1. ការទទួលស្គាល់មុនពេលសម្អាត
១) នៅពេលដែលទូកក្រាហ្វីត PECVD/ឧបករណ៍ផ្ទុកត្រូវបានប្រើច្រើនជាង 100 ទៅ 150 ដង ប្រតិបត្តិករត្រូវពិនិត្យមើលស្ថានភាពថ្នាំកូតទាន់ពេលវេលា។ ប្រសិនបើមានថ្នាំកូតមិនប្រក្រតី វាត្រូវការសម្អាត និងបញ្ជាក់។ ពណ៌ថ្នាំកូតធម្មតានៃបន្ទះស៊ីលីកុននៅក្នុងទូក/ឧបករណ៍ផ្ទុកក្រាហ្វីតគឺពណ៌ខៀវ។ ប្រសិនបើបន្ទះស៊ីលីកុនមានពណ៌មិនមែនពណ៌ខៀវ ពណ៌ច្រើន ឬភាពខុសគ្នានៃពណ៌រវាងបន្ទះស៊ីលីកុនមានទំហំធំ វាគឺជាថ្នាំកូតមិនប្រក្រតី ហើយមូលហេតុនៃភាពមិនប្រក្រតីត្រូវតែបញ្ជាក់ទាន់ពេលវេលា។
2) បន្ទាប់ពីដំណើរការរួច បុគ្គលិកវិភាគស្ថានភាពថ្នាំកូតនៃទូកក្រាហ្វីត PECVD/carrier ពួកគេនឹងកំណត់ថាតើទូកក្រាហ្វីតត្រូវការសម្អាតឬអត់ និងថាតើចំណុចកាតត្រូវការជំនួសឬអត់ ហើយទូក/carrier ក្រាហ្វីតដែលត្រូវការសម្អាតនឹងត្រូវប្រគល់ទៅឱ្យបុគ្គលិកឧបករណ៍សម្រាប់សម្អាត។
៣) បន្ទាប់ពីទូកក្រាហ្វីត/ប្រសិនបើឧបករណ៍ផ្ទុកត្រូវបានខូចខាត បុគ្គលិកផលិតកម្មនឹងយកបន្ទះស៊ីលីកុនទាំងអស់នៅក្នុងទូកក្រាហ្វីតចេញ ហើយប្រើ CDA (ខ្យល់ដែលបានបង្ហាប់) ដើម្បីតម្រៀបបំណែកនៅក្នុងទូកក្រាហ្វីតបន្ទាប់ពីបញ្ចប់ បុគ្គលិកឧបករណ៍នឹងលើកវាចូលទៅក្នុងធុងអាស៊ីតដែលត្រូវបានរៀបចំជាមួយនឹងសមាមាត្រជាក់លាក់នៃដំណោះស្រាយ HF សម្រាប់សម្អាត។
2. ការសម្អាតទូកក្រាហ្វីត
វាត្រូវបានណែនាំឱ្យប្រើដំណោះស្រាយអាស៊ីតអ៊ីដ្រូហ្វ្លុយអូរីក 15-25% សម្រាប់ការសម្អាតបីជុំ ដែលមួយជុំៗមានរយៈពេល 4-5 ម៉ោង ហើយបន្ថែមអាសូតដែលបង្កើតពពុះជាប្រចាំក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការត្រាំ និងសម្អាត ដោយបន្ថែមការសម្អាតប្រហែលកន្លះម៉ោង។ ចំណាំ៖ មិនណែនាំឱ្យប្រើខ្យល់ដោយផ្ទាល់ជាប្រភពឧស្ម័នសម្រាប់បង្កើតពពុះនោះទេ។ បន្ទាប់ពីត្រាំរួច សូមលាងសម្អាតជាមួយទឹកសុទ្ធប្រហែល 10 ម៉ោង ហើយបញ្ជាក់ថាទូកត្រូវបានសម្អាតយ៉ាងហ្មត់ចត់។ បន្ទាប់ពីសម្អាតរួច សូមពិនិត្យមើលផ្ទៃទូក ចំណុចកាតក្រាហ្វីត និងចំណុចភ្ជាប់សន្លឹកទូក និងផ្នែកផ្សេងទៀត ដើម្បីមើលថាតើមានសំណល់ស៊ីលីកុននីទ្រីតដែរឬទេ។ បន្ទាប់មកសម្ងួតតាមតម្រូវការ។
៣. វិធានការសម្អាត
ក) ដោយសារអាស៊ីត HF ជាសារធាតុกัดกร่อนខ្ពស់ និងមានភាពប្រែប្រួលជាក់លាក់មួយ វាមានគ្រោះថ្នាក់ដល់ប្រតិបត្តិករ។ ដូច្នេះ ប្រតិបត្តិករនៅប៉ុស្តិ៍សម្អាតត្រូវតែចាត់វិធានការសុវត្ថិភាព និងត្រូវបានគ្រប់គ្រងដោយបុគ្គលដែលមានការប្តេជ្ញាចិត្ត។
ខ) វាត្រូវបានណែនាំឱ្យរុះរើទូក ហើយសម្អាតតែផ្នែកក្រាហ្វីតក្នុងពេលសម្អាត ដើម្បីឱ្យផ្នែកទំនាក់ទំនងនីមួយៗអាចត្រូវបានសម្អាតឱ្យបានហ្មត់ចត់ជាងមុន។ បច្ចុប្បន្ននេះ ក្រុមហ៊ុនផលិតក្នុងស្រុកជាច្រើនប្រើការសម្អាតទូទៅ ដែលងាយស្រួល ប៉ុន្តែដោយសារតែអាស៊ីត HF กัดกร่อนផ្នែកសេរ៉ាមិច ការសម្អាតទូទៅនឹងធ្វើឱ្យអាយុកាលសេវាកម្មនៃផ្នែកដែលត្រូវគ្នាខ្លី។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៣ ខែធ្នូ ឆ្នាំ ២០២៤