چگونه قایق گرافیتی PECVD را تمیز کنیم؟ | انرژی VET

1. تایید قبل از تمیز کردن

۱) هنگامی کهقایق گرافیتی PECVDاگر بیش از ۱۰۰ تا ۱۵۰ بار از حامل/حامل استفاده شود، اپراتور باید وضعیت پوشش را به موقع بررسی کند. اگر پوشش غیرطبیعی وجود داشته باشد، باید تمیز و تأیید شود. رنگ پوشش طبیعی ویفر سیلیکونی در قایق/حامل گرافیتی آبی است. اگر ویفر رنگ‌های غیر آبی یا چندگانه داشته باشد یا تفاوت رنگ بین ویفرها زیاد باشد، پوشش غیرطبیعی است و علت ناهنجاری باید به موقع تأیید شود.
۲) پس از انجام فرآیند، پرسنل، وضعیت پوشش را تجزیه و تحلیل می‌کنند.قایق گرافیتی PECVD/حامل، آنها تعیین خواهند کرد که آیا قایق گرافیتی نیاز به تمیز کردن دارد و آیا نقطه کارت نیاز به تعویض دارد یا خیر، و قایق/حامل گرافیتی که نیاز به تمیز کردن دارد، برای تمیز کردن به پرسنل تجهیزات تحویل داده می‌شود.

 

۳) بعد ازقایق گرافیتیاگر حامل آسیب دیده باشد، پرسنل تولید تمام ویفرهای سیلیکونی موجود در قایق گرافیتی را خارج کرده و از CDA (هوای فشرده) برای جدا کردن قطعات موجود درقایق گرافیتیپس از اتمام، پرسنل تجهیزات آن را به مخزن اسیدی که با نسبت مشخصی از محلول HF برای تمیز کردن آماده شده است، منتقل می‌کنند.

 

2. تمیز کردن قایق گرافیتی

توصیه می‌شود از محلول اسید هیدروفلوئوریک ۱۵ تا ۲۵ درصد برای سه دور تمیز کردن، هر بار به مدت ۴ تا ۵ ساعت، و به صورت دوره‌ای در طول فرآیند خیساندن و تمیز کردن، حباب نیتروژن استفاده شود و حدود نیم ساعت به زمان تمیز کردن اضافه شود. توجه: استفاده مستقیم از هوا به عنوان منبع گاز برای حباب زدن توصیه نمی‌شود. پس از اسیدشویی، حدود ۱۰ ساعت با آب خالص بشویید و تأیید کنید که قایق کاملاً تمیز شده است. پس از تمیز کردن، لطفاً سطح قایق، نوک کارت گرافیتی و اتصال ورق قایق و سایر قسمت‌ها را بررسی کنید تا ببینید آیا اثری از نیترید سیلیکون وجود دارد یا خیر. سپس طبق الزامات خشک کنید.

۳. اقدامات احتیاطی نظافت

الف) از آنجایی که اسید HF ماده‌ای بسیار خورنده است و فراریت خاصی دارد، برای اپراتورها خطرناک است. بنابراین، اپراتورها در پست تمیزکاری باید اقدامات احتیاطی ایمنی را رعایت کنند و توسط یک فرد متخصص مدیریت شوند.

ب) توصیه می‌شود که قایق را از هم جدا کنید و هنگام تمیز کردن، فقط قسمت گرافیتی را تمیز کنید تا هر قسمت تماسی بتواند به طور کامل‌تری تمیز شود. در حال حاضر، بسیاری از تولیدکنندگان داخلی از تمیز کردن کلی استفاده می‌کنند که راحت است، اما از آنجا که اسید HF برای قطعات سرامیکی خورنده است، تمیز کردن کلی عمر قطعات مربوطه را کوتاه می‌کند.