົງ.