1. सफाई से पहले पावती
1) जबPECVD ग्रेफाइट नाव/ वाहक का उपयोग 100 से 150 बार से अधिक किया जाता है, ऑपरेटर को समय पर कोटिंग की स्थिति की जांच करने की आवश्यकता होती है। यदि कोई असामान्य कोटिंग है, तो उसे साफ करने और पुष्टि करने की आवश्यकता है। ग्रेफाइट बोट/वाहक में सिलिकॉन वेफर का सामान्य कोटिंग रंग नीला होता है। यदि वेफर में गैर-नीला, कई रंग हैं, या वेफर्स के बीच रंग का अंतर बड़ा है, तो यह एक असामान्य कोटिंग है, और असामान्यता के कारण की समय पर पुष्टि करने की आवश्यकता है।
2) प्रक्रिया कर्मियों द्वारा कोटिंग की स्थिति का विश्लेषण करने के बादPECVD ग्रेफाइट नाव/वाहक, वे यह निर्धारित करेंगे कि क्या ग्रेफाइट नाव को साफ करने की आवश्यकता है और क्या कार्ड प्वाइंट को बदलने की आवश्यकता है, और जिस ग्रेफाइट नाव / वाहक को साफ करने की आवश्यकता है उसे सफाई के लिए उपकरण कर्मियों को सौंप दिया जाएगा।
3) के बादग्रेफाइट नाव/वाहक क्षतिग्रस्त हो जाता है, तो उत्पादन कार्मिक ग्रेफाइट नाव में सभी सिलिकॉन वेफर्स को बाहर निकाल लेंगे और टुकड़ों को छांटने के लिए सीडीए (संपीड़ित हवा) का उपयोग करेंगे।ग्रेफाइट नावपूरा होने के बाद, उपकरण कर्मी इसे एसिड टैंक में उठाएंगे जो सफाई के लिए एचएफ समाधान के एक निश्चित अनुपात के साथ तैयार किया गया है।
2. ग्रेफाइट नाव की सफाई
तीन बार सफाई के लिए 15-25% हाइड्रोफ्लोरिक एसिड घोल का उपयोग करने की सिफारिश की जाती है, प्रत्येक 4-5 घंटे के लिए, और भिगोने और सफाई प्रक्रिया के दौरान समय-समय पर नाइट्रोजन को बुदबुदाते हुए, लगभग आधे घंटे की सफाई जोड़ते हुए; नोट: बुदबुदाने के लिए गैस स्रोत के रूप में सीधे हवा का उपयोग करने की अनुशंसा नहीं की जाती है। अचार बनाने के बाद, लगभग 10 घंटे तक शुद्ध पानी से धोएँ, और पुष्टि करें कि नाव को अच्छी तरह से साफ किया गया है। सफाई के बाद, कृपया नाव की सतह, ग्रेफाइट कार्ड पॉइंट और नाव शीट जोड़, और अन्य भागों की जाँच करें कि कहीं कोई सिलिकॉन नाइट्राइड अवशेष तो नहीं है। फिर आवश्यकताओं के अनुसार सुखाएँ।
3. सफाई संबंधी सावधानियां
ए) चूंकि एचएफ एसिड एक अत्यधिक संक्षारक पदार्थ है और इसमें एक निश्चित अस्थिरता है, इसलिए यह ऑपरेटरों के लिए खतरनाक है। इसलिए, सफाई पोस्ट पर ऑपरेटरों को सुरक्षा सावधानी बरतनी चाहिए और एक समर्पित व्यक्ति द्वारा प्रबंधित किया जाना चाहिए।
बी) नाव को अलग करने और सफाई के दौरान केवल ग्रेफाइट भाग को साफ करने की सिफारिश की जाती है, ताकि प्रत्येक संपर्क भाग को अधिक अच्छी तरह से साफ किया जा सके। वर्तमान में, कई घरेलू निर्माता समग्र सफाई का उपयोग करते हैं, जो सुविधाजनक है, लेकिन क्योंकि एचएफ एसिड सिरेमिक भागों के लिए संक्षारक है, समग्र सफाई संबंधित भागों के सेवा जीवन को छोटा कर देगी।
पोस्ट करने का समय: दिसम्बर-23-2024