PECVDグラファイトボートの洗浄方法 | VET Energy

1. 清掃前の確認

1)PECVDグラファイトボートグラファイトボート/キャリアの使用回数が100～150回を超える場合、作業者はコーティングの状態を適時に確認する必要があります。コーティングに異常がある場合は、清掃と確認が必要です。グラファイトボート/キャリア内のシリコンウェーハのコーティング色は正常で青色です。ウェーハに青色以外の色、複数の色、またはウェーハ間の色差が大きい場合は、コーティングに異常があるため、異常の原因を速やかに確認する必要があります。
2) 工程担当者がコーティングの状態を分析した後、PECVDグラファイトボート/キャリアでは、グラファイトボートの清掃が必要かどうか、カードポイントの交換が必要かどうかが判断され、清掃が必要なグラファイトボート/キャリアは清掃のために機器担当者に引き渡されます。

 

3) その後グラファイトボート/キャリアが損傷した場合、生産担当者はグラファイトボート内のすべてのシリコンウェハを取り出し、CDA（圧縮空気）を使用して破片を選別します。グラファイトボート完了後、機器担当者はそれを、洗浄用に一定の割合のHF溶液が用意された酸タンクに持ち上げます。

 

2. グラファイトボートの洗浄

15～25％のフッ化水素酸溶液で4～5時間ずつ3回洗浄することをお勧めします。浸漬洗浄の過程では、定期的に窒素をバブリングし、約30分の洗浄時間を追加してください。注意：バブリングのガス源として直接空気を使用することはお勧めしません。酸洗後、純水で約10時間洗浄し、ボートが完全に洗浄されていることを確認してください。洗浄後、ボートの表面、グラファイトカードの先端、ボートシートの接合部、その他の部品にシリコン窒化物の残留物がないことを確認してください。その後、必要に応じて乾燥させてください。

3. 清掃時の注意事項

A) フッ酸は腐食性が強く、ある程度の揮発性があるため、作業者にとって危険です。そのため、洗浄作業場の作業者は安全対策を講じ、専任の担当者による管理が必要です。

B) 洗浄の際は、ボートを分解し、グラファイト部分のみを洗浄することをお勧めします。これにより、各接触部品をより徹底的に洗浄できます。現在、多くの国内メーカーは全体洗浄を採用しており、これは便利ですが、HF酸はセラミック部品を腐食するため、全体洗浄は該当部品の耐用年数を短くします。