Cara membersihkan perahu grafit PECVD？| VET Energy

1. Pengakuan sebelum membersihkan

1) KetikaPerahu grafit PECVD/carrier digunakan lebih dari 100 hingga 150 kali, operator perlu memeriksa kondisi pelapisan tepat waktu. Jika terdapat pelapisan yang tidak normal, pelapisan tersebut perlu dibersihkan dan dikonfirmasi. Warna pelapisan normal wafer silikon pada perahu/carrier grafit adalah biru. Jika wafer memiliki warna selain biru, beberapa warna, atau perbedaan warna antara wafer besar, maka itu merupakan pelapisan yang tidak normal, dan penyebab ketidaknormalan tersebut perlu dikonfirmasi tepat waktu.
2) Setelah proses selesai personil melakukan analisa terhadap kondisi pelapisanPerahu grafit PECVD/pembawa, mereka akan menentukan apakah perahu grafit perlu dibersihkan dan apakah titik kartu perlu diganti, dan perahu/pembawa grafit yang perlu dibersihkan akan diserahkan kepada personel peralatan untuk dibersihkan.

 

3) Setelahperahu grafit/carrier rusak, personel produksi akan mengeluarkan semua wafer silikon di perahu grafit dan menggunakan CDA (udara terkompresi) untuk memilah fragmen diperahu grafitSetelah selesai, petugas peralatan akan mengangkatnya ke dalam tangki asam yang telah disiapkan dengan larutan HF dalam proporsi tertentu untuk dibersihkan.

 

2. Pembersihan perahu grafit

Disarankan untuk menggunakan larutan asam hidrofluorat 15-25% untuk tiga putaran pembersihan, masing-masing selama 4-5 jam, dan secara berkala menggelembungkan nitrogen selama proses perendaman dan pembersihan, dengan menambahkan sekitar setengah jam pembersihan; catatan: tidak disarankan untuk menggunakan udara secara langsung sebagai sumber gas untuk menggelembungkan. Setelah pengawetan, bilas dengan air murni selama sekitar 10 jam, dan pastikan bahwa perahu telah dibersihkan secara menyeluruh. Setelah dibersihkan, harap periksa permukaan perahu, titik kartu grafit dan sambungan lembaran perahu, dan bagian lainnya untuk melihat apakah ada residu silikon nitrida. Kemudian keringkan sesuai dengan persyaratan.

3. Tindakan pencegahan pembersihan

A) Karena asam HF merupakan zat yang sangat korosif dan memiliki volatilitas tertentu, zat ini berbahaya bagi operator. Oleh karena itu, operator di pos pembersihan harus mengambil tindakan pencegahan keselamatan dan ditangani oleh orang yang berdedikasi.

B) Disarankan untuk membongkar perahu dan hanya membersihkan bagian grafit selama pembersihan, sehingga setiap bagian yang bersentuhan dapat dibersihkan lebih menyeluruh. Saat ini, banyak produsen dalam negeri menggunakan pembersihan menyeluruh, yang praktis, tetapi karena asam HF bersifat korosif terhadap bagian keramik, pembersihan menyeluruh akan memperpendek masa pakai bagian yang sesuai.