1. శుభ్రపరిచే ముందు గుర్తింపు
1) ఎప్పుడుPECVD గ్రాఫైట్ పడవ/క్యారియర్ 100 నుండి 150 సార్లు కంటే ఎక్కువ ఉపయోగించబడితే, ఆపరేటర్ పూత స్థితిని సకాలంలో తనిఖీ చేయాలి. అసాధారణ పూత ఉంటే, దానిని శుభ్రం చేసి నిర్ధారించాలి. గ్రాఫైట్ బోట్/క్యారియర్లోని సిలికాన్ వేఫర్ యొక్క సాధారణ పూత రంగు నీలం. వేఫర్లో నీలం కాని, బహుళ రంగులు ఉంటే లేదా వేఫర్ల మధ్య రంగు వ్యత్యాసం పెద్దగా ఉంటే, అది అసాధారణ పూత, మరియు అసాధారణతకు కారణాన్ని సకాలంలో నిర్ధారించాలి.
2) ప్రక్రియ తర్వాత సిబ్బంది పూత స్థితిని విశ్లేషిస్తారుPECVD గ్రాఫైట్ పడవ/క్యారియర్, గ్రాఫైట్ బోట్ శుభ్రం చేయాల్సిన అవసరం ఉందా మరియు కార్డ్ పాయింట్ మార్చాల్సిన అవసరం ఉందా అని వారు నిర్ణయిస్తారు మరియు శుభ్రం చేయాల్సిన గ్రాఫైట్ బోట్/క్యారియర్ను శుభ్రపరచడం కోసం పరికరాల సిబ్బందికి అప్పగిస్తారు.
3) తర్వాతగ్రాఫైట్ పడవ/ క్యారియర్ దెబ్బతిన్నట్లయితే, ఉత్పత్తి సిబ్బంది గ్రాఫైట్ బోట్లోని అన్ని సిలికాన్ వేఫర్లను బయటకు తీసి, CDA (కంప్రెస్డ్ ఎయిర్) ఉపయోగించి భాగాలను క్రమబద్ధీకరిస్తారు.గ్రాఫైట్ పడవ. పూర్తయిన తర్వాత, పరికరాల సిబ్బంది దానిని శుభ్రపరచడానికి నిర్దిష్ట నిష్పత్తిలో HF ద్రావణంతో తయారు చేసిన యాసిడ్ ట్యాంక్లోకి ఎత్తుతారు.
2. గ్రాఫైట్ పడవ శుభ్రపరచడం
మూడు రౌండ్ల శుభ్రపరచడానికి 15-25% హైడ్రోఫ్లోరిక్ యాసిడ్ ద్రావణాన్ని ఉపయోగించాలని సిఫార్సు చేయబడింది, ఒక్కొక్కటి 4-5 గంటలు, మరియు నానబెట్టడం మరియు శుభ్రపరిచే ప్రక్రియలో క్రమానుగతంగా నత్రజనిని బబ్లింగ్ చేయడం, దాదాపు అరగంట శుభ్రపరచడం జోడించడం; గమనిక: బబ్లింగ్ కోసం నేరుగా గాలిని గ్యాస్ మూలంగా ఉపయోగించడం సిఫార్సు చేయబడదు. పిక్లింగ్ తర్వాత, సుమారు 10 గంటల పాటు స్వచ్ఛమైన నీటితో శుభ్రం చేసి, పడవ పూర్తిగా శుభ్రం చేయబడిందని నిర్ధారించండి. శుభ్రపరిచిన తర్వాత, దయచేసి పడవ ఉపరితలం, గ్రాఫైట్ కార్డ్ పాయింట్ మరియు పడవ షీట్ జాయింట్ మరియు ఇతర భాగాలను తనిఖీ చేసి, ఏదైనా సిలికాన్ నైట్రైడ్ అవశేషాలు ఉన్నాయో లేదో చూడండి. తరువాత అవసరాలకు అనుగుణంగా ఆరబెట్టండి.
3. శుభ్రపరిచే జాగ్రత్తలు
ఎ) HF ఆమ్లం అత్యంత తినివేయు పదార్థం మరియు కొంత అస్థిరతను కలిగి ఉంటుంది కాబట్టి, ఇది ఆపరేటర్లకు ప్రమాదకరం. అందువల్ల, శుభ్రపరిచే పోస్ట్ వద్ద ఆపరేటర్లు భద్రతా జాగ్రత్తలు తీసుకోవాలి మరియు అంకితమైన వ్యక్తిచే నిర్వహించబడాలి.
బి) శుభ్రపరిచే సమయంలో పడవను విడదీసి, గ్రాఫైట్ భాగాన్ని మాత్రమే శుభ్రం చేయాలని సిఫార్సు చేయబడింది, తద్వారా ప్రతి కాంటాక్ట్ భాగాన్ని మరింత పూర్తిగా శుభ్రం చేయవచ్చు. ప్రస్తుతం, చాలా మంది దేశీయ తయారీదారులు మొత్తం శుభ్రపరచడాన్ని ఉపయోగిస్తున్నారు, ఇది సౌకర్యవంతంగా ఉంటుంది, కానీ HF ఆమ్లం సిరామిక్ భాగాలకు తినివేయు గుణం కలిగి ఉన్నందున, మొత్తం శుభ్రపరచడం సంబంధిత భాగాల సేవా జీవితాన్ని తగ్గిస్తుంది.
పోస్ట్ సమయం: డిసెంబర్-23-2024