1. Erkenning foar it skjinmeitsjen
1) Doe't dePECVD grafytboatAs de /drager mear as 100 oant 150 kear brûkt wurdt, moat de operator de tastân fan 'e coating op 'e tiid kontrolearje. As der in abnormale coating is, moat dizze skjinmakke en befêstige wurde. De normale coatingkleur fan 'e silisiumwafer yn 'e grafytboat/drager is blau. As de wafer net-blau, meardere kleuren hat, of it kleurferskil tusken de wafers grut is, is it in abnormale coating, en de oarsaak fan 'e abnormaliteit moat op 'e tiid befêstige wurde.
2) Nei it proses analysearret it personiel de tastân fan 'e coating fan 'ePECVD grafytboat/drager, sille se bepale oft de grafytboat skjinmakke wurde moat en oft it kaartpunt ferfongen wurde moat, en de grafytboat/drager dy't skjinmakke wurde moat, wurdt oerlevere oan it apparatuerpersoniel foar skjinmeitsjen.
3) Nei degrafytboat/drager skansearre is, sil it produksjepersoniel alle silisiumwafers yn 'e grafytboat derút helje en CDA (komprimearre lucht) brûke om de fragminten yn 'e te sortearjengrafytboatNei foltôging sil it personiel fan 'e apparatuer it yn 'e soere tank tille dy't taret is mei in bepaalde hoemannichte HF-oplossing foar skjinmeitsjen.
2. Reiniging fan grafytboat
It is oan te rieden om in 15-25% wetterstoffluoride-oplossing te brûken foar trije skjinmeitsrondes, elk foar 4-5 oeren, en periodyk stikstof te borreljen tidens it wekjen en skjinmeitsjen, en sawat in heal oere skjinmeitsjen ta te foegjen; opmerking: it is net oan te rieden om loft direkt as gasboarne te brûken foar it borreljen. Nei it beitsjen, spielje mei suver wetter foar sawat 10 oeren, en befestigje dat de boat goed skjinmakke is. Kontrolearje nei it skjinmeitsjen it oerflak fan 'e boat, de grafytkaartpunt en de ferbining fan 'e boatplaat, en oare ûnderdielen om te sjen oft d'r silisiumnitride-residuen binne. Droegje dan neffens de easken.
3. Reinigingsmaatregels
A) Omdat HF-soer in tige korrosive stof is en in bepaalde flechtigens hat, is it gefaarlik foar operators. Dêrom moatte operators by de skjinmaakpost feilichheidsmaatregels nimme en beheard wurde troch in tawijde persoan.
B) It is oan te rieden om de boat útinoar te heljen en allinich it grafytdiel skjin te meitsjen tidens it skjinmeitsjen, sadat elk kontaktdiel yngeander skjinmakke wurde kin. Op it stuit brûke in protte húshâldlike fabrikanten algemiene skjinmeitsjen, wat handich is, mar om't HF-soer korrosyf is foar keramyske ûnderdielen, sil algemiene skjinmeitsjen de libbensdoer fan 'e oerienkommende ûnderdielen ferkoartje.
Pleatsingstiid: 23 desimber 2024