1. Подтверждение перед очисткой
1) КогдаГрафитовая лодочка PECVD/носитель используется более 100-150 раз, оператор должен вовремя проверить состояние покрытия. Если есть ненормальное покрытие, его необходимо очистить и подтвердить. Нормальный цвет покрытия кремниевой пластины в графитовой лодочке/носителе - синий. Если пластина не синего цвета, имеет несколько цветов или разница в цвете между пластинами велика, это ненормальное покрытие, и причину ненормальности необходимо подтвердить вовремя.
2) После окончания процесса персонал анализирует состояние покрытияГрафитовая лодочка PECVD/носитель, они определят, необходимо ли очистить графитовую лодочку и заменить наконечник карты, а графитовую лодочку/носитель, которые необходимо очистить, передадут обслуживающему персоналу для очистки.
3) Послеграфитовая лодка/носитель поврежден, производственный персонал вытащит все кремниевые пластины из графитовой лодочки и с помощью СДА (сжатого воздуха) рассортирует фрагменты вграфитовая лодкаПосле завершения работы персонал поднимет оборудование в кислотный бак, в котором приготовлена определенная пропорция раствора плавиковой кислоты для очистки.
2. Очистка графитовой лодочки
Рекомендуется использовать 15-25% раствор плавиковой кислоты для трех циклов очистки, каждый по 4-5 часов, и периодически барботировать азот во время процесса замачивания и очистки, добавляя около получаса очистки; примечание: не рекомендуется использовать воздух непосредственно в качестве источника газа для барботирования. После травления промойте чистой водой в течение примерно 10 часов и убедитесь, что лодка тщательно очищена. После очистки, пожалуйста, проверьте поверхность лодки, наконечник графитовой карты и соединение листов лодки, а также другие детали, чтобы увидеть, нет ли остатков нитрида кремния. Затем высушите в соответствии с требованиями.
3. Меры предосторожности при чистке
A) Поскольку HF-кислота является высококоррозионным веществом и имеет определенную летучесть, она опасна для операторов. Поэтому операторы на очистном посту должны соблюдать меры предосторожности и находиться под контролем назначенного лица.
B) Рекомендуется разобрать лодку и чистить только графитовую часть во время чистки, чтобы каждую контактную часть можно было очистить более тщательно. В настоящее время многие отечественные производители используют общую очистку, что удобно, но поскольку кислота HF вызывает коррозию керамических деталей, общая очистка сократит срок службы соответствующих деталей.
Время публикации: 23 декабря 2024 г.