Како да се исчисти графитен чамец од PECVD? | VET Energy

1. Потврда пред чистење

1) КогаPECVD графитен чамецДоколку плочката/носачот се користи повеќе од 100 до 150 пати, операторот треба навреме да ја провери состојбата на облогата. Доколку има абнормален слој, тој треба да се исчисти и потврди. Нормалната боја на облогата на силиконската плочка во графитниот чамец/носачот е сина. Доколку плочката има несина боја, повеќе бои или разликата во бојата помеѓу плочките е голема, тоа е абнормален слој и причината за абнормалноста треба навреме да се потврди.
2) Откако персоналот на процесот ќе ја анализира состојбата на облогатаPECVD графитен чамец/носач, тие ќе утврдат дали графитниот чамец треба да се исчисти и дали треба да се замени точката за карти, а графитниот чамец/носач што треба да се исчисти ќе биде предаден на персоналот за опрема за чистење.

 

3) Послеграфитен брод/носачот е оштетен, производствениот персонал ќе ги отстрани сите силиконски плочки во графитниот чамец и ќе користи CDA (компресиран воздух) за да ги сортира фрагментите вографитен бродПо завршувањето, персоналот на опремата ќе ја подигне во резервоарот за киселина што е подготвен со одреден дел од растворот HF за чистење.

 

2. Чистење на графитен брод

Препорачливо е да се користи раствор од 15-25% флуороводородна киселина за три рунди чистење, секој по 4-5 часа, и периодично да се клокоти азот за време на процесот на натопување и чистење, додавајќи околу половина час чистење; забелешка: не се препорачува директно користење на воздух како извор на гас за клокотење. По маринирањето, исплакнете со чиста вода околу 10 часа и потврдете дека чамецот е темелно исчистен. По чистењето, проверете ја површината на чамецот, точката на графитната картонска плоча и спојката на лимот на чамецот и другите делови за да видите дали има остатоци од силициум нитрид. Потоа исушете според барањата.

3. Мерки на претпазливост за чистење

A) Бидејќи HF киселината е многу корозивна супстанца и има одредена испарливост, таа е опасна за операторите. Затоа, операторите на местото за чистење мора да преземат безбедносни мерки на претпазливост и да бидат управувани од страна на посветено лице.

Б) Се препорачува расклопување на чамецот и чистење само на графитниот дел за време на чистењето, така што секој контактен дел може да се исчисти потемелно. Во моментов, многу домашни производители користат целосно чистење, што е погодно, но бидејќи HF киселината е корозивна за керамичките делови, целосното чистење ќе го скрати животниот век на соодветните делови.