1. သန့်ရှင်းရေးမလုပ်မီ အသိအမှတ်ပြုခြင်း
၁) ဘယ်အချိန်မှာPECVD ဂရပ်ဖိုက်လှေ/carrier ကို ၁၀၀ မှ ၁၅၀ ကြိမ်ထက်ပိုအသုံးပြုပါက၊ အော်ပရေတာသည် အပေါ်ယံလွှာအခြေအနေကို အချိန်မီစစ်ဆေးရန် လိုအပ်ပါသည်။ ပုံမှန်မဟုတ်သော အပေါ်ယံလွှာတစ်ခုရှိပါက ၎င်းကို သန့်ရှင်းရေးလုပ်ပြီး အတည်ပြုရန် လိုအပ်ပါသည်။ ဂရပ်ဖိုက်လှေ/carrier ရှိ ဆီလီကွန်ဝေဖာ၏ ပုံမှန်အပေါ်ယံလွှာအရောင်သည် အပြာရောင်ဖြစ်သည်။ ဝေဖာတွင် အပြာရောင်မဟုတ်သော၊ အရောင်များစွာပါရှိပါက သို့မဟုတ် ဝေဖာများအကြား အရောင်ကွာခြားမှုများပြားပါက ၎င်းသည် ပုံမှန်မဟုတ်သော အပေါ်ယံလွှာတစ်ခုဖြစ်ပြီး ပုံမှန်မဟုတ်သောအကြောင်းရင်းကို အချိန်မီအတည်ပြုရန် လိုအပ်ပါသည်။
၂) လုပ်ငန်းစဉ်ပြီးနောက် ဝန်ထမ်းများသည် ඇති၏ အပေါ်ယံလွှာအခြေအနေကို ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာကြသည်PECVD ဂရပ်ဖိုက်လှေ/carrier မှာ ဂရပ်ဖိုက်လှေကို သန့်ရှင်းရေးလုပ်ရန် လိုအပ်ခြင်း ရှိ၊ မရှိနှင့် ကတ်အမှတ်ကို အစားထိုးရန် လိုအပ်ခြင်း ရှိ၊ မရှိကို ၎င်းတို့က ဆုံးဖြတ်မည်ဖြစ်ပြီး သန့်ရှင်းရေးလုပ်ရန် လိုအပ်သော ဂရပ်ဖိုက်လှေ/carrier ကို သန့်ရှင်းရေးလုပ်ရန်အတွက် စက်ပစ္စည်းဝန်ထမ်းများထံ လွှဲပြောင်းပေးမည်ဖြစ်သည်။
၃) ပြီးနောက်ဂရပ်ဖိုက်လှေ/carrier ပျက်စီးသွားပါက၊ ထုတ်လုပ်မှုဝန်ထမ်းများသည် ဂရပ်ဖိုက်လှေရှိ ဆီလီကွန်ဝေဖာအားလုံးကို ထုတ်ယူပြီး CDA (ဖိသိပ်လေ) ကို အသုံးပြု၍ အပိုင်းအစများကို စီစစ်ပါမည်။ဂရပ်ဖိုက်လှေပြီးစီးသွားပါက စက်ပစ္စည်းဝန်ထမ်းများသည် ၎င်းကို HF ပျော်ရည် အချိုးအစားတစ်ခုဖြင့် သန့်ရှင်းရေးလုပ်ရန် ပြင်ဆင်ထားသော အက်ဆစ်တိုင်ကီထဲသို့ မြှောက်တင်မည်ဖြစ်သည်။
2. ဂရပ်ဖိုက်လှေသန့်ရှင်းရေး
၁၅-၂၅% ဟိုက်ဒရိုဖလိုရစ်အက်ဆစ် ပျော်ရည်ကို သန့်ရှင်းရေးသုံးကြိမ်အတွက်၊ တစ်ကြိမ်လျှင် ၄-၅ နာရီကြာအောင် အသုံးပြုရန် အကြံပြုထားပြီး၊ စိမ်ခြင်းနှင့် သန့်ရှင်းရေးလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း နိုက်ထရိုဂျင်ကို ပုံမှန်ပွက်ပွက်ဆူအောင်ထည့်ရန်၊ သန့်ရှင်းရေး နာရီဝက်ခန့် ထပ်ထည့်ရန် အကြံပြုထားသည်။ မှတ်ချက်- ပွက်ပွက်ဆူစေရန်အတွက် လေကို ဓာတ်ငွေ့အရင်းအမြစ်အဖြစ် တိုက်ရိုက်အသုံးမပြုရန် အကြံပြုထားသည်။ အချဉ်ဖောက်ပြီးနောက်၊ သန့်ရှင်းသောရေဖြင့် ၁၀ နာရီခန့် ဆေးကြောပြီး လှေကို သေချာစွာ သန့်ရှင်းရေးလုပ်ထားကြောင်း အတည်ပြုပါ။ သန့်ရှင်းရေးလုပ်ပြီးနောက်၊ ဆီလီကွန်နိုက်ထရိုက် အကြွင်းအကျန်ရှိမရှိ လှေမျက်နှာပြင်၊ ဂရပ်ဖိုက်ကတ်အစက်နှင့် လှေစာရွက်အဆစ်နှင့် အခြားအစိတ်အပိုင်းများကို စစ်ဆေးပါ။ ထို့နောက် လိုအပ်ချက်များအတိုင်း အခြောက်ခံပါ။
၃။ သန့်ရှင်းရေး ကြိုတင်ကာကွယ်မှုများ
(က) HF အက်ဆစ်သည် အလွန်ချေးတက်လွယ်သော ပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်ပြီး အတက်အကျ အနည်းငယ်ရှိသောကြောင့် အော်ပရေတာများအတွက် အန္တရာယ်ရှိသည်။ ထို့ကြောင့် သန့်ရှင်းရေးဌာနရှိ အော်ပရေတာများသည် ဘေးကင်းရေးကြိုတင်ကာကွယ်မှုများ ပြုလုပ်ရမည်ဖြစ်ပြီး သီးသန့်ပုဂ္ဂိုလ်တစ်ဦးမှ စီမံခန့်ခွဲရမည်။
(ခ) လှေကို ဖြုတ်ပြီး သန့်ရှင်းရေးလုပ်နေစဉ် ဂရပ်ဖိုက်အစိတ်အပိုင်းကိုသာ သန့်ရှင်းရေးလုပ်ရန် အကြံပြုထားသည်၊ သို့မှသာ ထိတွေ့မှုအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုစီကို ပိုမိုသေချာစွာ သန့်ရှင်းရေးလုပ်နိုင်မည်ဖြစ်သည်။ လက်ရှိတွင် ပြည်တွင်းထုတ်လုပ်သူများစွာသည် အလုံးစုံသန့်ရှင်းရေးကို အသုံးပြုကြပြီး ၎င်းသည် အဆင်ပြေသော်လည်း HF အက်ဆစ်သည် ကြွေအစိတ်အပိုင်းများကို ချေးတက်စေနိုင်သောကြောင့် အလုံးစုံသန့်ရှင်းရေးသည် သက်ဆိုင်ရာအစိတ်အပိုင်းများ၏ ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို တိုစေပါသည်။
ပို့စ်တင်ချိန်: ၂၀၂၄ ခုနှစ်၊ ဒီဇင်ဘာလ ၂၃ ရက်