1. Подтверждение перед уборкой
1) Когдалодка из графита, полученного методом PECVDЕсли подложка/носитель используется более 100-150 раз, оператору необходимо своевременно проверять состояние покрытия. При обнаружении дефектов покрытия необходимо провести очистку и подтверждение дефекта. Нормальный цвет покрытия кремниевой пластины в графитовой подложке/носителе — синий. Если на пластине присутствует не синий цвет, несколько цветов или разница в цвете между пластинами велика, это свидетельствует о дефекте покрытия, и необходимо своевременно установить причину дефекта.
2) После того, как персонал, занимающийся технологическим процессом, проанализирует состояние покрытия,лодка из графита, полученного методом PECVDОни определят, нуждается ли графитовая лодка в чистке и нужно ли заменить контактную площадку, после чего графитовая лодка/носитель, нуждающийся в чистке, будет передан персоналу по обслуживанию оборудования для очистки.
3) Послеграфитовая лодкаЕсли носитель поврежден, производственный персонал извлечет все кремниевые пластины из графитового контейнера и с помощью сжатого воздуха (CDA) отсортирует фрагменты.графитовая лодкаПосле завершения работ персонал по обслуживанию оборудования перенесет его в резервуар с кислотой, в который предварительно был добавлен определенный процент раствора HF для очистки.
2. Очистка графитовой лодки
Рекомендуется использовать 15-25% раствор фтористоводородной кислоты для трех циклов очистки, каждый по 4-5 часов, периодически продувая азотом во время замачивания и очистки, увеличивая время очистки примерно на полчаса; примечание: не рекомендуется использовать воздух в качестве источника газа для продувки. После травления промойте чистой водой в течение примерно 10 часов и убедитесь, что лодка тщательно очищена. После очистки проверьте поверхность лодки, графитовые точки, стыки шкотов и другие части на наличие остатков нитрида кремния. Затем высушите в соответствии с требованиями.
3. Меры предосторожности при уборке
А) Поскольку плавиковая кислота является высококоррозионным веществом и обладает определенной летучестью, она опасна для операторов. Поэтому операторы на очистном сооружении должны соблюдать меры безопасности и находиться под наблюдением специально назначенного лица.
B) Рекомендуется разбирать лодку и при чистке очищать только графитовые части, чтобы обеспечить более тщательную очистку каждой контактирующей детали. В настоящее время многие отечественные производители используют сплошную очистку, что удобно, но поскольку плавиковая кислота вызывает коррозию керамических деталей, сплошная очистка сокращает срок службы соответствующих деталей.
Дата публикации: 23 декабря 2024 г.