1. පිරිසිදු කිරීමට පෙර පිළිගැනීම
1) විටPECVD මිනිරන් බෝට්ටුව/carrier 100 සිට 150 වතාවකට වඩා භාවිතා කර ඇති බැවින්, ක්රියාකරුට ආලේපන තත්ත්වය නියමිත වේලාවට පරීක්ෂා කිරීමට අවශ්ය වේ. අසාමාන්ය ආලේපනයක් තිබේ නම්, එය පිරිසිදු කර තහවුරු කළ යුතුය. ග්රැෆයිට් බෝට්ටුවේ/වාහකයේ සිලිකන් වේෆරයේ සාමාන්ය ආලේපන වර්ණය නිල් ය. වේෆරයේ නිල් නොවන, බහු වර්ණ තිබේ නම් හෝ වේෆර් අතර වර්ණ වෙනස විශාල නම්, එය අසාමාන්ය ආලේපනයක් වන අතර, අසාමාන්යතාවයට හේතුව කාලයත් සමඟ තහවුරු කළ යුතුය.
2) ක්රියාවලියෙන් පසු පිරිස් ආලේපන තත්ත්වය විශ්ලේෂණය කරයිPECVD මිනිරන් බෝට්ටුව/වාහකයා, ඔවුන් මිනිරන් බෝට්ටුව පිරිසිදු කළ යුතුද සහ කාඩ්පත් ලක්ෂ්යය ප්රතිස්ථාපනය කළ යුතුද යන්න තීරණය කරනු ඇති අතර, පිරිසිදු කළ යුතු මිනිරන් බෝට්ටුව/වාහකයා පිරිසිදු කිරීම සඳහා උපකරණ කාර්ය මණ්ඩලයට භාර දෙනු ලැබේ.
3) පසුමිනිරන් බෝට්ටුව/වාහකයාට හානි සිදුවී ඇත්නම්, නිෂ්පාදන කාර්ය මණ්ඩලය ග්රැෆයිට් බෝට්ටුවේ ඇති සියලුම සිලිකන් වේෆර් පිටතට ගෙන CDA (සම්පීඩිත වාතය) භාවිතා කර කොටස් වර්ග කරනු ඇත.මිනිරන් බෝට්ටුව. සම්පූර්ණ කිරීමෙන් පසු, උපකරණ කාර්ය මණ්ඩලය එය පිරිසිදු කිරීම සඳහා HF ද්රාවණයේ නිශ්චිත අනුපාතයකින් සකස් කර ඇති අම්ල ටැංකියට ඔසවනු ඇත.
2. මිනිරන් බෝට්ටුව පිරිසිදු කිරීම
පිරිසිදු කිරීමේ වට තුනක් සඳහා 15-25% හයිඩ්රොෆ්ලෝරික් අම්ල ද්රාවණයක් භාවිතා කිරීම රෙකමදාරු කරනු ලැබේ, එක් එක් පැය 4-5 බැගින්, පොඟවා පිරිසිදු කිරීමේ ක්රියාවලියේදී වරින් වර නයිට්රජන් බුබුලු දැමීම, පැය භාගයක් පමණ පිරිසිදු කිරීම එකතු කිරීම; සටහන: බුබුලු දැමීම සඳහා වායු ප්රභවය ලෙස වාතය සෘජුවම භාවිතා කිරීම නිර්දේශ නොකරයි. අච්චාරු දැමීමෙන් පසු, පැය 10 ක් පමණ පිරිසිදු ජලයෙන් සෝදා, බෝට්ටුව හොඳින් පිරිසිදු කර ඇති බව තහවුරු කරන්න. පිරිසිදු කිරීමෙන් පසු, කරුණාකර බෝට්ටුවේ මතුපිට, ග්රැෆයිට් කාඩ් ලක්ෂ්යය සහ බෝට්ටු තහඩු සන්ධිය සහ අනෙකුත් කොටස් පරීක්ෂා කර සිලිකන් නයිට්රයිඩ් අපද්රව්ය තිබේදැයි බලන්න. ඉන්පසු අවශ්යතා අනුව වියළන්න.
3. පිරිසිදු කිරීමේ පූර්වාරක්ෂාවන්
A) HF අම්ලය ඉතා විඛාදන ද්රව්යයක් වන අතර යම් අස්ථාවරත්වයක් ඇති බැවින්, එය ක්රියාකරුවන්ට අනතුරුදායක වේ. එබැවින්, පිරිසිදු කිරීමේ ස්ථානයේ ක්රියාකරුවන් ආරක්ෂිත පූර්වාරක්ෂාවන් ගත යුතු අතර කැපවූ පුද්ගලයෙකු විසින් කළමනාකරණය කළ යුතුය.
B) බෝට්ටුව විසුරුවා හැර පිරිසිදු කිරීමේදී මිනිරන් කොටස පමණක් පිරිසිදු කිරීම රෙකමදාරු කරනු ලැබේ, එවිට එක් එක් ස්පර්ශක කොටස වඩාත් හොඳින් පිරිසිදු කළ හැකිය. වර්තමානයේ, බොහෝ ගෘහස්ථ නිෂ්පාදකයින් සමස්ත පිරිසිදු කිරීම භාවිතා කරයි, එය පහසු ය, නමුත් HF අම්ලය සෙරමික් කොටස් වලට විඛාදනයට ලක්වන බැවින්, සමස්ත පිරිසිදු කිරීම අනුරූප කොටස්වල සේවා කාලය කෙටි කරයි.
පළ කිරීමේ කාලය: දෙසැම්බර්-23-2024