Com netejar un vaixell de grafit PECVD? | VET Energy

1. Reconeixement abans de la neteja

1) Quan el/laVaixell de grafit PECVDSi el suport/carrier s'utilitza més de 100 a 150 vegades, l'operador ha de comprovar l'estat del recobriment a temps. Si hi ha un recobriment anormal, cal netejar-lo i confirmar-lo. El color normal del recobriment de l'oblia de silici del suport/carrier de grafit és blau. Si l'oblia té diversos colors o no blaus, o la diferència de color entre les oblies és gran, es tracta d'un recobriment anormal i cal confirmar la causa de l'anomalia a temps.
2) Després del procés, el personal analitza l'estat del recobrimentVaixell de grafit PECVD/transportista, determinaran si cal netejar el vaixell de grafit i si cal substituir la punta de la targeta, i el vaixell/transportista de grafit que cal netejar es lliurarà al personal d'equipament per a la seva neteja.

 

3) Després devaixell de grafit/el portador està malmès, el personal de producció traurà totes les oblies de silici del vaixell de grafit i utilitzarà CDA (aire comprimit) per separar els fragments delvaixell de grafitUn cop finalitzat, el personal de l'equipament l'aixecarà i el posarà al tanc d'àcid que s'ha preparat amb una certa proporció de solució d'HF per a la seva neteja.

 

2. Neteja de vaixells de grafit

Es recomana utilitzar una solució d'àcid fluorhídric al 15-25% durant tres rondes de neteja, cadascuna de 4-5 hores, i bombollejar nitrogen periòdicament durant el procés de remull i neteja, afegint aproximadament mitja hora de neteja; nota: no es recomana utilitzar aire directament com a font de gas per a la bombolleria. Després del decapatge, esbandiu amb aigua pura durant unes 10 hores i confirmeu que el vaixell s'ha netejat a fons. Després de la neteja, comproveu la superfície del vaixell, la punta de la targeta de grafit i la junta de la xapa del vaixell, i altres parts per veure si hi ha residus de nitrur de silici. A continuació, assequeu-lo segons els requisits.

3. Precaucions de neteja

A) Com que l'àcid HF és una substància altament corrosiva i té una certa volatilitat, és perillós per als operadors. Per tant, els operadors del lloc de neteja han de prendre precaucions de seguretat i ser supervisats per una persona dedicada.

B) Es recomana desmuntar el vaixell i netejar només la peça de grafit durant la neteja, de manera que cada peça de contacte es pugui netejar més a fons. Actualment, molts fabricants nacionals utilitzen una neteja general, cosa que és convenient, però com que l'àcid HF és corrosiu per a les peces ceràmiques, la neteja general escurçarà la vida útil de les peces corresponents.