PECVD grafit gaýygy nädip arassalamaly？| VET Energy

1. Arassalamazdan öň tassyklama

1) HaçanPECVD grafit gaýygy/daşaýjy 100-150 gezekden köp ulanylanda, operator örtügiň ýagdaýyny wagtynda barlamalydyr. Eger adatdan daşary örtük bar bolsa, ony arassalap, tassyklamaly. Grafit gaýygynyň / daşaýjysynyň kremniý waflisiniň adaty örtük reňki gök reňkdedir. Eger wafli gök däl, köp reňkli bolsa ýa-da waflileriň arasyndaky reňk tapawudy uly bolsa, bu adatdan daşary örtükdir we anomaliýanyň sebäbini wagtynda tassyklamaly.
2) Iş prosesinden soň işgärler örtügiň ýagdaýyny seljerýärlerPECVD grafit gaýygy/daşaýjy, olar grafit gaýygynyň arassalanmagynyň zerurdygyny we kart nokadynyň çalşyrylmagynyň zerurdygyny anyklarlar we arassalanmaly grafit gaýygy / daşaýjy arassalamak üçin enjam işgärlerine tabşyrylar.

 

3) Soňragrafit gaýygy/daşaýjy zaýalanan bolsa, önümçilik işgärleri grafit gaýygynyň içindäki ähli kremniý waferlerini çykaryp, içindäki bölekleri arassalamak üçin CDA (basylan howa) ulanarlar.grafit gaýygyIş tamamlanandan soň, enjamyň işgärleri ony arassalamak üçin belli bir proporsiýada HF ergininden taýýarlanan kislota çelekine götererler.

 

2. Grafit gaýygynyň arassalanmagy

Üç tapgyr arassalamak üçin 15-25% ftor kislotasynyň erginini ulanmak, her biri 4-5 sagatlap, we çümdürmek we arassalamak prosesinde wagtal-wagtal azoty köpürjiklendirmek, takmynan ýarym sagat arassalamak maslahat berilýär; bellik: köpürjiklendirmek üçin howany gönüden-göni gaz çeşmesi hökmünde ulanmak maslahat berilmeýär. Duzlanandan soň, takmynan 10 sagatlap arassa suw bilen ýuwuň we gaýygyň doly arassalanandygyna göz ýetiriň. Arassalanandan soň, gaýygyň ýüzüni, grafit kartoçkasynyň ujuny we gaýyk listiniň birleşmesini, şeýle hem beýleki böleklerini kremniý nitridiniň galyndysynyň bardygyny ýa-da ýokdugyny barlaň. Soňra talaplara laýyklykda guradyň.

3. Arassalaýyş çäreleri

A) HF kislotasy ýokary derejede aşyndyryjy madda bolany we belli bir derejede uçujylyga eýe bolandygy sebäpli, operatorlar üçin howplydyr. Şonuň üçin arassalaýyş nokadyndaky operatorlar howpsuzlyk çärelerini görmeli we ýörite adam tarapyndan dolandyrylmalydyrlar.

B) Gaýygy söküp, diňe grafit bölegini arassalamak maslahat berilýär, şonuň üçin her bir kontakt bölegini has düýpli arassalap bolýar. Häzirki wagtda köp ýerli önüm öndürijiler umumy arassalamagy ulanýarlar, bu bolsa amatly, ýöne HF kislotasy keramiki böleklere poslaýanlygy sebäpli, umumy arassalamak degişli bölekleriň hyzmat möhletini gysgaldar.