1. శుభ్రపరిచే ముందు ధృవీకరణ
1) ఎప్పుడుPECVD గ్రాఫైట్ పడవగ్రాఫైట్ బోట్/క్యారియర్ను 100 నుండి 150 సార్ల కంటే ఎక్కువగా ఉపయోగించినప్పుడు, ఆపరేటర్ కోటింగ్ పరిస్థితిని సకాలంలో తనిఖీ చేయాలి. కోటింగ్లో ఏదైనా అసాధారణత ఉంటే, దానిని శుభ్రపరిచి నిర్ధారించుకోవాలి. గ్రాఫైట్ బోట్/క్యారియర్లోని సిలికాన్ వేఫర్ యొక్క సాధారణ కోటింగ్ రంగు నీలంగా ఉంటుంది. వేఫర్ నీలం రంగులో లేకపోయినా, బహుళ రంగులలో ఉన్నా, లేదా వేఫర్ల మధ్య రంగులో పెద్ద తేడా ఉన్నా, అది అసాధారణ కోటింగ్ అని అర్థం, మరియు ఆ అసాధారణతకు గల కారణాన్ని సకాలంలో నిర్ధారించుకోవాలి.
2) ప్రక్రియ సిబ్బంది పూత పరిస్థితిని విశ్లేషించిన తర్వాతPECVD గ్రాఫైట్ పడవగ్రాఫైట్ బోట్/క్యారియర్ను శుభ్రం చేయాలా వద్దా, మరియు కార్డ్ పాయింట్ను మార్చాలా వద్దా అని వారు నిర్ధారిస్తారు, మరియు శుభ్రం చేయవలసిన గ్రాఫైట్ బోట్/క్యారియర్ను శుభ్రపరచడం కోసం పరికరాల సిబ్బందికి అప్పగిస్తారు.
3) తరువాతగ్రాఫైట్ పడవక్యారియర్ దెబ్బతిన్నట్లయితే, ఉత్పత్తి సిబ్బంది గ్రాఫైట్ బోట్లోని అన్ని సిలికాన్ వేఫర్లను బయటకు తీసి, వాటిలోని శకలాలను వేరు చేయడానికి CDA (కంప్రెస్డ్ ఎయిర్)ను ఉపయోగిస్తారు.గ్రాఫైట్ పడవపని పూర్తయిన తర్వాత, పరికరాల సిబ్బంది దానిని శుభ్రపరచడం కోసం ఒక నిర్దిష్ట నిష్పత్తిలో HF ద్రావణంతో సిద్ధం చేసిన ఆమ్ల ట్యాంక్లోకి ఎత్తుతారు.
2. గ్రాఫైట్ పడవను శుభ్రపరచడం
మూడు దఫాలుగా శుభ్రపరచడానికి, ప్రతి దఫా 4-5 గంటల పాటు 15-25% హైడ్రోఫ్లోరిక్ ఆమ్ల ద్రావణాన్ని ఉపయోగించాలని సిఫార్సు చేయబడింది. నానబెట్టే మరియు శుభ్రపరిచే ప్రక్రియలో, అదనంగా అరగంట పాటు నైట్రోజన్ను బుడగలుగా పంపాలి; గమనిక: బుడగలు పంపడానికి వాయు వనరుగా నేరుగా గాలిని ఉపయోగించడం సిఫార్సు చేయబడదు. శుభ్రపరిచిన తర్వాత, సుమారు 10 గంటల పాటు స్వచ్ఛమైన నీటితో కడిగి, పడవ పూర్తిగా శుభ్రపడిందని నిర్ధారించుకోండి. శుభ్రపరిచిన తర్వాత, పడవ ఉపరితలం, గ్రాఫైట్ కార్డ్ పాయింట్, పడవ షీట్ జాయింట్ మరియు ఇతర భాగాలలో ఏదైనా సిలికాన్ నైట్రైడ్ అవశేషాలు ఉన్నాయేమో తనిఖీ చేయండి. ఆ తర్వాత అవసరాలకు అనుగుణంగా ఆరబెట్టండి.
3. శుభ్రపరిచే జాగ్రత్తలు
ఎ) HF ఆమ్లం అత్యంత తినివేసే స్వభావం గల పదార్థం మరియు దీనికి కొంత బాష్పీభవనశీలత ఉన్నందున, ఇది ఆపరేటర్లకు ప్రమాదకరం. అందువల్ల, శుభ్రపరిచే ప్రదేశంలోని ఆపరేటర్లు తప్పనిసరిగా భద్రతా జాగ్రత్తలు తీసుకోవాలి మరియు వారిని ఒక ప్రత్యేక వ్యక్తి పర్యవేక్షించాలి.
బి) శుభ్రపరిచేటప్పుడు పడవను విడదీసి, గ్రాఫైట్ భాగాన్ని మాత్రమే శుభ్రం చేయాలని సిఫార్సు చేయబడింది, తద్వారా ప్రతి సంపర్క భాగాన్ని మరింత క్షుణ్ణంగా శుభ్రపరచవచ్చు. ప్రస్తుతం, చాలా దేశీయ తయారీదారులు మొత్తం శుభ్రపరచడాన్ని ఉపయోగిస్తున్నారు, ఇది సౌకర్యవంతంగా ఉంటుంది, కానీ HF ఆమ్లం సిరామిక్ భాగాలకు తినివేసే స్వభావం కలిగి ఉన్నందున, మొత్తం శుభ్రపరచడం సంబంధిత భాగాల సేవా జీవితాన్ని తగ్గిస్తుంది.
పోస్ట్ సమయం: డిసెంబర్-23-2024