PECVD графит қайығын қалай тазалауға болады？| VET Energy

1. Тазалау алдындағы растау

1) ҚашанPECVD графит қайығы/тасымалдағыш 100-ден 150-ден астам рет пайдаланылса, оператор жабынның жағдайын уақытында тексеруі керек. Егер жабын қалыптан тыс болса, оны тазалап, растау қажет. Графит қайығы/тасымалдағышындағы кремний пластинасының қалыпты жабын түсі көк болады. Егер пластина көк емес, бірнеше түсті болса немесе пластиналар арасындағы түс айырмашылығы үлкен болса, бұл қалыптан тыс жабын болып табылады және ауытқу себебін уақытында растау қажет.
2) Процесс аяқталғаннан кейін персонал жабынның жағдайын талдайдыPECVD графит қайығы/тасымалдаушы, олар графит қайығын тазалау қажет пе және карта нүктесін ауыстыру қажет пе екенін анықтайды, ал тазалануы қажет графит қайығы/тасымалдаушы тазалау үшін жабдық персоналына тапсырылады.

 

3) Кейінграфит қайығы/тасымалдаушы зақымдалған болса, өндіріс қызметкерлері графит қайықтағы барлық кремний пластиналарын алып тастап, ішіндегі сынықтарды сұрыптау үшін CDA (сығымдалған ауа) пайдаланады.графит қайығыАяқталғаннан кейін, жабдық қызметкерлері оны тазалау үшін белгілі бір пропорциядағы HF ерітіндісімен дайындалған қышқыл бакқа көтереді.

 

2. Графит қайығын тазалау

Үш рет тазалау үшін әрқайсысы 4-5 сағаттан 15-25% фторлы қышқыл ерітіндісін қолдану және сулау және тазалау процесінде мезгіл-мезгіл азотты көпіршітіп, шамамен жарты сағат тазалау қосу ұсынылады; ескертпе: көпіршітіп тазалау үшін газ көзі ретінде ауаны тікелей пайдалану ұсынылмайды. Тұздағаннан кейін шамамен 10 сағат бойы таза сумен шайыңыз және қайықтың мұқият тазаланғанын растаңыз. Тазалағаннан кейін қайықтың бетін, графит картасының ұшын және қайық парағының қосылысын және басқа бөлшектерін кремний нитридінің қалдықтары бар-жоғын тексеріңіз. Содан кейін талаптарға сәйкес кептіріңіз.

3. Тазалау шаралары

A) HF қышқылы өте коррозиялық зат болғандықтан және белгілі бір ұшқыштыққа ие болғандықтан, ол операторлар үшін қауіпті. Сондықтан тазалау бекетіндегі операторлар қауіпсіздік шараларын сақтауы және оларды арнайы маман басқаруы керек.

B) Қайықты бөлшектеп, тек тазалау кезінде графит бөлігін тазалау ұсынылады, осылайша әрбір жанасатын бөлікті мұқият тазалауға болады. Қазіргі уақытта көптеген отандық өндірушілер жалпы тазалауды қолданады, бұл ыңғайлы, бірақ HF қышқылы керамикалық бөлшектерді коррозияға ұшырататындықтан, жалпы тазалау сәйкес бөлшектердің қызмет ету мерзімін қысқартады.