Kumaha carana ngabersihkeun parahu grafit PECVD？| VET Energy

1. Pangakuan sateuacan beberesih

1) NalikaParahu grafit PECVDUpami wafer/carrier dianggo langkung ti 100 dugi ka 150 kali, operator kedah mariksa kaayaan palapisna dina waktosna. Upami aya palapis anu teu normal, éta kedah dibersihkeun sareng dikonfirmasi. Warna palapis normal wafer silikon dina parahu/carrier grafit nyaéta biru. Upami wafer ngagaduhan warna anu sanés biru, sababaraha warna, atanapi bédana warna antara wafer ageung, éta mangrupikeun palapis anu teu normal, sareng panyababna kelainan kedah dikonfirmasi dina waktosna.
2) Saatos prosés réngsé, pagawé nganalisis kaayaan palapis tinaParahu grafit PECVD/pangirim, aranjeunna bakal nangtukeun naha parahu grafit kedah dibersihkeun sareng naha titik kartu kedah digentos, sareng parahu/pangirim grafit anu kedah dibersihkeun bakal diserahkeun ka petugas peralatan pikeun dibersihkeun.

 

3) Saatosparahu grafit/upami kapal pengangkut ruksak, tanaga produksi bakal ngaluarkeun sadaya wafer silikon dina kapal grafit sareng nganggo CDA (udara anu dikomprés) pikeun milah fragmen-fragmen dina kapal grafit.parahu grafitSaatos réngsé, petugas alat bakal ngangkatna kana tangki asam anu parantos disiapkeun nganggo larutan HF dina proporsi anu tangtu pikeun beberesih.

 

2. Ngabersihkeun kapal grafit

Disarankeun pikeun nganggo larutan asam hidrofluorat 15-25% pikeun tilu puteran beberesih, masing-masing salami 4-5 jam, sareng sacara périodik ngabuih nitrogén salami prosés perendaman sareng beberesih, tambahkeun sakitar satengah jam beberesih; catetan: henteu disarankeun pikeun nganggo hawa langsung salaku sumber gas pikeun ngabuih. Saatos diasinkeun, bilas ku cai murni salami sakitar 10 jam, sareng pastikeun yén parahu parantos dibersihkeun sacara saksama. Saatos beberesih, mangga parios permukaan parahu, titik kartu grafit sareng sambungan lambaran parahu, sareng bagian-bagian sanésna pikeun ningali naha aya sésa silikon nitrida. Teras garingkeun numutkeun sarat.

3. Pancegahan beberesih

A) Kusabab asam HF mangrupikeun zat anu korosif pisan sareng gaduh volatilitas anu tangtu, éta bahaya pikeun operator. Ku alatan éta, operator di pos beberesih kedah ngalakukeun tindakan pencegahan kaamanan sareng diurus ku jalma anu khusus.

B) Disarankeun pikeun ngabongkar parahu sareng ngan ukur ngabersihkeun bagian grafit nalika beberesih, supados unggal bagian anu kontak tiasa dibersihkeun langkung saksama. Ayeuna, seueur pabrik domestik nganggo beberesih sacara umum, anu merenah, tapi kusabab asam HF korosif kana bagian keramik, beberesih sacara umum bakal ngirangan umur jasa bagian anu saluyu.