1. إقرار قبل التنظيف
1) عندماقارب من الجرافيت بتقنية الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازماإذا استُخدم الحامل لأكثر من 100 إلى 150 مرة، يجب على المشغل فحص حالة الطلاء باستمرار. في حال وجود طلاء غير طبيعي، يجب تنظيفه والتأكد من سلامته. اللون الطبيعي لطلاء رقاقة السيليكون في حامل الجرافيت هو الأزرق. إذا كانت الرقاقة ذات لون غير أزرق، أو متعددة الألوان، أو كان هناك تباين كبير في اللون بين الرقاقات، فهذا يُعد طلاءً غير طبيعي، ويجب تحديد سبب هذا الخلل فورًا.
2) بعد انتهاء العملية، يقوم الموظفون بتحليل حالة الطلاء لـقارب من الجرافيت بتقنية الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما/الحامل، سيحددون ما إذا كان قارب الجرافيت بحاجة إلى التنظيف وما إذا كانت نقطة البطاقة بحاجة إلى الاستبدال، وسيتم تسليم قارب/حامل الجرافيت الذي يحتاج إلى التنظيف إلى موظفي المعدات للتنظيف.
3) بعدقارب من الجرافيتفي حال تلف الحامل، سيقوم فريق الإنتاج بإخراج جميع رقائق السيليكون الموجودة في قارب الجرافيت واستخدام الهواء المضغوط لفرز الشظايا.قارب من الجرافيتبعد الانتهاء، سيقوم العاملون على المعدات برفعها إلى خزان الحمض الذي تم تجهيزه بنسبة معينة من محلول حمض الهيدروفلوريك للتنظيف.
2. تنظيف قارب من الجرافيت
يُنصح باستخدام محلول حمض الهيدروفلوريك بتركيز 15-25% لثلاث دورات تنظيف، مدة كل دورة 4-5 ساعات، مع تمرير غاز النيتروجين بشكل دوري أثناء النقع والتنظيف، لمدة نصف ساعة إضافية تقريبًا. ملاحظة: لا يُنصح باستخدام الهواء مباشرةً كمصدر للغاز. بعد التخليل، يُشطف القارب بالماء النقي لمدة 10 ساعات تقريبًا، ويُتأكد من تنظيفه جيدًا. بعد التنظيف، يُرجى فحص سطح القارب، ونقطة تثبيت بطاقة الجرافيت، ومفصل ألواح القارب، وباقي الأجزاء للتأكد من عدم وجود أي بقايا من نتريد السيليكون. ثم يُجفف وفقًا للمتطلبات.
3. احتياطات التنظيف
أ) نظرًا لأن حمض الهيدروفلوريك مادة شديدة التآكل وذات قابلية عالية للاشتعال، فإنه يشكل خطرًا على العاملين. لذلك، يجب على العاملين في موقع التنظيف اتخاذ احتياطات السلامة وأن يكونوا تحت إشراف شخص مسؤول.
ب) يُنصح بتفكيك القارب وتنظيف الجزء المصنوع من الجرافيت فقط أثناء عملية التنظيف، لضمان تنظيف كل جزء متلامس بشكل كامل. حاليًا، يستخدم العديد من المصنّعين المحليين التنظيف الشامل، وهو أمرٌ مريح، ولكن نظرًا لأن حمض الهيدروفلوريك يُسبب تآكل الأجزاء الخزفية، فإن التنظيف الشامل يُقلل من عمر هذه الأجزاء.
تاريخ النشر: 23 ديسمبر 2024