PECVD графит көймәсен ничек чистартырга？| VET Energy

1. Чистарту алдыннан раслау

1) КайчанPECVD графит көймәсе/ташучы 100-150 тапкырдан артык кулланылса, оператор каплау торышын вакытында тикшерергә тиеш. Гадәти булмаган каплау булса, аны чистартырга һәм расларга кирәк. Графит көймәсендәге/ташучыдагы кремний пластинасының гадәти каплау төсе зәңгәр. Әгәр пластина зәңгәр түгел, күп төсле булса яки пластиналар арасындагы төс аермасы зур булса, бу аномаль каплау, һәм аномальлекнең сәбәбен вакытында расларга кирәк.
2) Процесс тәмамланганнан соң, персонал каплауның торышын анализлыйPECVD графит көймәсе/йөк ташучы, алар графит көймәсен чистартырга кирәкме-юкмы һәм карта ноктасын алыштырырга кирәкме-юкмы икәнен билгеләячәкләр, һәм чистартырга кирәк булган графит көймәсе/йөк ташучы җиһазлар персоналына чистарту өчен тапшырылачак.

 

3) Шуннан соңграфит көймәсе/ташучы зыян күргән очракта, җитештерү персоналы графит көймәсендәге барлык кремний пластиналарын алып чыгачак һәм CDA (кысылган һава) ярдәмендә кисәкләрне аерачак.графит көймәсеЭш тәмамланганнан соң, җиһаз персоналы аны чистарту өчен билгеле бер күләмдә HF эремәсе белән әзерләнгән кислота багына күтәрәчәк.

 

2. Графит көймәсен чистарту

Өч тапкыр чистарту өчен 15-25% фторлы кислота эремәсен кулланырга киңәш ителә, һәрберсе 4-5 сәгать дәвамында, һәм чылату һәм чистарту процессында вакыт-вакыт азот күбекләндереп, якынча ярты сәгать чистарту өстәп торырга; искәрмә: күбекләндерү өчен газ чыганагы буларак турыдан-туры һава куллану киңәш ителми. Тозлаганнан соң, якынча 10 сәгать чиста су белән чайкатыгыз һәм көймәнең тулысынча чистартылганлыгын раслагыз. Чистартканнан соң, зинһар, көймәнең өслеген, графит картасы очын һәм көймә бите тоташуын, һәм башка өлешләрне кремний нитриды калдыклары бармы-юкмы икәнен тикшерегез. Аннары таләпләргә туры китереп киптерегез.

3. Чистарту буенча саклык чаралары

A) HF кислотасы югары коррозияле матдә булганлыктан һәм билгеле бер дәрәҗәдә тотрыксыз булганлыктан, ул операторлар өчен куркыныч. Шуңа күрә чистарту пунктындагы операторлар куркынычсызлык чараларын күрергә һәм махсус кеше тарафыннан идарә ителергә тиеш.

B) Көймәне сүтеп, графит өлешен чистарту вакытында гына чистартырга киңәш ителә, шулай итеп һәр контакт өлешен җентекләбрәк чистартып була. Хәзерге вакытта күп кенә җирле җитештерүчеләр гомуми чистарту кулланалар, бу уңайлы, ләкин HF кислотасы керамик детальләргә коррозия тудырганлыктан, гомуми чистарту тиешле детальләрнең хезмәт итү вакытын кыскартачак.