Bagaimana cara membersihkan perahu grafit PECVD? | VET Energy

1. Konfirmasi sebelum pembersihan

1) KetikaPerahu grafit PECVDJika wadah/pembawa digunakan lebih dari 100 hingga 150 kali, operator perlu memeriksa kondisi lapisan tepat waktu. Jika terdapat lapisan yang tidak normal, perlu dibersihkan dan dikonfirmasi. Warna lapisan normal wafer silikon dalam wadah/pembawa grafit adalah biru. Jika wafer memiliki warna selain biru, beragam warna, atau perbedaan warna antar wafer sangat besar, itu adalah lapisan yang tidak normal, dan penyebab ketidaknormalan tersebut perlu dikonfirmasi tepat waktu.
2) Setelah proses selesai, personel menganalisis kondisi lapisan tersebut.Perahu grafit PECVD/pembawa, mereka akan menentukan apakah perahu grafit perlu dibersihkan dan apakah ujung kartu perlu diganti, dan perahu/pembawa grafit yang perlu dibersihkan akan diserahkan kepada personel peralatan untuk dibersihkan.

 

3) Setelahperahu grafitJika wadah/penyangga rusak, personel produksi akan mengeluarkan semua wafer silikon di dalam wadah grafit dan menggunakan CDA (udara bertekanan) untuk memilah fragmen-fragmennya.perahu grafitSetelah selesai, petugas peralatan akan mengangkatnya ke dalam tangki asam yang telah disiapkan dengan larutan HF dalam proporsi tertentu untuk pembersihan.

 

2. Pembersihan perahu grafit

Disarankan untuk menggunakan larutan asam fluorida 15-25% untuk tiga kali pembersihan, masing-masing selama 4-5 jam, dan secara berkala mengalirkan gas nitrogen selama proses perendaman dan pembersihan, menambahkan sekitar setengah jam pembersihan; catatan: tidak disarankan untuk menggunakan udara langsung sebagai sumber gas untuk mengalirkan gas. Setelah pengasaman, bilas dengan air murni selama sekitar 10 jam, dan pastikan perahu telah dibersihkan secara menyeluruh. Setelah pembersihan, periksa permukaan perahu, titik kartu grafit dan sambungan lembaran perahu, dan bagian lainnya untuk melihat apakah ada residu silikon nitrida. Kemudian keringkan sesuai persyaratan.

3. Tindakan pencegahan pembersihan

A) Karena asam HF merupakan zat yang sangat korosif dan memiliki volatilitas tertentu, maka zat ini berbahaya bagi operator. Oleh karena itu, operator di pos pembersihan harus mengambil tindakan pencegahan keselamatan dan diawasi oleh orang yang ditunjuk.

B) Disarankan untuk membongkar perahu dan hanya membersihkan bagian grafit selama pembersihan, sehingga setiap bagian yang bersentuhan dapat dibersihkan secara lebih menyeluruh. Saat ini, banyak produsen dalam negeri menggunakan pembersihan menyeluruh, yang praktis, tetapi karena asam HF bersifat korosif terhadap bagian keramik, pembersihan menyeluruh akan memperpendek masa pakai bagian-bagian terkait.