Jinsi ya kusafisha boti ya grafiti ya PECVD？| Nishati ya VET

1. Shukrani kabla ya kusafisha

1) WakatiBoti ya grafiti ya PECVD/carrier hutumika zaidi ya mara 100 hadi 150, mwendeshaji anahitaji kuangalia hali ya mipako kwa wakati. Ikiwa kuna mipako isiyo ya kawaida, inahitaji kusafishwa na kuthibitishwa. Rangi ya kawaida ya mipako ya wafer ya silikoni kwenye boti/carrier ya grafiti ni bluu. Ikiwa wafer haina bluu, rangi nyingi, au tofauti ya rangi kati ya wafer ni kubwa, ni mipako isiyo ya kawaida, na sababu ya hali isiyo ya kawaida inahitaji kuthibitishwa kwa wakati.
2) Baada ya mchakato, wafanyakazi huchambua hali ya mipako yaBoti ya grafiti ya PECVD/bebaji, wataamua kama boti ya grafiti inahitaji kusafishwa na kama sehemu ya kadi inahitaji kubadilishwa, na boti/bebaji ya grafiti inayohitaji kusafishwa itakabidhiwa kwa wafanyakazi wa vifaa kwa ajili ya kusafisha.

 

3) Baada yamashua ya grafiti/carrier imeharibika, wafanyakazi wa uzalishaji watachukua vipande vyote vya silikoni kwenye boti ya grafiti na kutumia CDA (hewa iliyoshinikizwa) kupanga vipande vilivyo kwenyemashua ya grafitiBaada ya kukamilika, wafanyakazi wa vifaa wataiinua hadi kwenye tanki la asidi ambalo limeandaliwa kwa kiasi fulani cha myeyusho wa HF kwa ajili ya kusafisha.

 

2. Kusafisha mashua ya grafiti

Inashauriwa kutumia myeyusho wa asidi hidrofloriki wa 15-25% kwa raundi tatu za kusafisha, kila moja kwa saa 4-5, na kutoa nitrojeni mara kwa mara wakati wa mchakato wa kuloweka na kusafisha, na kuongeza takriban nusu saa ya kusafisha; kumbuka: haipendekezwi kutumia hewa moja kwa moja kama chanzo cha gesi kwa ajili ya kutoa maji. Baada ya kuchuja, suuza kwa maji safi kwa takriban saa 10, na uthibitishe kwamba boti imesafishwa vizuri. Baada ya kusafisha, tafadhali angalia uso wa boti, sehemu ya kadi ya grafiti na sehemu ya karatasi ya boti, na sehemu zingine ili kuona kama kuna mabaki yoyote ya nitridi ya silikoni. Kisha kausha kulingana na mahitaji.

3. Tahadhari za usafi

A) Kwa kuwa asidi ya HF ni dutu inayoweza kutu sana na ina tete fulani, ni hatari kwa waendeshaji. Kwa hivyo, waendeshaji katika kituo cha kusafisha lazima wachukue tahadhari za usalama na kusimamiwa na mtu aliyejitolea.

B) Inashauriwa kutenganisha boti na kusafisha sehemu ya grafiti pekee wakati wa kusafisha, ili kila sehemu ya mguso iweze kusafishwa vizuri zaidi. Kwa sasa, watengenezaji wengi wa ndani hutumia usafi wa jumla, jambo ambalo ni rahisi, lakini kwa sababu asidi ya HF ina uwezo wa kuoza kwa sehemu za kauri, usafi wa jumla utafupisha maisha ya huduma ya sehemu zinazolingana.