1. Garbiketa aurretiko aitorpena
1) NoizPECVD grafitozko ontzia/eramailea 100-150 aldiz baino gehiagotan erabiltzen bada, operadoreak estalduraren egoera garaiz egiaztatu behar du. Estaldura anormal bat badago, garbitu eta berretsi egin behar da. Grafitozko ontzian/eramailean dagoen siliziozko oblearen estaldura-kolore normala urdina da. Obleak urdina ez bada, kolore anitz baditu edo obleen arteko kolore-aldea handia bada, estaldura anormala da, eta anomaliaren kausa garaiz berretsi behar da.
2) Prozesuko langileek estalduraren egoera aztertu ondorenPECVD grafitozko ontzia/garraiatzailea, grafitozko ontzia garbitu behar den eta txartelaren punta ordezkatu behar den zehaztuko dute, eta garbitu behar den grafitozko ontzia/garraiatzailea ekipamenduko langileei emango zaie garbitzeko.
3) Ondorengrafitozko itsasontzia/garraiatzailea hondatuta badago, ekoizpen-langileek grafito-ontziko siliziozko oblea guztiak aterako dituzte eta CDA (aire konprimatua) erabiliko dute barruko zatiak bereizteko.grafitozko itsasontziaAmaitutakoan, ekipamenduko langileek HF soluzio proportzio jakin batekin garbitzeko prestatutako azido-tangaren barrura igoko dute.
2. Grafitozko itsasontziaren garbiketa
% 15-25eko azido fluorhidriko disoluzioa erabiltzea gomendatzen da hiru garbiketa-txandatan, bakoitza 4-5 orduz, eta aldian-aldian nitrogenoa burbuilatzea bustitze- eta garbiketa-prozesuan, ordu erdi inguru garbiketa gehituz; oharra: ez da gomendagarria airea zuzenean erabiltzea burbuilatzeko gas-iturri gisa. Dekapatu ondoren, garbitu ur garbiarekin 10 orduz, eta baieztatu ontzia ondo garbitu dela. Garbitu ondoren, egiaztatu ontziaren gainazala, grafito-txartelaren punta eta ontziaren xaflaren junturak, eta beste piezak silizio nitruro hondakinik dagoen ikusteko. Ondoren, lehortu eskakizunen arabera.
3. Garbiketa neurriak
A) HF azidoa substantzia oso korrosiboa denez eta nolabaiteko lurrunkortasuna duenez, arriskutsua da operadoreentzat. Beraz, garbiketa-postuko operadoreek segurtasun-neurriak hartu behar dituzte eta pertsona espezializatu batek kudeatu behar ditu.
B) Gomendagarria da itsasontzia desmuntatzea eta garbiketa bitartean grafitozko pieza bakarrik garbitzea, kontaktu-pieza bakoitza sakonago garbitu ahal izateko. Gaur egun, etxeko fabrikatzaile askok garbiketa orokorra erabiltzen dute, eta hori komenigarria da, baina HF azidoa zeramikazko piezen korrosiboa denez, garbiketa orokorrak dagokien piezen bizitza laburtuko du.
Argitaratze data: 2024ko abenduaren 23a