1. الإقرار قبل التنظيف
1) عندماقارب جرافيت PECVDإذا استُخدم الحامل أكثر من 100 إلى 150 مرة، فيجب على المُشغّل فحص حالة الطلاء في الوقت المناسب. في حال وجود أي خلل في الطلاء، يجب تنظيفه والتأكد من سلامته. اللون الطبيعي لطبقة رقاقة السيليكون في قارب/حامل الجرافيت هو الأزرق. إذا كانت الرقاقة تحتوي على ألوان غير زرقاء، أو ألوان متعددة، أو كان فرق اللون بين الرقاقات كبيرًا، فهذا يعني وجود خلل في الطلاء، ويجب التأكد من سبب الخلل في الوقت المناسب.
2) بعد العملية يقوم الموظفون بتحليل حالة الطلاءقارب جرافيت PECVD/ الناقل، وسوف يحددون ما إذا كان قارب الجرافيت يحتاج إلى التنظيف وما إذا كانت نقطة البطاقة تحتاج إلى استبدال، وسيتم تسليم قارب/ناقل الجرافيت الذي يحتاج إلى التنظيف إلى موظفي المعدات للتنظيف.
3) بعدقارب الجرافيتفي حالة تلف الناقل، سيقوم موظفو الإنتاج بإخراج جميع رقائق السيليكون الموجودة في قارب الجرافيت واستخدام CDA (الهواء المضغوط) لفرز الشظايا فيقارب الجرافيتبعد الانتهاء من عملية التنظيف، يقوم موظفو المعدات برفعها إلى خزان الحمض الذي تم تجهيزه بنسبة معينة من محلول HF للتنظيف.
2. تنظيف قارب الجرافيت
يُنصح باستخدام محلول حمض الهيدروفلوريك بتركيز 15-25% لثلاث دورات تنظيف، كل دورة مدتها 4-5 ساعات، مع إضافة النيتروجين الفقاعي بشكل دوري أثناء عملية النقع والتنظيف، مع إضافة حوالي نصف ساعة من التنظيف. ملاحظة: لا يُنصح باستخدام الهواء مباشرة كمصدر للغاز للفقاعات. بعد التنظيف، يُشطف القارب بالماء النقي لمدة 10 ساعات تقريبًا، ويتأكد من تنظيفه جيدًا. بعد التنظيف، يُرجى فحص سطح القارب، ونقطة بطاقة الجرافيت، ومفصل لوح القارب، والأجزاء الأخرى للتأكد من عدم وجود أي بقايا من نيتريد السيليكون. ثم يُجفف وفقًا للمتطلبات.
3. احتياطات التنظيف
أ) نظرًا لأن حمض الهيدروفلوريك مادة شديدة التآكل وشديدة التطاير، فإنه يُشكل خطرًا على العاملين. لذلك، يجب على العاملين في موقع التنظيف اتخاذ احتياطات السلامة اللازمة، وأن يُشرف عليهم شخص متخصص.
ب) يُنصح بتفكيك القارب وتنظيف جزء الجرافيت فقط أثناء التنظيف، لضمان تنظيف كل جزء ملامس بدقة أكبر. حاليًا، يستخدم العديد من المصنّعين المحليين التنظيف الشامل، وهو أمر مريح، ولكن نظرًا لأن حمض HF يُسبب تآكلًا للأجزاء الخزفية، فإن التنظيف الشامل يُقلل من عمر خدمة الأجزاء المقابلة.
وقت النشر: ٢٣ ديسمبر ٢٠٢٤