Hvordan rengjøre PECVD grafittbåt? | VET Energy

1. Bekreftelse før rengjøring

1) NårPECVD grafittbåtHvis grafittbåten/bæreren brukes mer enn 100 til 150 ganger, må operatøren kontrollere beleggets tilstand i tide. Hvis det er et unormalt belegg, må det rengjøres og bekreftes. Den normale beleggfargen på silisiumskiven i grafittbåten/bæreren er blå. Hvis skiven ikke er blå, har flere farger, eller fargeforskjellen mellom skivene er stor, er det et unormalt belegg, og årsaken til unormaliteten må bekreftes i tide.
2) Etter prosessen analyserer personellet beleggets tilstandPECVD grafittbåt/bærer, de vil avgjøre om grafitbåten må rengjøres og om kortpunktet må byttes ut, og grafitbåten/bæreren som må rengjøres vil bli overlevert til utstyrspersonellet for rengjøring.

 

3) Ettergrafittbåt/bæreren er skadet, vil produksjonspersonellet ta ut alle silisiumskivene i grafittbåten og bruke CDA (trykkluft) til å sortere ut fragmentene igrafittbåtEtter at det er ferdig, løfter utstyrspersonellet det opp i syretanken som er klargjort med en viss andel HF-løsning for rengjøring.

 

2. Rengjøring av grafittbåt

Det anbefales å bruke en 15–25 % flussyreløsning i tre runder med rengjøring, hver i 4–5 timer, og med jevne mellomrom boble med nitrogen under bløtleggings- og rengjøringsprosessen, og legge til omtrent en halvtimes rengjøring. Merk: Det anbefales ikke å bruke luft direkte som gasskilde for bobling. Etter beising, skyll med rent vann i omtrent 10 timer, og bekreft at båten er grundig rengjort. Etter rengjøring, kontroller båtens overflate, grafittkortspissen og båtens skjøt, og andre deler for å se om det er rester av silisiumnitrid. Tørk deretter i henhold til kravene.

3. Rengjøringsforholdsregler

A) Siden HF-syre er et svært korrosivt stoff og har en viss flyktighet, er det farlig for operatører. Derfor må operatører på rengjøringsstasjonen ta sikkerhetsforholdsregler og bli ledet av en dedikert person.

B) Det anbefales å demontere båten og kun rengjøre grafittdelen under rengjøringen, slik at hver kontaktdel kan rengjøres grundigere. For tiden bruker mange innenlandske produsenter totalrengjøring, noe som er praktisk, men fordi HF-syre er etsende for keramiske deler, vil totalrengjøring forkorte levetiden til de tilsvarende delene.