Как да почистим PECVD графитна лодка?| VET Energy

1. Потвърждение преди почистване

1) КогатоГрафитна лодка PECVDАко силициевият слой/носителят се използва повече от 100 до 150 пъти, операторът трябва да провери състоянието на покритието навреме. Ако има необичайно покритие, то трябва да се почисти и потвърди. Нормалният цвят на покритието на силициевата пластина в графитната лодка/носител е син. Ако пластината е различна от синя, има множество цветове или разликата в цвета между пластините е голяма, това е необичайно покритие и причината за аномалията трябва да се потвърди навреме.
2) След като персоналът на процеса анализира състоянието на покритието наГрафитна лодка PECVD/носач, те ще определят дали графитната лодка се нуждае от почистване и дали е необходимо да се смени точката на картата, а графитната лодка/носач, която се нуждае от почистване, ще бъде предадена на екипировъчния персонал за почистване.

 

3) Следграфитна лодка/носителят е повреден, производственият персонал ще извади всички силициеви пластини от графитната лодка и ще използва CDA (сгъстен въздух), за да сортира фрагментите вграфитна лодкаСлед завършване, персоналът на оборудването ще го повдигне в резервоара с киселина, който е подготвен с определено количество HF разтвор за почистване.

 

2. Почистване на графитна лодка

Препоръчително е да се използва 15-25% разтвор на флуороводородна киселина за три цикъла на почистване, всеки по 4-5 часа, и периодично да се продухва азот по време на процеса на накисване и почистване, като се добавя около половин час почистване; Забележка: Не се препоръчва директното използване на въздух като източник на газ за продухване. След ецване, изплакнете с чиста вода за около 10 часа и се уверете, че лодката е добре почистена. След почистване, моля, проверете повърхността на лодката, върха на графитния картон и съединението на шкота на лодката, както и други части, за да видите дали има остатъци от силициев нитрид. След това подсушете според изискванията.

3. Предпазни мерки при почистване

A) Тъй като HF киселината е силно корозивно вещество и има известна летливост, тя е опасна за операторите. Следователно, операторите на почистващия пункт трябва да вземат предпазни мерки и да бъдат ръководени от специално назначено лице.

Б) Препоръчително е лодката да се разглоби и да се почисти само графитната част по време на почистването, така че всяка контактна част да може да се почисти по-щателно. В момента много местни производители използват цялостно почистване, което е удобно, но тъй като HF киселината е корозивна за керамичните части, цялостното почистване ще съкрати експлоатационния живот на съответните части.