PECVDグラファイトボートの洗浄方法｜VET Energy

1. 清掃前の確認

1)PECVDグラファイトボートグラファイトボート/キャリアを100回から150回以上使用する場合は、オペレーターはコーティングの状態を適時に確認する必要があります。異常なコーティングがある場合は、洗浄して確認する必要があります。グラファイトボート/キャリア内のシリコンウェーハの通常のコーティング色は青色です。ウェーハが青色以外、複数の色、またはウェーハ間の色差が大きい場合は、異常なコーティングであり、異常の原因を適時に確認する必要があります。
2) 工程担当者がコーティングの状態を分析すると、PECVDグラファイトボートグラファイトボート/キャリアの場合、グラファイトボートの洗浄が必要かどうか、カードポイントの交換が必要かどうかを判断し、洗浄が必要なグラファイトボート/キャリアは洗浄のために機器担当者に引き渡されます。

 

3) その後グラファイトボートキャリアが損傷した場合、製造担当者はグラファイトボート内のすべてのシリコンウェハーを取り出し、CDA（圧縮空気）を使用して破片を選別します。グラファイトボート作業完了後、担当者は洗浄用に一定割合のHF溶液が用意された酸タンクにそれを運び込みます。

 

2. グラファイトボートの洗浄

15～25%のフッ化水素酸溶液を用いて、4～5時間ずつ3回洗浄することをお勧めします。浸漬および洗浄中は、定期的に窒素ガスを吹き込み、洗浄時間を約30分延長してください。注：ガス源として空気を直接使用することはお勧めしません。酸洗後、純水で約10時間すすぎ、ボートが完全に洗浄されたことを確認してください。洗浄後、ボートの表面、グラファイトカードの先端、ボートシートの接合部、その他の部分に窒化ケイ素の残留物がないか確認してください。その後、規定に従って乾燥させてください。

3．清掃上の注意

A) HF酸は腐食性が非常に高く、揮発性もあるため、作業員にとって危険です。したがって、清掃作業を行う作業員は安全対策を講じ、専任の担当者による管理を受ける必要があります。

B) ボートを分解し、洗浄時にはグラファイト部分のみを洗浄することをお勧めします。そうすることで、各接触部分をより徹底的に洗浄できます。現在、多くの国内メーカーは全体洗浄を採用しており、これは便利ですが、HF酸はセラミック部品を腐食させるため、全体洗浄は該当部品の耐用年数を短縮することになります。