पीईसीवीडी ग्रेफाइट नाव को कैसे साफ करें? | वीईटी एनर्जी

1. सफाई से पहले स्वीकृति

1) जबPECVD ग्रेफाइट नावयदि कैरियर का उपयोग 100 से 150 बार से अधिक किया जाता है, तो ऑपरेटर को समय पर कोटिंग की स्थिति की जांच करनी चाहिए। यदि कोटिंग में कोई असामान्यता पाई जाती है, तो उसे साफ करके पुष्टि करना आवश्यक है। ग्रेफाइट बोट/कैरियर में सिलिकॉन वेफर की सामान्य कोटिंग का रंग नीला होता है। यदि वेफर पर नीला रंग नहीं है, कई रंग हैं, या वेफर्स के बीच रंग में काफी अंतर है, तो यह एक असामान्य कोटिंग है, और इस असामान्यता के कारण की समय पर पुष्टि करना आवश्यक है।
2) प्रक्रिया पूरी होने के बाद कर्मचारी कोटिंग की स्थिति का विश्लेषण करते हैं।PECVD ग्रेफाइट नाववे यह निर्धारित करेंगे कि ग्रेफाइट नाव को साफ करने की आवश्यकता है या नहीं और कार्ड पॉइंट को बदलने की आवश्यकता है या नहीं, और जिस ग्रेफाइट नाव/वाहक को साफ करने की आवश्यकता है उसे सफाई के लिए उपकरण कर्मियों को सौंप दिया जाएगा।

 

3) इसके बादग्रेफाइट नावयदि वाहक क्षतिग्रस्त हो जाता है, तो उत्पादन कर्मी ग्रेफाइट नाव में मौजूद सभी सिलिकॉन वेफर्स को बाहर निकाल लेंगे और सीडीए (संपीड़ित वायु) का उपयोग करके टुकड़ों को अलग करेंगे।ग्रेफाइट नावकाम पूरा होने के बाद, उपकरण कर्मी इसे सफाई के लिए तैयार किए गए एचएफ घोल के एक निश्चित अनुपात वाले एसिड टैंक में उठा लेंगे।

 

2. ग्रेफाइट नाव की सफाई

तीन बार सफाई के लिए 15-25% हाइड्रोफ्लोरिक एसिड के घोल का उपयोग करने की सलाह दी जाती है, प्रत्येक चरण 4-5 घंटे का होना चाहिए। सफाई के दौरान बीच-बीच में नाइट्रोजन गैस प्रवाहित करें, जिससे सफाई में लगभग आधा घंटा अतिरिक्त समय लगे। ध्यान दें: गैस प्रवाहित करने के लिए सीधे हवा का उपयोग करने की सलाह नहीं दी जाती है। घोल बनाने के बाद, लगभग 10 घंटे तक शुद्ध पानी से धोएं और सुनिश्चित करें कि नाव पूरी तरह से साफ हो गई है। सफाई के बाद, नाव की सतह, ग्रेफाइट कार्ड पॉइंट, नाव की शीट का जोड़ और अन्य भागों की जांच करें कि कहीं सिलिकॉन नाइट्राइड का कोई अवशेष तो नहीं है। फिर आवश्यकतानुसार सुखा लें।

3. सफाई संबंधी सावधानियां

ए) चूंकि एचएफ अम्ल एक अत्यंत संक्षारक पदार्थ है और इसमें वाष्पशीलता भी होती है, इसलिए यह संचालकों के लिए खतरनाक है। अतः, सफाई केंद्र पर कार्यरत संचालकों को सुरक्षा सावधानियां बरतनी चाहिए और उनका प्रबंधन किसी विशेष अधिकारी द्वारा किया जाना चाहिए।

B) सफाई के दौरान नाव को अलग-अलग हिस्सों में बांटकर केवल ग्रेफाइट वाले हिस्से को साफ करने की सलाह दी जाती है, ताकि प्रत्येक संपर्क भाग को अच्छी तरह से साफ किया जा सके। वर्तमान में, कई घरेलू निर्माता पूरी तरह से सफाई करते हैं, जो सुविधाजनक तो है, लेकिन चूंकि एचएफ एसिड सिरेमिक भागों के लिए संक्षारक होता है, इसलिए पूरी तरह से सफाई करने से संबंधित भागों का जीवनकाल कम हो जाएगा।