1. Accusé de réception avant le nettoyage
1) Lorsque leBateau en graphite PECVDSi le support est utilisé plus de 100 à 150 fois, l'opérateur doit vérifier l'état du revêtement à temps. En cas d'anomalie, il doit être nettoyé et confirmé. La couleur normale du revêtement de la plaquette de silicium dans la nacelle/support en graphite est bleue. Si la plaquette présente une couleur différente du bleu, plusieurs couleurs ou une différence de couleur importante entre les plaquettes, il s'agit d'une anomalie dont la cause doit être confirmée à temps.
2) Après le processus, le personnel analyse l'état du revêtementBateau en graphite PECVD/transporteur, ils détermineront si le bateau en graphite doit être nettoyé et si la pointe de la carte doit être remplacée, et le bateau/transporteur en graphite qui doit être nettoyé sera remis au personnel de l'équipement pour le nettoyage.
3) Après lebateau en graphite/le support est endommagé, le personnel de production retirera toutes les plaquettes de silicium dans la nacelle en graphite et utilisera du CDA (air comprimé) pour trier les fragments dans lebateau en graphiteUne fois l'opération terminée, le personnel de l'équipement le soulèvera dans le réservoir d'acide qui a été préparé avec une certaine proportion de solution HF pour le nettoyage.
2. Nettoyage du bateau en graphite
Il est recommandé d'utiliser une solution d'acide fluorhydrique à 15-25 % pour trois cycles de nettoyage, chacun d'une durée de 4 à 5 heures, et de barboter régulièrement de l'azote pendant le trempage et le nettoyage, en ajoutant environ une demi-heure de nettoyage. Remarque : il est déconseillé d'utiliser directement de l'air comme source de gaz pour le barbotage. Après le décapage, rincer à l'eau pure pendant environ 10 heures et vérifier que le bateau a été soigneusement nettoyé. Après le nettoyage, vérifier la surface du bateau, la pointe de la carte graphite, le joint de la tôle et les autres pièces pour détecter d'éventuels résidus de nitrure de silicium. Sécher ensuite selon les instructions.
3. Précautions de nettoyage
A) L'acide HF étant une substance hautement corrosive et présentant une certaine volatilité, il est dangereux pour les opérateurs. Par conséquent, les opérateurs au poste de nettoyage doivent prendre des précautions de sécurité et être encadrés par une personne dédiée.
B) Il est recommandé de démonter le bateau et de ne nettoyer que la partie en graphite lors du nettoyage, afin de nettoyer plus en profondeur chaque pièce en contact. Actuellement, de nombreux fabricants nationaux utilisent un nettoyage complet, ce qui est pratique, mais l'acide HF étant corrosif pour les pièces en céramique, un nettoyage complet réduira la durée de vie des pièces correspondantes.
Date de publication : 23 décembre 2024