Si të pastroni varkën prej grafiti PECVD? | VET Energy

1. Njohje para pastrimit

1) KurVarkë grafiti PECVDNëse/bartësi përdoret më shumë se 100 deri në 150 herë, operatori duhet të kontrollojë gjendjen e veshjes në kohë. Nëse ka një veshje jonormale, ajo duhet të pastrohet dhe të konfirmohet. Ngjyra normale e veshjes së pllakës së silikonit në varkën/bartësin e grafitit është blu. Nëse pllaka nuk është blu, ka ngjyra të shumëfishta, ose ndryshimi i ngjyrës midis pllakës është i madh, kjo është një veshje jonormale dhe shkaku i anomalisë duhet të konfirmohet në kohë.
2) Pasi personeli i procesit analizon gjendjen e veshjes sëVarkë grafiti PECVD/bartës, ata do të përcaktojnë nëse varka prej grafiti duhet të pastrohet dhe nëse pika e kartës duhet të zëvendësohet, dhe varka/bartësi prej grafiti që duhet të pastrohet do t'i dorëzohet personelit të pajisjeve për pastrim.

 

3) Pasvarkë grafiti/bartësi është i dëmtuar, personeli i prodhimit do të heqë të gjitha pllakat e silikonit në anijen e grafitit dhe do të përdorë CDA (ajër të kompresuar) për të renditur fragmentet nëvarkë grafitiPas përfundimit, personeli i pajisjeve do ta ngrejë atë në rezervuarin e acidit që është përgatitur me një proporcion të caktuar të tretësirës HF për pastrim.

 

2. Pastrimi i varkës së grafitit

Rekomandohet të përdorni një tretësirë ​​acidi hidrofluorik 15-25% për tre raunde pastrimi, secili për 4-5 orë, dhe të flluskoni periodikisht azot gjatë procesit të njomjes dhe pastrimit, duke shtuar rreth gjysmë ore pastrim; shënim: nuk rekomandohet të përdorni ajër direkt si burim gazi për flluskimin. Pas turshisë, shpëlajeni me ujë të pastër për rreth 10 orë dhe konfirmoni që varka është pastruar plotësisht. Pas pastrimit, ju lutemi kontrolloni sipërfaqen e varkës, pikën e kartës së grafitit dhe nyjen e fletës së varkës, si dhe pjesë të tjera për të parë nëse ka ndonjë mbetje nitriti silikoni. Pastaj thajeni sipas kërkesave.

3. Masat paraprake të pastrimit

A) Meqenëse acidi HF është një substancë shumë korrozive dhe ka njëfarë avullueshmërie, ai është i rrezikshëm për operatorët. Prandaj, operatorët në pikën e pastrimit duhet të marrin masa paraprake sigurie dhe të menaxhohen nga një person i dedikuar.

B) Rekomandohet që varka të çmontohet dhe të pastrohet vetëm pjesa e grafitit gjatë pastrimit, në mënyrë që çdo pjesë kontakti të mund të pastrohet më plotësisht. Aktualisht, shumë prodhues vendas përdorin pastrim të përgjithshëm, i cili është i përshtatshëm, por për shkak se acidi HF është gërryes për pjesët qeramike, pastrimi i përgjithshëm do të shkurtojë jetëgjatësinë e pjesëve përkatëse.