Mokhoa oa ho hloekisa sekepe sa graphite sa PECVD？| VET Energy

1. Teboho pele ho hloekisoa

1) HaSekepe sa graphite sa PECVD/carrier e sebediswa ka makgetlo a fetang 100 ho isa ho a 150, mosebelisi o hloka ho hlahloba boemo ba ho roala ka nako. Haeba ho na le ho roala ho sa tlwaelehang, ho hlokahala hore ho hlwekiswe le ho netefatswa. Mmala o tlwaelehileng wa ho roala wa silicon wafer ka hara sekepe/carrier sa graphite ke o moputsoa. ​​Haeba wafer e se na boputswa, mebala e mengata, kapa phapang ya mmala pakeng tsa di-wafer e le kgolo, ke ho roala ho sa tlwaelehang, mme sesosa sa ho roala ho hloka ho netefatswa ka nako.
2) Kamora ts'ebetso, basebetsi ba sekaseka boemo ba ho koahela baSekepe sa graphite sa PECVD/mojari, ba tla etsa qeto ea hore na sekepe sa graphite se hloka ho hloekisoa le hore na ntlha ea karete e hloka ho nkeloa sebaka, 'me sekepe/mojari oa graphite se hlokang ho hloekisoa se tla nehelanoa ho basebetsi ba lisebelisoa bakeng sa ho hloekisa.

 

3) Kamorasekepe sa graphite/carrier e senyehile, basebetsi ba tlhahiso ba tla ntša li-wafer tsohle tsa silicon ka sekepeng sa graphite 'me ba sebelise CDA (moea o hatelletsoeng) ho hlophisa likotoana tse ka hare hosekepe sa graphiteKamora ho qeta, basebetsi ba lisebelisoa ba tla e phahamisa ka tankeng ea asiti e lokisitsoeng ka karolo e itseng ea tharollo ea HF bakeng sa ho hloekisa.

 

2. Ho hlwekisa sekepe sa graphite

Ho kgothaletswa ho sebedisa tharollo ya hydrofluoric acid ya 15-25% bakeng sa ho hlwekisa ka makgetlo a mararo, e nngwe le e nngwe ka dihora tse 4-5, le ho ntsha naetrojene nako le nako nakong ya ho qoelisa le ho hlwekisa, ho eketsa halofo ya hora ya ho hlwekisa; hlokomela: ha ho kgothaletswe ho sebedisa moya ka ho toba e le mohlodi wa kgase bakeng sa ho ntsha metsi. Kamora ho ntsha metsi, hlatswa ka metsi a hlwekileng ka dihora tse ka bang 10, mme o netefatse hore sekepe se hlwekisitswe hantle. Kamora ho hlwekisa, ka kopo hlahloba bokahodimo ba sekepe, ntlha ya karete ya graphite le leqhama la sekepe, le dikarolo tse ding ho bona hore na ho na le masala a silicon nitride. Ebe o omisa ho ya ka ditlhoko.

3. Mehato ea ho hloekisa

A) Kaha HF acid ke ntho e senyang haholo 'me e na le ho feto-fetoha ho itseng, e kotsi ho basebetsi. Ka hona, basebetsi ba sebakeng sa ho hloekisa ba tlameha ho nka mehato ea tšireletso 'me ba laoloe ke motho ea inehetseng.

B) Ho kgothaletswa ho qhaqha sekepe le ho hlwekisa karolo ya graphite feela nakong ya ho hlwekisa, e le hore karolo e nngwe le e nngwe e kgomarelang e ka hlwekiswa ka botlalo. Hona jwale, bahlahisi ba bangata ba malapeng ba sebedisa ho hlwekisa ka kakaretso, e leng ntho e bonolo, empa hobane HF acid e senya dikarolo tsa ceramic, ho hlwekisa ka kakaretso ho tla kgutsufatsa bophelo ba tshebeletso ya dikarolo tse tsamaellanang.