1. אישור לפני ניקוי
1) כאשר הסירת גרפיט PECVDכאשר נעשה שימוש ב-/carrier יותר מ-100 עד 150 פעמים, על המפעיל לבדוק את מצב הציפוי בזמן. אם יש ציפוי חריג, יש לנקות אותו ולאשר אותו. צבע הציפוי הרגיל של פרוסת הסיליקון בסירת/carrier הגרפיט הוא כחול. אם לפרוסת הסיליקון יש צבעים שונים, או שהפרש הצבעים בין הפרוסות גדול, מדובר בציפוי חריג, ויש לאשר את הגורם לחריגה בזמן.
2) לאחר התהליך, אנשי הצוות מנתחים את מצב הציפוי שלסירת גרפיט PECVD/מוביל, הם יקבעו האם יש צורך לנקות את סירת הגרפיט והאם יש צורך להחליף את נקודת הקלפים, וסירת/מוביל הגרפיט שצריך לנקות תועבר לצוות הציוד לצורך ניקוי.
3) לאחר הסירת גרפיט/הנשא ניזוק, אנשי הייצור יוציאו את כל פרוסות הסיליקון בסירת הגרפיט וישתמשו ב-CDA (אוויר דחוס) כדי למיין את השברים שבתוכם.סירת גרפיטלאחר השלמת העבודה, אנשי הציוד ירים אותו לתוך מיכל החומצה שהוכן עם שיעור מסוים של תמיסת HF לניקוי.
2. ניקוי סירת גרפיט
מומלץ להשתמש בתמיסת חומצה הידרופלואורית 15-25% לשלושה סבבי ניקוי, כל אחד למשך 4-5 שעות, ולהוסיף מעת לעת חנקן לבעבוע במהלך תהליך ההשריה והניקוי, תוך הוספת כחצי שעה של ניקוי; הערה: לא מומלץ להשתמש באוויר ישירות כמקור גז לבעבוע. לאחר הכבישה, יש לשטוף במים טהורים במשך כ-10 שעות, ולוודא שהסירה נוקתה ביסודיות. לאחר הניקוי, יש לבדוק את פני הסירה, את נקודת כרטיס הגרפיט ואת חיבור יריעת הסירה, וחלקים אחרים כדי לראות אם יש שאריות סיליקון ניטריד. לאחר מכן יש לייבש בהתאם לדרישות.
3. אמצעי זהירות לניקוי
א) מכיוון שחומצה HF היא חומר קורוזיבי מאוד ובעלת נדיפות מסוימת, היא מסוכנת למפעילים. לכן, על המפעילים בעמדת הניקיון לנקוט באמצעי זהירות ולהיות מנוהלים על ידי אדם ייעודי.
ב) מומלץ לפרק את הסירה ולנקות רק את חלק הגרפיט במהלך הניקוי, כך שניתן יהיה לנקות כל חלק במגע בצורה יסודית יותר. כיום, יצרנים מקומיים רבים משתמשים בניקוי כללי, וזה נוח, אך מכיוון שחומצה HF גורמת לקורוזיה לחלקים קרמיים, ניקוי כללי יקצר את חיי השירות של החלקים המתאימים.
זמן פרסום: 23 בדצמבר 2024