1. Пацверджанне перад уборкай
1) КаліГрафітавая лодка PECVDКалі пакрыццё/носьбіт выкарыстоўваецца больш за 100-150 разоў, аператар павінен своечасова праверыць стан пакрыцця. Пры наяўнасці анамальнага пакрыцця яго неабходна ачысціць і пацвердзіць. Нармальны колер пакрыцця крэмніевай пласціны ў графітавай лодцы/носьбіце - сіні. Калі пласціна мае неблакітны колер, некалькі колераў або вялікая розніца ў колеры паміж пласцінамі, гэта анамальнае пакрыццё, і прычыну анамаліі неабходна своечасова пацвердзіць.
2) Пасля завяршэння працэсу персанал аналізуе стан пакрыццяГрафітавая лодка PECVD/перавозчык, яны вызначаць, ці трэба чысціць графітавую лодку і ці трэба замяніць наканечнік карты, і графітавая лодка/перавозчык, якія патрабуюць чысткі, будуць перададзены персаналу па абслугоўванні абсталявання для чысткі.
3) Пасля таго, якграфітавая лодкаКалі носьбіт пашкоджаны, вытворчы персанал выме ўсе крэмніевыя пласціны з графітавай лодкі і выкарыстае сціснутае паветра (CDA) для адсартавання фрагментаў уграфітавая лодкаПасля завяршэння працы персанал абсталявання падыме яго ў рэзервуар з кіслатой, падрыхтаваны з пэўнай прапорцыяй раствора HF для ачысткі.
2. Ачыстка графітавай лодкі
Рэкамендуецца выкарыстоўваць 15-25% раствор плавікавай кіслаты на працягу трох этапаў ачысткі, кожны па 4-5 гадзін, і перыядычна прапускаць азот падчас замочвання і ачысткі, дадаючы каля паўгадзіны ачысткі; заўвага: не рэкамендуецца выкарыстоўваць паветра непасрэдна ў якасці крыніцы газу для прапускання. Пасля траўлення прамыйце чыстай вадой каля 10 гадзін і пераканайцеся, што лодка старанна ачышчана. Пасля ачысткі праверце паверхню лодкі, наканечнік графітавага картону і стык шкота лодкі, а таксама іншыя часткі на наяўнасць рэшткаў нітрыду крэмнію. Затым высушыце ў адпаведнасці з патрабаваннямі.
3. Меры засцярогі пры ўборцы
A) Паколькі фторвугляродная кіслата з'яўляецца вельмі каразійным рэчывам і мае пэўную лятучасць, яна небяспечная для аператараў. Таму аператары на пункце ачысткі павінны прымаць меры бяспекі і знаходзіцца пад кіраўніцтвам спецыяльна адмысловай асобы.
Б) Рэкамендуецца разбіраць лодку і чысціць толькі графітавыя дэталі падчас чысткі, каб кожная кантактная частка магла быць больш старанна ачышчана. У цяперашні час многія айчынныя вытворцы выкарыстоўваюць агульную чыстку, што зручна, але паколькі HF кіслата выклікае карозію ў керамічных дэталях, агульная чыстка скароціць тэрмін службы адпаведных дэталяў.
Час публікацыі: 23 снежня 2024 г.