Yuav ua li cas ntxuav lub nkoj graphite PECVD? | VET Energy

1. Kev lees paub ua ntej ntxuav

1) Thaum lubPECVD graphite nkoj/carrier siv ntau tshaj 100 txog 150 zaug, tus neeg teb xov tooj yuav tsum tau kuaj xyuas qhov xwm txheej ntawm txheej txheej raws sijhawm. Yog tias muaj qhov tsis zoo ntawm txheej txheej, nws yuav tsum tau ntxuav thiab paub meej. Cov xim txheej ib txwm ntawm silicon wafer hauv lub nkoj graphite / carrier yog xiav. Yog tias lub wafer muaj xim tsis yog xiav, ntau xim, lossis qhov sib txawv ntawm cov xim ntawm cov wafer loj, nws yog txheej txheej tsis zoo, thiab qhov ua rau muaj qhov tsis zoo yuav tsum tau lees paub raws sijhawm.
2) Tom qab cov neeg ua haujlwm txheej txheem tshuaj xyuas qhov xwm txheej ntawm cov txheej txheemPECVD graphite nkoj/tus neeg nqa khoom, lawv yuav txiav txim siab seb puas yuav tsum tau ntxuav lub nkoj graphite thiab seb puas yuav tsum tau hloov lub ntsiab lus ntawm daim npav, thiab lub nkoj graphite/tus neeg nqa khoom uas yuav tsum tau ntxuav yuav raug muab rau cov neeg ua haujlwm ntawm cov khoom siv rau kev ntxuav.

 

3) Tom qabnkoj graphite/ lub thawv thauj khoom puas lawm, cov neeg ua haujlwm tsim khoom yuav tshem tawm tag nrho cov silicon wafers hauv lub nkoj graphite thiab siv CDA (cua compressed) los txheeb cov khoom tawg hauvnkoj graphiteTom qab ua tiav, cov neeg ua haujlwm hauv cov khoom siv yuav nqa nws mus rau hauv lub tank kua qaub uas tau npaj nrog qee qhov feem pua ​​​​​​ntawm HF kua rau kev ntxuav.

 

2. Kev ntxuav ntawm lub nkoj graphite

Nws raug pom zoo kom siv cov tshuaj hydrofluoric acid 15-25% rau peb zaug ntxuav, txhua zaug rau 4-5 teev, thiab ua kom cov nitrogen npuas thaum lub sijhawm ntxuav thiab ntxuav, ntxiv li ib nrab teev ntawm kev ntxuav; ceeb toom: nws tsis raug pom zoo kom siv cua ncaj qha ua qhov chaw roj rau kev npuas. Tom qab pickling, yaug nrog dej ntshiab li 10 teev, thiab paub tseeb tias lub nkoj tau ntxuav kom huv si. Tom qab ntxuav, thov xyuas qhov chaw ntawm lub nkoj, qhov chaw graphite card thiab lub nkoj daim ntawv sib koom ua ke, thiab lwm qhov kom pom tias puas muaj silicon nitride residue. Tom qab ntawd qhuav raws li qhov yuav tsum tau ua.

3. Kev ceev faj txog kev ntxuav

A) Vim tias HF acid yog ib yam khoom uas muaj zog heev thiab muaj qee yam kev hloov pauv, nws muaj kev phom sij rau cov neeg ua haujlwm. Yog li ntawd, cov neeg ua haujlwm ntawm qhov chaw ntxuav yuav tsum ua raws li kev ceev faj thiab tswj hwm los ntawm ib tus neeg mob siab rau.

B) Nws raug pom zoo kom disassemble lub nkoj thiab tsuas yog ntxuav cov graphite thaum lub sijhawm ntxuav, yog li txhua qhov chaw sib cuag tuaj yeem ntxuav tau zoo dua. Tam sim no, ntau lub tuam txhab tsim khoom hauv tsev siv kev ntxuav tag nrho, uas yooj yim, tab sis vim HF acid yog corrosive rau cov khoom ceramic, kev ntxuav tag nrho yuav ua rau lub neej ua haujlwm luv dua ntawm cov khoom sib xws.