Sådan rengør du en PECVD grafitbåd? | VET Energy

1. Bekræftelse før rengøring

1) Når denPECVD grafitbådHvis grafitbåden/bæreren bruges mere end 100 til 150 gange, skal operatøren kontrollere belægningens tilstand i tide. Hvis der er en unormal belægning, skal den rengøres og bekræftes. Siliciumwaferens normale belægningsfarve i grafitbåden/bæreren er blå. Hvis waferen ikke er blå, har flere farver, eller farveforskellen mellem waferne er stor, er det en unormal belægning, og årsagen til unormaliteten skal bekræftes i tide.
2) Efter processen analyserer personalet belægningens tilstandPECVD grafitbåd/transportør, vil de afgøre, om grafitbåden skal rengøres, og om kortpunktet skal udskiftes, og den grafitbåd/transportør, der skal rengøres, vil blive overdraget til udstyrspersonalet til rengøring.

 

3) Efter dengrafitbåd/bæreren er beskadiget, vil produktionspersonalet tage alle siliciumskiverne ud i grafitbåden og bruge CDA (trykluft) til at sortere fragmenterne igrafitbådEfter færdiggørelsen løfter udstyrets personale det op i syretanken, der er blevet klargjort med en vis mængde HF-opløsning til rengøring.

 

2. Rengøring af grafitbåd

Det anbefales at bruge en 15-25% flussyreopløsning til tre rengøringsrunder, hver i 4-5 timer, og med jævne mellemrum boble nitrogen under iblødsætnings- og rengøringsprocessen, hvilket tilføjer ca. en halv times rengøring. Bemærk: Det anbefales ikke at bruge luft direkte som gaskilde til bobling. Efter bejdsning skylles med rent vand i ca. 10 timer, og det bekræftes, at båden er grundigt rengjort. Efter rengøring kontrolleres bådens overflade, grafitkortspidsen og bådens pladesamling samt andre dele for at se, om der er rester af siliciumnitrid. Tør derefter i henhold til kravene.

3. Rengøringsforholdsregler

A) Da HF-syre er et stærkt ætsende stof og har en vis flygtighed, er det farligt for operatører. Derfor skal operatører på rengøringsstedet tage sikkerhedsforanstaltninger og ledes af en dedikeret person.

B) Det anbefales at skille båden ad og kun rengøre grafitdelen under rengøringen, så hver kontaktdel kan rengøres mere grundigt. I øjeblikket bruger mange indenlandske producenter generel rengøring, hvilket er praktisk, men fordi HF-syre er ætsende for keramiske dele, vil generel rengøring forkorte levetiden for de tilsvarende dele.