Como limpar unha embarcación de grafito PECVD? | Enerxía VET

1. Recoñecemento antes da limpeza

1) Cando o/aBarco de grafito PECVDSe o soporte/carrier se usa máis de 100 a 150 veces, o operador debe comprobar o estado do revestimento a tempo. Se hai un revestimento anormal, cómpre limpalo e confirmalo. A cor normal do revestimento da oblea de silicio na caixa/carrier de grafito é azul. Se a oblea ten varias cores, non é azul ou a diferenza de cor entre as obleas é grande, trátase dun revestimento anormal e a causa da anomalía debe confirmarse a tempo.
2) Despois do proceso, o persoal analiza o estado do revestimentoBarco de grafito PECVD/transportista, determinarán se é necesario limpar a barca de grafito e se é necesario substituír a punta da tarxeta, e a barca/transportista de grafito que sexa necesario limpar entregarase ao persoal de equipamento para a súa limpeza.

 

3) Despois dobarco de grafito/o portador está danado, o persoal de produción retirará todas as obleas de silicio da barca de grafito e usará CDA (aire comprimido) para separar os fragmentos dobarco de grafitoUnha vez finalizado, o persoal do equipo elevarao ao tanque de ácido que foi preparado cunha determinada proporción de solución de HF para a súa limpeza.

 

2. Limpeza de barcos de grafito

Recoméndase usar unha solución de ácido fluorhídrico ao 15-25 % durante tres roldas de limpeza, cada unha de 4 a 5 horas, e borbullar nitróxeno periodicamente durante o proceso de remollo e limpeza, engadindo aproximadamente media hora de limpeza; nota: non se recomenda usar aire directamente como fonte de gas para o borbullado. Despois do decapado, enxágüe con auga pura durante unhas 10 horas e confirme que o barco se limpou completamente. Despois da limpeza, comprobe a superficie do barco, a punta da cartolina de grafito e a unión da folla do barco, así como outras pezas para ver se hai algún residuo de nitruro de silicio. Despois, seque segundo os requisitos.

3. Precaucións de limpeza

A) Dado que o ácido HF é unha substancia altamente corrosiva e ten certa volatilidade, é perigoso para os operadores. Polo tanto, os operadores no posto de limpeza deben tomar precaucións de seguridade e ser supervisados ​​por unha persoa dedicada.

B) Recoméndase desmontar a embarcación e limpar só a peza de grafito durante a limpeza, para que cada peza de contacto se poida limpar máis a fondo. Na actualidade, moitos fabricantes nacionais empregan unha limpeza xeral, o que é conveniente, pero debido a que o ácido HF é corrosivo para as pezas cerámicas, a limpeza xeral acurtará a vida útil das pezas correspondentes.